一种新型电压域振荡二极管的制作方法

文档序号:14725528发布日期:2018-06-19 06:32阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种新型电压域振荡二极管。本发明包括初始上表面为镓面GaN基底、n+‑qInGaN集电区层、i‑InGaN第一隔离层、i‑InGaN第一势垒层、i‑InGaN量子阱层、i‑GaN第二势垒层、i‑InGaN第二隔离层、n+‑InGaN发射区层、AlN钝化层、集电区金属电极引脚和发射区金属电极引脚。本发明采用GaN基双势垒单量子阱超晶格结构的势垒层极化电场削弱外加电场作用,有效抑制低偏置电压区域带内共振隧穿;利用紧邻集电极势垒的集电区耗尽层作为集电极势垒的辅助势垒,伏安特性在较高偏压区表现为多协调制电流振荡各能级对应电子波函数的共振隧穿与叠加,形成很多个微分负阻区与正电阻区相间排列。

技术研发人员:张海鹏;张强;张忠海;林弥;吕伟锋;白建玲;
受保护的技术使用者:杭州电子科技大学;
技术研发日:2017.12.29
技术公布日:2018.06.19

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