技术总结
本实用新型提供一种晶圆自动寻心装置，包括：机械手，用于对晶圆进行取放；驱动机构，用于对所述机械手进行驱动，从而使所述机械手移动；以及控制装置，用于对所述驱动机构进行控制，所述机械手设有多个光传感器，当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时，所述光传感器被晶圆遮断因而被触发，所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。
技术研发人员：何茂栋;芮守祯;周奕萌;肖钢;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术有限公司
文档号码：201720241635
技术研发日：2017.03.13
技术公布日：2017.10.24