硅片去水膜设备的制作方法

文档序号:11762118阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片去水膜设备,其特征在于:包括设置在机架(1)上的水槽(101),所述水槽(101)内设有用于输送硅片的输送辊(2),所述机架(1)上设有板体(3),所述板体(3)位于所述水槽(101)上方,所述板体(3)靠近输送辊(2)的一侧开设有进水道(4),所述板体(3)内设有集水腔(5),所述集水腔(5)与所述进水道(4)连通,所述板体(3)上设有排水口(6),所述排水口(6)与所述集水腔(5)连通,所述机架(1)上设有用于控制板体(3)靠近或者远离输送辊(2)的微调机构。

2.根据权利要求1所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述微调机构包括设置螺杆(7),所述螺杆(7)的一端螺纹连接在所述机架(1)上,所述螺杆(7)的另一端与所述板体(3)转动连接。

3.根据权利要求2所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述螺杆(7)上设有手轮(8)。

4.根据权利要求3所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述手轮(8)上设有滚花(9)。

5.根据权利要求2所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述板体(3)上设有导向柱(10),所述机架(1)上设有与所述导向柱(10)相匹配的导向套(11),所述导向柱(10)滑动设置在所述导向套(11)内。

6.根据权利要求1所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述进水道(4)沿硅片输送方向逐渐向下倾斜设置。

7.根据权利要求1所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述板体(3)由基板(12)和连接板(13)相互拼接而成,所述进水道(4)与所述集水腔(5)均设置在所述连接板(13)上。

8.根据权利要求1所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述板体(3)位于进水道(4)的一侧设有挡板(14)。

9.根据权利要求1所述的硅片去水膜设备,其特征在于:所述集水腔(5)的下底面为倾斜设置。

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