1.一种单片式清洗装置，其特征在于，包括：载台(102)、上盖(202)、下腔(203)；上盖(202)上设有进液管和排液管；
所述上盖(202)与下腔(203)合拢成一个内有腔体的整体结构；
所述载台(102)平置于所述腔体内，载台(102)用于放置晶圆；载台(102)的底部与轴(205)连接；轴(205)中间和载台(102)连接轴的区域中设有吸气孔(2051)；所述轴(205)伸出下腔(203)外；
下腔(203)上设有多个进气孔(204)；进气孔(204)排布一周；
在上盖(202)上设有排气孔(201)。
2.如权利要求1所述的单片式清洗装置，其特征在于，
进气孔(204)在下腔(203)的位置位于载台(102)边缘下方。
3.如权利要求1所述的单片式清洗装置，其特征在于，
载台(102)平置于腔体内中间位置。
4.如权利要求1所述的单片式清洗装置，其特征在于，
排气孔(201)位于上盖(202)的中央。
5.如权利要求1所述的单片式清洗装置，其特征在于，
上盖(202)与下腔(203)合拢成的整体结构纵截面优选为椭圆形或类椭圆形。
6.一种单片式清洗装置，其特征在于，包括：载台(102)、上盖(202)、下腔(203)；上盖(202)上设有进液管和排液管；
所述上盖(202)设置在下腔(203)上方，且上盖(202)与下腔(203)的边缘之间留有气隙(207)；
上盖(202)与下腔(203)之间为腔体；载台(102)平置于所述腔体内；载台(102)的底部与轴(205)连接；轴(205)中间和载台(102)连接轴的区域中设有吸气孔(2051)；所述轴(205)伸出下腔(203)外；
在上盖(202)上设有多个抽气孔(206)，抽气孔(206)排列一周。
7.如权利要求6所述的单片式清洗装置，其特征在于，
载台(102)的上表面高度与气隙(207)相对应。
8.如权利要求6所述的单片式清洗装置，其特征在于，
抽气孔(206)在上盖(202)的位置位于载台(102)边缘上方。
9.如权利要求6所述的单片式清洗装置，其特征在于，
载台(102)平置于腔体内中间位置。
10.如权利要求6所述的单片式清洗装置，其特征在于，
下腔(203)上设有多个进气孔；进气孔排布一周；进气孔在下腔(203)的位置位于载台(102)边缘下方。