一种分散进液的进液结构及具有该结构的刻蚀装置的制作方法

文档序号:15347685发布日期:2018-09-04 22:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种分散进液的进液结构,其特征在于,包括反应槽、固定架、进液口和分液板,所述固定架固定在反应槽内,且用于固定待处理的产品,所述反应槽上设有进液口,所述分液板设置在所述进液口与固定架之间,由所述进液口进入反应槽内的液体、通过所述分液板均匀分流。

2.根据权利要求1所述的进液结构,其特征在于,所述进液口和固定架之间设有挡板,所述分液板设置在所述进液口和挡板之间。

3.根据权利要求2所述的进液结构,其特征在于,所述挡板的面积大于或等于所述固定架的截面面积。

4.根据权利要求1所述的进液结构,其特征在于,所述分液板上贯通设有一个或多个分液孔;

所述分液孔为一个时,所述分液孔内沿轴向分布有多个分流道;

所述分液孔为多个时,多个所述分液孔成蜂窝状均匀分布在所述分液板上。

5.根据权利要求4所述的进液结构,其特征在于,所述分液孔的截面形状为圆形、椭圆形和多边形中的一种或几种的组合。

6.根据权利要求1所述的进液结构,其特征在于,所述进液口设置在反应槽的底部、顶部或侧壁上。

7.根据权利要求1-6任一项所述的进液结构,其特征在于,所述分液板与进液口之间设有缓冲腔。

8.根据权利要求7所述的进液结构,其特征在于,所述分液板与进液口之间固定有支撑板,通过所述支撑板将所述分液板与进液口之间围成所述缓冲腔。

9.根据权利要求7所述的进液结构,其特征在于,所述固定架的外围设有多个相互连接的所述分液板,每个所述分液板的端部之间通过挡板连接,以将所述反应槽的内壁与分液板之间分隔成所述缓冲腔,所述进液口与缓冲腔连通。

10.一种刻蚀装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的进液结构。

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