扇出型天线封装结构的制作方法

文档序号:14714073发布日期:2018-06-16 00:59阅读:来源:国知局
扇出型天线封装结构的制作方法

技术特征:

1.一种扇出型天线封装结构,其特征在于,所述扇出型天线封装结构包括:

芯片结构,所述芯片结构包括裸芯片,及位于所述裸芯片上、且与所述裸芯片电性连接的接触焊盘;

包围所述芯片结构、且暴露出所述接触焊盘所在表面的塑封层;

形成于所述塑封层及所述芯片结构上表面的重新布线层及单层天线结构,其中,所述重新布线层与所述接触焊盘电性连接,所述天线结构与所述重新布线层电性连接;

形成于所述重新布线层上表面的焊球下金属层;及

形成于所述焊球下金属层上表面的焊球凸块。

2.根据权利要求1所述的扇出型天线封装结构,其特征在于,所述重新布线层包括形成于所述塑封层及所述芯片结构上表面的至少一层叠层结构,其中,所述叠层结构包括介质层及金属线层。

3.根据权利要求1或2所述的扇出型天线封装结构,其特征在于,所述天线结构形成于所述焊球下金属层外侧,且呈矩形绕线型包围所述焊球下金属层。

4.根据权利要求1或2所述的扇出型天线封装结构,其特征在于,所述天线结构包括形成于所述焊球下金属层外侧的至少一个天线单元,其中,所述天线单元呈矩形绕线型。

5.根据权利要求1或2所述的扇出型天线封装结构,其特征在于,所述天线结构包括形成于所述焊球下金属层内侧的至少一个天线单元,其中,所述天线单元呈矩形绕线型。

6.根据权利要求1所述的扇出型天线封装结构,其特征在于,所示焊球凸块包括形成于所述焊球下金属层上表面的金属柱,及形成于所述金属柱上表面的焊球。

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