晶圆调平装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆调平装置。

背景技术：

在进行光刻、抛光等需多工序中都需要保持晶圆自身的水平度，水平度的好坏严重地影响着光刻质量及抛光的均匀性，水平度偏差严重的情况下甚至会导致晶圆报废。目前国内已经出现了多种用于晶圆调平的机构，但大多结构复杂，体积大，质量重，自适应能力差，因此，亟待解决这一问题。

技术实现要素：

本实用新型要解决的问题在于提供一种结构简单，功能可靠且便于操作的晶圆调平装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型涉及了一种晶圆调平装置，其包括：基础台，在基础台上方设置有承片台，其用于承载晶圆。在承片台下方设置有支撑件及调平装置。支撑件一端与承片台转动连接，另一端与基础台固定连接。调平装置用来对承片台的水平度进行调整。调平装置包括有至少二个伸缩件，上述伸缩件与承片台和基础台均活动连接。

上述晶圆调平装置只需将普通承片台支撑件连接形式由固定连接转换为转动连接，在适当位置另增加伸缩件即可实现调平，相较于传统调平装置，该晶圆调平装置具有结构简单，易于组装，功能可靠等特点。

作为本实用新型的进一步改进，伸缩件与承片台的连接处沿着承片台外边缘周向均布。

伸缩件与承片台的连接处沿着承片台外边缘周向均布，如此一来，不但使得承片台所受到的作用力均匀，且在调平过程中使得各伸缩件的伸缩量之和最小，进而降低了能耗。

作为本实用新型的进一步改进，支撑件位于所述承片台中心位置。

为了便于各伸缩件的布置，且使得承片台的受力更加合理，支撑件布置于承片台的下方中心位置。

作为本实用新型的进一步改进，支撑件一端设置为球形，在承片台上设置有球形相适配的球形凹槽。

利用球面受力通过球心的原理，可使得不同方向上产生的力通过球心，使得承片台与支撑件接触部受到的作用力均匀，减少了磨损，提高了使用寿命，且能实现多方向及微量调整，结构简单，操作方便。

作为本实用新型的进一步改进，球形凹槽内设置有球形隔套。

承片台制造成本高，为了防止在长期调平过程中对其本体造成磨损，在其凹槽与支撑件之间设有球形隔套，当支撑件与球形隔套配合精度超差时，仅需要对球形隔套进行更换，方便、快捷，成本低。

作为本实用新型的进一步改进，伸缩件分别与承片台及基础台相铰接。

伸缩件与承片台之间、伸缩件与基础台之间均采用铰轴铰接方式，功能可靠，且方便伸缩件的拆、装。

作为本实用新型的进一步改进，该晶圆调平装置还包括水平测试装置，设置在承片台上，用来实时检测承片台的水平度并发出信号，以及处理装置，接收信号并对其进行处理并与预设倾斜角度进行对比，产生控制信号，另外，还包括控制装置，接收控制信号并根据其对调平装置发出动作指令。

该晶圆调平装置通过实时监测承片台的水平倾斜情况，并据此产生相应的驱动控制信号，自动、动态地调整承片台，从而保证其始终保持水平状态。

作为本实用新型的进一步改进，水平测试装置为电子水平仪。

电子水平仪具有体积小，质量轻，测量精度高等特点。

作为本实用新型的进一步改进，电子水平仪设置于承片台的背面。

电子水平仪设置于承片台的背面，这样一来，方便了晶圆的取、放操作，且避免了电子水平仪与相关加工设备间发生干涉的情况。

作为本实用新型的进一步改进，伸缩件由多级液压缸进行驱动。

液压驱动具有结构紧凑，布置灵活，传动平稳及惯性量小的特点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型晶圆调平装置的立体示意图。

图2是本实用新型晶圆调平装置中承片台的立体示意图。

图3是本实用新型晶圆调平装置中承片台与支撑件连接处局部剖视图。

图4是本实用新型晶圆调平装置中承片台与伸缩件连接处局部剖视图。

图5是本实用新型晶圆调平装置中自动调平操控系统一种实施方式的示意图。

1-基础台；2-承片台；3-支撑件；4-伸缩件；5-球形隔套；6-销轴。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做进一步的详细说明：

为了达到本实用新型的目的，如图1、2、3、4中所示，该晶圆调平装置包括基础台1，承片台2，支撑件3，调平装置等几部分。承片台2设置在基础台1的上方，其用于承载晶圆。承片台2与基础台1之间通过支撑件3连接，且支撑件3一端与承片台2转动连接，另一端与基础台1固定连接。其中，利用球面受力通过球心的原理，上述转动连接优选为球形铰接形式，支撑件3一端设置为球形，相应地，在承片台2上设置有球形相适配的球形凹槽，为了防止承片台2本体磨损，在球形凹槽与支撑件3之间设置球形隔套5。当支撑件3与球形隔套5配合精度超差时，仅需要对球形隔套5进行更换，方便、快捷，成本低。这样一来，使得不同方向上产生的力通过球心，使得承片台2与支撑件3接触部受到的作用力均匀，大大降低了磨损，提高了使用寿命，且能实现多方向、微量调整，结构简单，操作方便。另外，为了便于对承片台2的水平度进行调整，在承片台2与基础台1之间还设置有调平装置，该调平装置包括有至少二个伸缩件4，优选数量为4，上述伸缩件4与承片台2和基础台1均活动连接，优选销轴连接方式。上述伸缩件4优选多级液压缸，液压缸的顶出端头部设置有供销轴6穿入的销轴孔，两者之间为间隙配合，使两者具有一定的活动自由量。当然，除了上述销轴连接方式，也可以选择球形面铰接，亦可以为一切适合的其他连接方式。再者，多级液压缸驱动的调平装置结构紧凑，传动平稳，惯性量小，且液压油管便于弯曲，布置灵活。

进一步优化，伸缩件4与承片台2的连接处沿着承片台2外边缘周向均布，如此一来，不但使得承片台2所受到的作用力均匀，且在调平过程中使得各伸缩件4的伸缩量之和最小，降低了能耗。进而，为了便于各伸缩件4的布置，且使得承片台2的受力更加合理，支撑件3布置于承片台2的下方中心位置。

进一步优化，如图5所示，该晶圆调平装置还包括水平测试装置，该水平测量装置优选具有体积小，质量轻，测量精度高等优点的电子水平仪，其设置在承片台2的背面，用来实时检测承片台2的水平度并发出信号。还包括用于接收信号并对其进行处理并与处理装置预设倾斜角度进行对比的处理装置，其根据对比、分析结果发出控制信号，该控制信号通过控制装置对调平装置发出相应的动作指令。通过在液压系统上增加电磁阀等可方便、快捷地实现自动控制，又可以在液压系统上增加安全阀(图中未示出)，使其具有过载保护功能，当液压系统出现故障或伸缩件4与承片台2的连接出现卡滞时，能及时、有效的避免调平装置出现损坏。如此一来，该晶圆调平装置可以通过水平测试装置实时地监测承片台的水平倾斜情况，并据此产生相应的驱动控制信号，可自动、动态、安全地对承片台2的水平度进行调整，从而保持其始终处于水平状态。

对所公开的实施例的所述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。