低压磁控阴极离子源的制作方法

技术特征：

1.低压磁控阴极离子源，其特征在于：包括真空组件和间隔设置的阴极组件和阳极组件，

所述真空组件包括支撑盖，所述支撑盖上设置有工艺气体的气体接口和电场组件，电场组件包括正极接线端子和负极接线端子；

所述阴极组件包括离子激发腔；支撑盖和离子激发腔的腔体连接，且支撑盖和离子激发腔之间形成一真空腔；所述离子激发腔设置有用以向腔内通入工艺气体的气体接口、阴极磁铁、与阴极磁铁间隔设置的阴极靶材、以及用以为离子激发腔引入电场的阴极接线端子，阴极接线端子与负极接线端子连接；

所述阳极组件包括阳极腔体和设置在阳极腔体内的阳极磁铁，以及为阳极组件引入电场的阳极接线端子，所述阳极接线端子与正极接线端子连接；

离子激发腔朝向阳极组件。

2.如权利要求1所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：所述离子激发腔内设置有阴极磁轭，所述阴极磁铁设置在阴极磁轭上，朝向阳极组件。

3.如权利要求2所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：所述阴极靶材设置在阴极磁铁与阳极组件之间；离子激发腔上的气体接口位于阴极靶材与阳极磁铁之间。

4.如权利要求3所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：贴覆阴极靶材设置有导热板，用以导热。

5.如权利要求1所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：离子激发腔朝向阳极组件的一侧为开口式结构，开口处设置有屏蔽板，所述屏蔽板上设置有窄缝开口。

6.如权利要求1所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：支撑盖上设置有阴极冷却水接口和阳极冷却水接口，离子激发腔壁上设置有水冷通道，离子激发腔上设置有冷却水接口，与阴极冷却水接口接通，阳极腔体壁内设置有冷却水路，阳极腔体上设置有冷却水接口，与阳极冷却水路接通。

7.如权利要求1中任意一项所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：所述支撑盖与离子腔通过固定件连接，且支撑盖与离子腔的连接处设置有绝缘体。

8.如权利要求1所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：阳极组件通过阳极磁轭安装在阳极腔体上，阳极接线端子设置在阳极腔体上。

9.如权利要求8所述的低压磁控阴极离子源，其特征在于：阳极腔体朝向离子激发腔体的一侧为开放式结构，所述开放式接口的开口处安装有阳极保护屏蔽板。