技术总结
低压磁控阴极离子源，包括真空组件、间隔设置的阴极组件和阳极组件，真空组件包括支撑盖，支撑盖上设置有工艺气体的气体接口和电场组件；阴极组件包括离子激发腔；支撑盖和离子激发腔的腔体连接，且支撑盖和离子激发腔之间形成一真空腔；离子激发腔设置有用以向腔内通入工艺气体的气体接口、阴极磁铁、与阴极磁铁间隔设置的阴极靶材、阴极接线端子，阴极接线端子与负极接线端子连接；阳极组件包括阳极腔体和设置在阳极腔体内的阳极磁铁，阳极接线端子，阳极接线端子与正极接线端子连接；离子激发腔朝向阳极组件。本发明为一种低压强工作阴极离子源，该离子源利用电场与磁场聚焦压缩原理，电场为主，磁场为辅，可提高镀膜离化率，改进镀膜质量。
技术研发人员：张浙军;陈刚;裴宏伟
受保护的技术使用者：威海蓝膜光热科技有限公司
技术研发日：2018.03.09
技术公布日：2018.06.29