一种柔性器件的制备方法与流程

文档序号:15198024发布日期:2018-08-19 01:42阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种柔性器件的制备方法。该方法首先采用刚性衬底,在刚性衬底设置牺牲层,在牺牲层上制备器件,然后利用溶剂溶解牺牲层,使器件与刚性衬底分离,最后将器件转移至柔性衬底上进行层压结合,得到柔性器件。与现有技术相比,本发明方法简单易行,可降低柔性衬底厚度,保持柔性衬底形貌,以及降低衬底对器件形变的限制,在柔性电子器件技术领域具有良好的应用前景。

技术研发人员:刘钢;卢颖;李润伟
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2018.04.17
技术公布日:2018.08.17
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