一种半导体激光器合束装置的制作方法

文档序号:15465299发布日期:2018-09-18 19:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体激光器合束装置,其特征在于,所述合束装置包括:半导体激光器组、快轴准直镜组、慢轴准直镜组、快轴慢轴转换装置、傅里叶变换透镜、光栅、扩束装置、激光模式选择装置、滤波器和输出耦合镜;

所述半导体激光器组发射出方向相同的光束组,所述光束组依次通过所述快轴准直镜组、所述慢轴准直镜组、所述快轴慢轴转换装置、所述傅里叶变换透镜、所述光栅和所述扩束装置后射出;

其中,所述快轴准直镜组用于减小所述光束组的快轴方向发散角,所述慢轴准直镜组用于减小所述光束组的慢轴方向发散角;所述快轴慢轴交换装置用于交换所述光束组的快轴方向和慢轴方向;所述傅里叶变换透镜用于将所述光束组进行傅立叶变换且聚焦;所述光栅用于对聚焦后的光进行衍射;所述扩束装置用于将衍射后的光进行扩束处理;所述激光模式选择装置用于将扩束处理后的光束进行第一次激光模式选择,以选择部分低阶的光模式沿路反射;所述滤波器用于将所述激光模式选择装置处理后的光束进行第二次激光模式选择,以使部分低阶模式的光束通过所述滤波器入射至所述输出耦合镜进行输出。

2.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述半导体激光器组包括至少两个半导体激光器;所述快轴准直镜组包括至少两个快轴准直镜,且每个所述快轴准直镜与每个半导体激光器相对应设置;所述慢轴准直镜组包括至少两个慢轴准直镜,且每个慢轴准直镜与每个快轴准直镜相对应设置。

3.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述半导体激光器组为单管半导体激光器组合或线阵半导体激光器组合或迭阵半导体激光器组合。

4.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述扩束装置为望远扩束装置。

5.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述激光模式选择装置为激光模式选择反射镜。

6.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述滤波器为空间滤波器。

7.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述快轴准直镜组中的每个快轴准直镜均设置有减反膜。

8.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置,其特征在于,所述慢轴准直镜组中的每个慢轴准直镜均设置有减反膜。

9.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述光栅为透射型衍射光栅。

10.根据权利要求1所述的合束装置,其特征在于,所述光栅为反射型衍射光栅。

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