技术总结
一种气嘴组件及包含所述气嘴组件的晶圆盒承载装置。气嘴组件包含固定件、连接件及弹性件。固定件具有相互连通的第一开口及第二开口，且其与固定件内部的容置槽相连通。连接件包含有止挡部及连接部，连接件的部份设置于容置槽中，止挡部用以限制连接件仅能相对固定件于轴向移动。连接部具有贯穿的连通孔。弹性件的部份设置于容置槽，弹性件的抵压部对应抵顶连接件的止挡部，弹性件包含有与连通孔相互连通的穿孔。当晶圆盒固定设置于晶圆盒承载平台时，外露于第一开口的连接部能被晶圆盒抵压，而使弹性件的对应产生弹性回复力，并使连接部紧密地与晶圆盒的气体输入结构相互连接。
技术研发人员：叶秀珢;郑吉宸;古伊钧
受保护的技术使用者：华景电通股份有限公司
技术研发日：2018.02.13
技术公布日：2018.10.12