本申请涉及激光设备技术领域，尤其涉及一种准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具。
背景技术：
准分子激光器是波长在紫外波段的脉冲气体激光器。近年来，在各方面的不懈钻研努力下，准分子激光器得以迅速发展。目前，市场上推出的准分子激光器的功率水平在不断提高，这使得准分子激光器的适用范围也从实验室领域扩展到激光医疗、激光加工等领域。
准分子激光退火是LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)工艺中不可或缺的一道工序，该工序由准分子激光器完成。在对准分子激光器进行维护的过程中，用户需要对准分子激光器的透镜进行保养。保养操作需要拆卸透镜来实现。
准分子激光器的透镜固定在透镜固定载具上，透镜固定载具包括压紧环(通常为铜环)和筒体，压紧环与筒体螺纹配合，在安装透镜的过程中，用户通常通过光学扳手旋拧压紧环，进而将透镜压紧在筒体的内壁凸台上。在旋拧压紧环的过程中，压紧环会逐渐压紧在透镜的表面，压紧环的旋转会划伤透镜，进而较容易造成不可修复的损坏。可见，目前的透镜固定载具在透镜保养操作过程中较容易损伤透镜。
技术实现要素：
本申请提供一种准分子激光器的透镜固定载具，以解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。
为了解决上述问题，本申请实施例采用下述技术方案：
准分子激光器的透镜固定载具，包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。
优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的尾端外伸于所述外套件，所述内套件的尾端用于接收驱动力以压紧所述透镜，所述驱动力由所述准分子激光器的夹持器件施加。
优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的尾端设置第一限位凸台，所述外套件的尾端设置有第二限位凸台，所述第一限位凸台能与所述第二限位凸台限位配合。
优选的，上述透镜固定载具中，第一限位凸台自所述内套件的尾端的边缘向远离所述内套件的中心的方向延伸，所述第二限位凸台与所述第一限位凸台的延伸方向一致。
优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的头端设置有第一定位槽，所述第一密封圈定位在所述第一定位槽中。
优选的，上述透镜固定载具中，所述定位凸台设置有第二定位槽，所述第二密封圈定位在所述第二定位槽中。
优选的，上述透镜固定载具中，所述外套件的头端设置有第三密封圈，所述第三密封圈用于与所述准分子激光器的谐振腔密封连接。
优选的，上述透镜固定载具中，所述外套件的头端设置有第三定位槽，所述第三密封圈定位在所述第三定位槽中。
优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件与所述外套件在两者的周向定位配合。
准分子激光器，包括谐振腔、夹持器件和透镜固定载具，其中，所述透镜固定载具通过所述夹持器件固定在所述谐振腔的端部。
本申请采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
本申请公开的透镜固定载具在固定透镜的过程中，操作人员依次将第二密封圈和透镜放置在定位凸台上，然后将内套件配合到外套件的内腔中，进而使得内套件通过第一密封圈向放置在空腔中的透镜施加紧固力，透镜通过第二密封圈密封压紧在定位凸台上。第一密封圈和第二密封圈均起到使透镜密封安装到透镜固定载具的作用。由于内套件与透镜及定位凸台与透镜之间分别布置第一密封圈和第二密封圈，这两个密封圈还能起到隔离的作用，避免内套件和定位凸台直接接触透镜，也就能避免在透镜安装的过程中紧固部件对透镜的损伤。可见，本申请公开的透镜固定载具能够解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为本申请实施例公开的透镜固定载具的结构示意图；
图2为外套件的结构示意图；
图3为图2的仰视图；
图4为内套件的结构示意图；
图5为图4的俯视图；
图6为本申请实施例公开的准分子激光器的结构示意图。
附图标记说明：
100-内套件、110-第一限位凸台、200-外套件、210-定位凸台、220-第二限位凸台、300-第一密封圈、400-第二密封圈、500-透镜、600-谐振腔、700-第三密封圈、a-透镜固定载具。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。
请参考图1-6，本申请实施例公开一种准分子激光器的透镜固定载具，所公开的透镜固定载具包括内套件100、外套件200、第一密封圈300和第二密封圈400。
内套件100和外套件200两端均为敞口端，这便于准分子激光器的光线从透镜穿过。具体的，内套件100和外套件200通常为圆筒状结构。本申请实施例中，内套件100套设在外套件200之内。
外套件200的内壁具有定位凸台210，该定位凸台210通常为环形凸台。环形凸台可以与外套件200为一体成型结构，例如外套件200通过一体铸造成型或切割成型，进而在外套件200的内壁上形成定位凸台210。
在组装的过程中，内套件100的头端伸入外套件200的内腔中，内套件100的头端与定位凸台210之间形成容纳透镜500的空间。
第一密封圈300用于密封设置在透镜500的一侧面与内套件100的头端之间。第二密封圈400用于密封设置在透镜500的另一侧面与定位凸台210之间。内套件100用于向第一密封圈300施加压力，以固定透镜500于定位凸台210上，即使得透镜500通过第二密封圈400被定位在定位凸台210上。
需要说明的是，本申请实施例中，内套件100和外套件200均具有头端和尾端。内套件100的头端指的是内套件100伸入外套件200的内腔，且与第一密封圈300接触的一端，内套件100的尾端与内套件100的头端分别作为内套件100的两个端部。外套件200的头端与内套件100的头端位于两者所形成的整体的同一端，外套件200的尾端与外套件200的头端分别作为外套件200的两个端部。
本申请实施例公开的透镜固定载具在固定透镜500的过程中，操作人员依次将第二密封圈400和透镜500放置在定位凸台210上，然后将内套件100的配合到外套件200的内腔中，进而使得内套件100通过第一密封圈300向放置在空腔中的透镜500施加紧固力，透镜500通过第二密封圈400密封压紧在定位凸台210上。本申请实施例中，第一密封圈300和第二密封圈400均起到使透镜500密封安装到透镜固定载具的作用。由于内套件100与透镜500及定位凸台210与透镜500之间分别布置第一密封圈300和第二密封圈400，这两个密封圈能起到隔离的作用，避免内套件100和定位凸台210直接接触透镜500，也就能避免在透镜500安装的过程中紧固部件对透镜500的损伤。可见，本申请实施例公开的透镜固定载具能够解决目前的透镜固定载具在紧固透镜500的过程中容易划伤透镜的问题。
本申请实施例公开的透镜固定载具能有效防止透镜被划伤，避免保养失败，还能避免透镜损坏带来的成本问题。
如上文所述，内套件100与外套件200的配合能够实现对透镜500的固定，具体的，内套件100与外套件200之间通过螺纹配合，内套件100通过螺纹配合逐渐旋进外套件200内，进而通过第一密封圈300压紧透镜500。
螺纹配合方式使得在透镜500组装的过程中，操作人员需要通过光学扳手来实施紧固旋拧。光学扳手较容易与内套件100脱节，进而可能会磕碰到透镜500的表面，最终仍然可能会造成透镜500被划伤。同时螺纹配合较容易受到震动的影响而松开，进而导致透镜固定失效，进而会导致准分子激光器的谐振腔发生透气问题，最终导致大量的气体被浪费。另外，通过光学扳手进行旋拧易污染透镜500，增加保养难度。
为了解决内套件100与外套件200通过螺纹配合所存在的问题，优选的方案中，内套件100的尾端外伸于外套件200，内套件100的尾端用于接收驱动力以压紧透镜500，该驱动力由准分子激光器的夹持器件施加。在组装的过程中，准分子激光器设置有夹持器件，夹持器件通过压紧内套件100，进而向内套件100施加驱动力，所施加的驱动力能够驱动内套件100通过第一密封圈300将透镜500压紧固定。如图6所示，图6中所示的空心箭头即为驱动力的方向，图6中的附图标记a为透镜固定载具。当然，内套件100的尾端可以位于外套件200的内腔中，只要是能够确保夹持器件能够向内套件100施加驱动力的结构均可达到上述目的。
在夹持器件的作用下，内套件100可以直接插入外套件200，进而在驱动力的作用下压紧第一密封圈300。为了提高内套件100与外套件200装配的稳定性，优选的，内套件100与外套件200可以在两者的周向定位配合。例如，内套件100与外套件200通过花键配合。
请再次参考图5，一种更为优选的方案中，内套件100的尾端可以设置有第一限位凸台110，第一限位凸台110可以与外套件200的尾端限位配合，此种情况下，驱动力能够施加于第一限位凸台110，内套件100会压紧第一密封圈300，与此同时，第一限位凸台110通过与外套件200之间的限位配合关系来压紧外套件200，进而能使得整个透镜固定载具被压紧在准分子激光器的谐振腔600的端部，从而完成与谐振腔的组装。该优选方案能够借助用于装配透镜固定载具与谐振腔的夹持器件，来达到通过内套件100固定透镜500的目的。
为了提高限位配合效果，外套件200的尾端可以设置有第二限位凸台220，第一限位凸台110能与第二限位凸台220限位配合。需要说明的是，第一限位凸台110与第二限位凸台220的贴合不会影响内套件100对第一密封圈300的密封压紧。
为了避免第一限位凸台110和第二限位凸台220影响透镜500的透射面积，优选的，第一限位凸台110可以自内套件100的尾端的边缘向远离内套件100的中心的方向延伸。第二限位凸台220与第一限位凸台110的延伸方向一致。此种结构下，第一限位凸台110和第二限位凸台220向外延伸，能够避免对透镜500的遮挡。
为了使得第一密封圈300的装配更加稳定，内套件100的头端可以设置第一定位槽，第一密封圈300定位在第一定位槽中。具体的，第一定位槽的形状可以与第一密封圈300的形状相适配。
同理，为了使得第二密封圈400的装配更加稳定，定位凸台210可以设置有第二定位槽，第二密封圈400定位在第二定位槽中。具体的，第二定位槽的形状可以与第二密封圈400的形状相适配。
本申请实施例公开的透镜固定载具需要与准分子激光器的谐振腔600的端部密封配合。基于此，本申请实施例公开的透镜固定载具中，外套件200的头端可以设置有第三密封圈700。第三密封圈700用于与准分子激光器的谐振腔600密封连接。一种具体的实施方式中，谐振腔600的端部为筒状结构，筒状结构的内壁设置有密封凸台，第三密封圈700在透镜固定载具的压紧下与密封凸台密封配合，从而实现谐振腔600的密封，避免气体泄漏。
同理，为了使得第三密封圈700的装配更加稳定，外套件200的头端可以设置有第三定位槽，第三密封圈700定位在第三定位槽中。具体的，第三定位槽的形状可以与第三密封圈700的形状相适配。
本申请实施例中，第一密封圈300、第二密封圈400和第三密封圈700可以是橡胶圈。
基于本申请实施例公开的透镜固定载具，请参考图6，本申请实施例还公开一种准分子激光器，所公开的准分子激光器包括谐振腔600、夹持器件和透镜固定载具a，透镜固定载具a通过夹持器件固定在谐振腔600的端部。
具体的，夹持器件和透镜固定载具a均可以为两个，两个透镜固定载具a均可以通过夹持器件分别被紧固在谐振腔600的两端，进而达到组装的目的。
本文中，各个优选方案仅仅重点描述的是与其它优选方案的不同，各个优选方案只要不冲突，都可以任意组合，组合后所形成的实施例也在本说明书所公开的范畴之内，考虑到文本简洁，本文就不再对组合所形成的实施例进行单独描述。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。