1.一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机；所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体的一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，设水平旋转驱动装置；所述晶圆卡环为圆弧形，设升降驱动装置；所述高速摄像机安装在腔体上方，靠近晶圆传输口的一侧，摄像机的镜头位于晶圆缺口的设定对准位置的正上方。
2.根据权利要求1所述的一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，其特征在于：晶圆托盘和晶圆卡环的驱动装置均安装固定在壳体的底部上，相当于晶圆传输口的位置，晶圆卡环的升降驱动装置是安装在晶圆托盘的水平驱动装置的后方。
3.根据权利要求1所述的一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，其特征在于：晶圆卡环与晶圆托盘均水平安装，且晶圆卡环的圆心与晶圆托盘的圆心为同心。