技术总结
一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机。所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，设水平旋转驱动装置；所述晶圆卡环为圆弧形，设升降驱动装置；所述高速摄像机安装在腔体上部，靠近晶圆传输口的一侧，镜头位于晶圆缺口的设定对准位置的正上方；所述高速摄像机通过晶圆的旋转，连续获取晶圆边缘图样数据，通过控制器分析获取晶圆缺口相对于晶圆圆心的角度数据，并控制晶圆托盘旋转相应角度，使晶圆缺口对准设定位置，本实用新型结构简单，适用于真空环境下的晶圆缺口检测。
技术研发人员：王子菲
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
技术研发日：2018.04.11
技术公布日：2018.10.26