一种基于钙钛矿材料的阻变存储器的制作方法

文档序号:16759868发布日期:2019-01-29 17:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述存储器从上至下依次包括顶电极、卤化物钙钛矿层、二氧化钛薄膜层、底电极和玻璃基底,其中:所述卤化物钙钛矿材料中掺杂有Zr元素。

2.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述的顶电极的厚度为50nm~300nm。

3.根据权利要求1或2所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述顶电极的形状为圆形或者矩形,直径或边长为50nm~1mm。

4.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述卤化物钙钛矿层的厚度50nm~1μm。

5.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述卤化物钙钛矿层的形状为圆形或者矩形,直径或边长为50nm~2cm。

6.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述二氧化钛薄膜层的厚度为50nm~1μm,直径或边长为50nm~2cm。

7.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述的底电极的厚度为50nm~300nm。

8.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述底电极的形状为圆形或者矩形,直径或边长为50nm~2cm。

9.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述的卤化物钙钛矿层材料的分子通式为ABX3,其中:A=CH3NH3或Cs;B=Pb;X=Cl,Br或I。

10.根据权利要求1所述的基于钙钛矿材料的阻变存储器,其特征在于:所述的顶电极材料为Pt、Au或W中的任一种;所述的底电极材料为FTO、ITO、ZTO或AZO中的任一种。

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