存储器结构的制作方法

文档序号:18020791发布日期:2019-06-26 01:13阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种存储器结构,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。所述存储器的性能得到提高。

技术研发人员:夏志良;陈俊;鲍琨;董金文;华文宇;靳磊;江宁;刘峻
受保护的技术使用者:长江存储科技有限责任公司
技术研发日:2018.09.19
技术公布日:2019.06.25

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