陶瓷电子部件的制造方法以及陶瓷电子部件与流程

文档序号:18745047发布日期:2019-09-21 02:14阅读:来源:国知局
技术总结
一种陶瓷电子部件的制造方法以及陶瓷电子部件,能够在由包含钛的金属氧化物构成的陶瓷坯体的表面的任意的部位形成电镀电极。陶瓷电子部件的制造方法具备如下的工序:准备含有包含钛的金属氧化物的陶瓷坯体(10);向陶瓷坯体的表层部的一部分照射峰值功率密度1×106W/cm2~1×109W/cm2、频率500kHz以下的脉冲激光,对金属氧化物进行改质来形成低电阻部;以及在低电阻部上通过电解电镀处理而形成电极。BaTiO3这样的包含钛的金属氧化物通过基于激光照射的加热而生成O缺陷,形成n型半导体。该半导体部分的电阻值比金属氧化物低,因此能够通过电解电镀而使电镀金属选择性地析出。

技术研发人员:堤正纪;国司多通夫
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2018.02.05
技术公布日:2019.09.20

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