透明导电膜的制作方法

文档序号:19667462发布日期:2020-01-10 21:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种透明导电膜,成膜于基底上,包含

氧化锡、

1.5wt%以上且2.5wt%以下的氧化钽、以及

0.3wt%以上且0.7wt%以下的氧化铌。

2.根据权利要求1所述的透明导电膜,其中,

所述透明导电膜具有1000nm以下的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的透明导电膜,其中,

所述透明导电膜具有100ω/sq.以下的方块电阻。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的透明导电膜,其中,

所述透明导电膜具有3500μω·cm以下的电阻率。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的透明导电膜,其中,

所述透明导电膜具有1000kgf/mm2以上的维氏硬度。

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