1.贴膜装置，用于晶圆的贴膜，其特征在于，包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件。
2.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁紧组件包括设于所述第一贴膜台的第一锁紧块、与所述第二贴膜台滑动连接的第一锁紧杆、以及设于所述第二贴膜台且用于驱动所述第一锁紧杆移动的第一锁紧驱动件；所述第一锁紧块开设有与所述第一锁紧杆相配合的第一锁紧孔。
3.根据权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一导向块，所述第一导向块开设有以供所述第一锁紧杆通过的第一导向孔。
4.根据权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一固定块，所述第一固定块开设有与所述第一锁紧杆相对应的第一固定孔，所述第一固定块与所述第一导向块相对且间隔设置。
5.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁紧组件包括设于所述第二贴膜台的第二锁紧块、与所述第一贴膜台滑动连接的第二锁紧杆、以及设于所述第一贴膜台且用于驱动所述第二锁紧杆移动的第二锁紧驱动件；所述第二锁紧块开设有与所述第二锁紧杆相配合的第二锁紧孔。
6.根据权利要求5所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二导向块，所述第二导向块开设有以供所述第二锁紧杆通过的第二导向孔。
7.根据权利要求6所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二固定块，所述第二固定块开设有与所述第二锁紧杆相对应的第二固定孔，所述第二固定块与所述第二导向块相对且间隔设置。
8.根据权利要求1-7任一项所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜支架包括相对且间隔设置的两块贴膜立板，所述贴膜立板开设有贴膜让位孔。
9.根据权利要求1-7任一项所述的贴膜装置，其特征在于，所述压膜机构包括设于所述第一贴膜台的压膜气缸、与所述压膜气缸的活动端相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜板。
10.根据权利要求1-7任一项所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜升降驱动机构包括贴膜底座、以及设于所述贴膜底座的升降气缸；所述第二贴膜台与所述升降气缸的活动端相连。