贴膜装置的制作方法

本实用新型涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有的如晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，通常为压膜机构将干膜贴附于晶圆的表面，但现有的贴膜装置贴膜后存在干膜与晶圆之间贴合不紧密的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种贴膜装置，旨在解决现有技术中，干膜与晶圆之间贴合不紧密的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

贴膜装置，用于晶圆的贴膜，贴膜装置包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件。

进一步地，所述锁紧组件包括设于所述第一贴膜台的第一锁紧块、与所述第二贴膜台滑动连接的第一锁紧杆、以及设于所述第二贴膜台且用于驱动所述第一锁紧杆移动的第一锁紧驱动件；所述第一锁紧块开设有与所述第一锁紧杆配合的第一锁紧孔。

进一步地，所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一导向块，所述第一导向块开设有以供所述第一锁紧杆通过的第一导向孔。

进一步地，所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一固定块，所述第一固定块开设有与所述第一锁紧杆相对应的第一固定孔，所述第一固定块与所述第一导向块相对且间隔设置。

进一步地，所述锁紧组件包括设于所述第二贴膜台的第二锁紧块、与所述第一贴膜台滑动连接的第二锁紧杆、以及设于所述第一贴膜台且用于驱动所述第二锁紧杆移动的第二锁紧驱动件；所述第二锁紧块开设有与所述第二锁紧杆配合的第二锁紧孔。

进一步地，所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二导向块，所述第二导向块开设有以供所述第二锁紧杆通过的第二导向孔。

进一步地，所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二固定块，所述第二固定块开设有与所述第二锁紧杆相对应的第二固定孔，所述第二固定块与所述第二导向块相对且间隔设置。

进一步地，所述贴膜支架包括相对且间隔设置的贴膜立板，所述贴膜立板开设有贴膜让位孔。

进一步地，所述压膜机构包括设于所述第一贴膜台的压膜气缸、与所述压膜气缸的活动端相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜板。

进一步地，所述贴膜升降驱动机构包括贴膜底座、以及设于所述贴膜底座的升降气缸；所述第二贴膜台与所述升降气缸的活动端相连。

本实用新型的有益效果：当第二贴膜台与第一贴膜台接触后，锁紧组件将第一贴膜台与所述第二贴膜台锁紧，压膜机构动作对干膜及晶圆施力，使得干膜贴附于晶圆的表面，进而完成晶圆的贴膜，且由于锁紧组件将第一贴膜台与所述第二贴膜台锁紧，因此压膜机构动作对干膜及晶圆施力时，第一贴膜台与所述第二贴膜台之间不会发生相对运动，压膜机构可对干膜及晶圆充分施力，保证干膜与晶圆之间贴合的紧密性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中贴膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例中锁紧组件的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例中贴膜装置的剖视图；

图中：

1、贴膜支架；11、贴膜立板；111、贴膜让位孔；2、第一贴膜台；3、压膜机构；31、压膜气缸；32、压膜板；4、第二贴膜台；5、贴膜升降驱动机构；51、贴膜底座；52、升降气缸；6、锁紧组件；61、第一锁紧块；611、第一锁紧孔；62、第一锁紧杆；63、第一锁紧驱动件；64、第一导向块；65、第一固定块；651、第一固定孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1-图3所示，本实用新型实施例提出了一种贴膜装置，用于晶圆的贴膜；贴膜装置包括贴膜支架1、固定设于贴膜支架1的第一贴膜台2、设于第一贴膜台2的压膜机构3、与第一贴膜台2相对设置的第二贴膜台4、用于驱动第二贴膜台4运动的贴膜升降驱动机构5、以及设于第一贴膜台2与第二贴膜台4之间且用于锁紧第一贴膜台2与第二贴膜台4的锁紧组件6。

在本实用新型的实施例中，贴膜装置的贴膜过程为：将晶圆放置于第二贴膜台4上，干膜位于第一贴膜台2与第二贴膜台4之间且位于晶圆的正上方，然后贴膜升降驱动机构5带动第二贴膜台4上升并逐渐靠近第一贴膜台2，当第二贴膜台4与第一贴膜台2接触后，锁紧组件6将第一贴膜台2与第二贴膜台4锁紧，压膜机构3动作对干膜及晶圆施力，使得干膜贴附于晶圆的表面，进而完成晶圆的贴膜，且由于锁紧组件6将第一贴膜台2与第二贴膜台4锁紧，因此压膜机构3动作对干膜及晶圆施力时，第一贴膜台2与第二贴膜台4之间不会发生相对运动，压膜机构3可对干膜及晶圆充分施力，保证干膜与晶圆之间贴合的紧密性。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，锁紧组件6包括设于第一贴膜台2的第一锁紧块61、与第二贴膜台4滑动连接的第一锁紧杆62、以及设于第二贴膜台4且用于驱动第一锁紧杆62移动的第一锁紧驱动件63；第一锁紧块61开设有与第一锁紧杆62配合的第一锁紧孔611。锁紧组件6将第一贴膜台2与第二贴膜台4锁紧的过程为：第一锁紧驱动件63(可为气缸等驱动件)带动第一锁紧杆62移动并伸入第一贴膜台2上的第一锁紧块61的第一锁紧孔611内，此时第一锁紧杆62将第一锁紧块61限位，因此第一贴膜台2无法相对第二贴膜台4移动。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，锁紧组件6还包括设于第二贴膜台4的第一导向块64，第一导向块64开设有以供第一锁紧杆62通过的第一导向孔。第一锁紧杆62于第一导向孔内与第二贴膜台4滑动连接。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，锁紧组件6还包括设于第二贴膜台4的第一固定块65，第一固定块65开设有与第一锁紧杆62相对应的第一固定孔651，第一固定块65与第一导向块64相对且间隔设置。当第一锁紧杆62伸入第一贴膜台2上的第一锁紧块61的第一锁紧孔611内后，第一锁紧杆62继续移动至第一固定块65上的第一固定孔651内，此时第一锁紧块61位于第一固定块65与第一导向块64之间，第一锁紧杆62的两端分别位于第一固定块65与第一导向块64内，提升对第一锁紧块61的锁紧作用，保证对第一贴膜台2与第二贴膜台4之间的锁紧效果。

进一步地，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，锁紧组件6包括设于第二贴膜台4的第二锁紧块、与第一贴膜台2滑动连接的第二锁紧杆、以及设于第一贴膜台2且用于驱动第二锁紧杆移动的第二锁紧驱动件；第二锁紧块开设有与第二锁紧杆配合的第二锁紧孔(图中未示出)。锁紧组件6将第一贴膜台2与第二贴膜台4锁紧的过程为：第二锁紧驱动件(可为气缸等驱动件)带动第二锁紧杆移动并伸入第二贴膜台4上的第二锁紧块的第二锁紧孔内，此时第二锁紧杆将第二锁紧块限位，因此第二贴膜台4无法相对第一贴膜台2移动。

进一步地，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，锁紧组件6还包括设于第一贴膜台2的第二导向块，第二导向块开设有以供第二锁紧杆通过的第二导向孔(图中未示出)。第二锁紧杆于第二导向孔内与第一贴膜台2滑动连接。

进一步地，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，锁紧组件6还包括设于第一贴膜台2的第二固定块，第二固定块开设有与第二锁紧杆相对应的第二固定孔，第二固定块与第二导向块相对且间隔设置(图中未示出)。当第二锁紧杆伸入第二贴膜台4上的第二锁紧块的第二锁紧孔内后，第二锁紧杆继续移动至第二固定块上的第二固定孔内，此时第二锁紧块位于第二固定块与第二导向块之间，第二锁紧杆的两端分别位于第二固定块与第二导向块内，提升对第二锁紧块的锁紧作用，保证对第一贴膜台2与第二贴膜台4之间的锁紧效果。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，贴膜支架1包括相对且间隔设置的贴膜立板11，贴膜立板11开设有贴膜让位孔111。第一贴膜台2安装固定于两块贴膜立板11之间，第二贴膜台4位于第一贴膜台2的正下方，贴膜让位孔111以供带状的干膜进入第一贴膜台2与第二贴膜台4之间，可持续为晶圆提供干膜。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，压膜机构3包括设于第一贴膜台2的压膜气缸31、与压膜气缸31的活动端相连且位于第一贴膜台2与第二贴膜台4之间的压膜板32。压膜气缸31的活塞杆(也即活动端)带动压膜板32移动并对干膜与晶圆施力，以完成对干膜与晶圆之间的压紧作用，完成压膜动作。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，贴膜升降驱动机构5包括贴膜底座51、以及设于贴膜底座51的升降气缸52；第二贴膜台4与升降气缸52的活动端相连。设置在贴膜底座51上的升降气缸52带动第二贴膜台4的升降运动以实现将第一贴膜台2与第二贴膜台4相接触。

需要声明的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的实施方案。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。