一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构的制作方法

文档序号:23705246发布日期:2021-01-23 12:54阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:包括推送机构(2)、用于带动晶体移动的第一移动机构(3)、机架(4)、第二移动机构(5)、支撑套(6)、支撑座(7)、放置板(8),所述推送机构(2)设置在所述机架(4)前方中间位置,所述第一移动机构(3)设置在所述机架(4)一侧,所述第二移动机构(5)设置在所述机架(4)前方,所述支撑套(6)位于所述机架(4)内侧,所述支撑座(7)设置在所述机架(4)内侧中间位置,所述放置板(8)位于所述推送机构(2)内侧,还包括固定机构(1),所述固定机构(1)包括底座(11)、放置座(12)、限位架(13)、皮垫(14)、加热丝(15),所述底座(11)安装在所述支撑座(7)顶部,所述放置座(12)安装在所述底座(11)顶部,所述限位架(13)安装在所述放置座(12)顶部,所述皮垫(14)安装在所述放置座(12)顶部,所述加热丝(15)设置在所述底座(11)内侧。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述推送机构(2)包括支撑架(21)、推送气缸(22)、推送架(23),所述支撑架(21)安装在所述机架(4)前端中间位置,所述推送气缸(22)固定部安装在所述支撑架(21)下侧,所述推送架(23)前端的下侧安装在所述推送气缸(22)伸缩部,所述放置板(8)位于所述推送架(23)顶部。3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述第一移动机构(3)包括第一伺服电机(31)、第一丝杠(32)、第一移动架(33)、链轮(34)、链条(35),所述第一伺服电机(31)安装在所述机架(4)一端前侧,所述第一丝杠(32)前后两端安装在所述机架(4)内部前后两侧位置,所述第一移动架(33)两端安装在所述第一丝杠(32)外侧,所述链轮(34)安装在所述第一丝杠(32)一侧,所述链条(35)设置在所述链轮(34)外侧。4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述第一移动机构(3)包括第一伺服电机(31)、第一丝杠(32)、第一移动架(33)、带轮(314)、皮带(315),所述第一伺服电机(31)安装在所述机架(4)一端前侧,所述第一丝杠(32)前后两端安装在所述机架(4)内部前后两侧位置,所述第一移动架(33)两端安装在所述第一丝杠(32)外侧,所述带轮(314)安装在所述第一丝杠(32)一侧,所述皮带(315)设置在所述带轮(314)外侧。5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述第二移动机构(5)包括第二伺服电机(51)、第二丝杠(52)、第二移动架(53)、辅助电机(54),所述第二伺服电机(51)和所述辅助电机(54)安装在所述机架(4)前侧,所述第二伺服电机(51)位于所述辅助电机(54)一侧,所述第二丝杠(52)前后两端安装在所述机架(4)内部的两侧,所述第二移动架(53)两端安装在所述第二丝杠(52)外侧。6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述底座(11)与所述支撑座(7)通过螺栓连接,所述放置座(12)与所述底座(11)通过螺钉连接,所述限位架(13)与所述放置座(12)通过焊接连接。7.根据权利要求2所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述支撑架(21)与所述机架(4)通过螺栓连接,所述推送气缸(22)固定部与所述支撑架(21)通过螺栓连接,所述推送架(23)与所述推送气缸(22)伸缩部通过螺纹连接。8.根据权利要求3所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述第一伺服电机(31)与所述机架(4)通过螺栓连接,所述第一丝杠(32)与所述机架(4)通
过轴承连接,所述第一移动架(33)与所述第一丝杠(32)通过螺纹连接,所述链轮(34)与所述第一丝杠(32)通过键连接。9.根据权利要求4所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述第一伺服电机(31)与所述机架(4)通过螺栓连接,所述第一丝杠(32)与所述机架(4)通过轴承连接,所述第一移动架(33)与所述第一丝杠(32)通过螺纹连接,所述带轮(314)与所述第一丝杠(32)通过键连接。10.根据权利要求5所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构,其特征在于:所述第二伺服电机(51)与所述机架(4)通过螺栓连接,所述辅助电机(54)与所述机架(4)通过螺栓连接,所述第二丝杠(52)与所述机架(4)通过轴承连接,所述第二移动架(53)与所述第二丝杠(52)通过螺纹连接。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1