基板输送用压轮组件及基板输送设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及一种基板输送设备。


背景技术：

2.在半导体制造工艺过程中，经常需要用到用于输送半导体器件制造所需的基板的基板输送设备。现有常见的一种基板输送设备，利用上下两个压轮夹持基板并旋转，使得基板在压轮摩擦力的作用下水平运动。针对不同翘曲量及厚度的基板，需要手动调整压轮之间的间隙，从而调整压轮对基板的压力。在生产实践中，如果一批基板的翘曲程度及厚度不一样，需要不断手动调整上下两个压轮之间的间隙，耗时费力，严重影响生产效率。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术中的上述不足，本技术的目的在于提供一种基板输送用压轮组件，可以使得基板输送通道的高度能够根据基板的不同翘曲量及厚度自适应调整，无需手动调整压轮之间的间隙。
4.本实用新型的第一方面，提供了一种基板输送用压轮组件，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮和第二压轮，所述第一压轮和所述第二压轮之间形成基板输送通道；所述第一压轮和所述第二压轮中的至少一个包括轮圈以及设置在轮圈外环上的弹性件，弹性件与轮圈的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。
5.在一种可能的实施方式中，所述第一压轮和第二压轮均包括所述轮圈和所述弹性件。
6.在一种可能的实施方式中，所述第一压轮位于所述第二压轮的上方，所述第一压轮的弹性件上设有与所述容纳腔连通的通孔。
7.在一种可能的实施方式中，所述第一压轮对应的容纳腔内填充有水、显影液或剥离液中的任意一种。
8.在一种可能的实施方式中，所述第一压轮对应的容纳腔内填充有压缩空气或惰性气体。
9.在一种可能的实施方式中，所述惰性气体为氦气。
10.在一种可能的实施方式中，所述基板输送用压轮组件包括多个压轮组，多个所述压轮组沿基板输送通道的输送方向间隔排列。
11.在一种可能的实施方式中，工作流体填充所述容纳腔后，所述弹性件的外径为50-200mm。
12.本实用新型的第二方面，提供一种基板输送设备，包括机体以及第一方面至少一种可能的基板输送用压轮组件，机体上设有分别与所述压轮组的第一压轮以及第二压轮连接的第一驱动轴和第二驱动轴，所述第一驱动轴和第二驱动轴分别与驱动装置连接，用以在所述驱动装置的驱动下带动所述第一压轮以及第二压轮旋转。
13.在一种可能的实施方式中，所述弹性件用于与待输送基板接触的壁面上设有防滑
结构。
14.综上所述，相对于现有技术而言，本实用新型提供的一种基板输送用压轮组件及基板输送设备，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮和第二压轮，所述第一压轮和所述第二压轮之间形成基板输送通道，该输送通道用以将输送待输送基板从一端输送至另一端；所述第一压轮和所述第二压轮中的至少一个包括轮圈以及设置在轮圈外环上的弹性件，弹性件与轮圈的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。如此，在容纳腔中填充可压缩的工作流体时，当不同翘曲程度和/或厚度的基板在基板输送通道中与第一压轮和第二压轮接触时，基板与对应的弹性件接触并挤压弹性件，使得对应的容纳腔的腔体被压缩；基板沿基板输送通道运动直至脱离第一压轮和第二压轮后，对应的弹性件在工作流体的压力作用下恢复原位，使得对应的容纳腔的腔体膨胀恢复。由此可见，本实用新型形成的基板输送通道具有自适应调整通道高度的功能，无需人工手动调整，节省人力和时间，能够满足生产企业连续生产的需求，能够提高生产效率。
附图说明
15.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
16.图1为本技术实施例提供的基板输送用压轮组件的结构示意图；
17.图2为本技术实施例提供的压轮的结构示意图；
18.图3为本技术实施例提供的基板输送用压轮组件包括多个压轮组的结构俯视图；
19.图4为本技术实施例提供的基板输送用压轮组件包括多个压轮组的结构左视图；
20.图5为本技术实施例提供的基板输送用压轮组件用于输送基板时的状态示意图；
21.图6为本技术实施例提供的基板输送设备的结构示意图；
22.图标：2-第一压轮、202-弹性件、2021-通孔、21-第一驱动轴、3-第二压轮、31-第二驱动轴、4-基板、5-机体。
具体实施方式
23.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
24.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
25.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
26.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
28.在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
29.下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。
30.现有的基板输送设备，上下两个压轮与基板均为刚性接触，针对不同翘曲量和厚度的基板，需要人工手动调整上下两个压轮之间的间隙基板输送通道的高度。
31.为了解决前述背景技术中的技术问题，参见图1和图2，本技术实施例提供一种基板输送用压轮组件，下面结合附图对所述基板输送用压轮组件进行详细说明。详细地，本实用新型提供的一种基板输送用压轮组件，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮2和第二压轮3，所述第一压轮2和所述第二压轮3之间形成基板输送通道。在实际应用时，待输送的基板可以被放置到所述基板输送通道中，使第一压轮2和第二压轮3均与基板4接触，然后通过驱动装置驱动第一压轮2和第二压轮3旋转，利用第一压轮2和第二压轮3旋转时与基板4之间产生的摩擦力推动基板4沿基板输送通道水平运动。
32.本实施例中，所述第一压轮2和所述第二压轮3中的至少一个包括轮圈201以及设置在轮圈201外环上的弹性件202，弹性件202与轮圈201的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。在应用所述基板输送用压轮组件对所述待输送基板进行输送之前，可以在所述容纳腔中填充工作流体，使工作流体为容纳腔提供压力，使得弹性件4处于膨胀状态，在生产实践中，流体的压力范围一般选用05.-1.1mpa。在工作时，当弹性件202受到不同翘曲程度和/或厚度的基板4的挤压时，弹性件可向靠近轮圈201的方向收缩，使得容纳腔的腔体被压缩，从而使得容纳腔中的压力升高，弹性件202在压力的作用下紧贴基板4，保证弹性件202能够与基板4紧密接触，避免弹性件202与基板4之间打滑而影响基板的输送。其次，当基板4沿着基板输送通道继续运动至脱离第一压轮2和第二压轮3后，相应的被压缩的弹性件202在容纳腔压力的作用下膨胀恢复至初始状态。
33.在前述的实施方式中，可用于弹性件202并适于工业应用的材料可以包括，但不限于，三元乙丙橡胶、氟橡胶和全氟醚橡胶等材料，前述材料的耐化学性、耐热性、密封性都比较好，并具有一定的塑性和可弯曲性。
34.在前述的实施方式中，可用于填充容纳腔的工作流体可以包括，但不限于，水、压缩空气和惰性气体等可压缩流体。作为一种示例，本实施例中，可使用惰性气体作为工作流体，可降低工作流体对弹性件化学腐蚀的潜在风险。
35.在一种可能的实施方式中，为了提高对基板的输送可靠性，优选所述第一压轮2和第二压轮3均包括所述轮圈201和所述弹性件202，这种实施方式可进一步提高本实用新型的基板输送通道的自适应调整高度的性能，使得本实用新型可以适用于更大范围的翘曲程度和厚度的基板4。
36.在一种可能的实施方式中，参见图5，所述第一压轮2位于所述第二压轮3的上方，所述第一压轮2的弹性件202上设有与所述容纳腔连通的通孔2021。
37.通孔2021用以在传输基板4的同时将容纳腔中的工作流体持续喷射至基板4上，以通过调整工作流体的喷射压力来调整基板4与第二压轮3之间的压力，从而以另一种方式实现基板输送通道的高度的自适应调整；该实施方式还可以便于在不同的基板加工工序中使用该流体，例如，在水洗工序中，可在容纳腔中填充清洗用水；在显影工序中，在容纳腔中填充显影液；在剥离工序中，在容纳腔中填充剥离液；如此，可以节省专用的工作流体喷射设备。在不需要使用所述通孔2021时，可以采用气嘴等对通孔2021进行密封。还可在不同的加工位置，根据加工需要使用开孔或密闭的压轮。
38.在一种可能的实施方式中，所述第一压轮2对应的容纳腔内填充有压缩空气或惰性气体。优选地，为了避免喷射出的气体与弹性件202、基板4之间产生化学腐蚀，优选使用惰性气体。
39.在一种可能的实施方式中，所述惰性气体为氦气。
40.在一种可能的实施方式中，参见图3和图4，所述基板输送用压轮组件还可以包括多个压轮组，多个所述压轮组沿基板输送通道的输送方向等间距或非等间距排列，多个压轮组均可与基板4接触，使得基板4在输送过程中姿态更稳定，输送过程更加平稳。
41.在一种可能的实施方式中，工作流体填充所述容纳腔后，所述弹性件202的外径为50-200mm；在生产实践中，弹性件202的压缩量至少为10mm。
42.参见图6，本实用新型还提供一种基板输送设备，包括机体5以及前述的任意一种实施方式中的基板输送用压轮组件，机体5上设有分别与所述压轮组的第一压轮2以及第二压轮3连接的第一驱动轴21和第二驱动轴31，所述第一驱动轴21和第二驱动轴31分别与驱动装置连接，用以在所述驱动装置的驱动下带动所述第一压轮2以及所述第二压轮3旋转。
43.具体的是，所述的驱动装置可以包括，但不限于，控制器、旋转电机、变速箱等常用工业用驱动设备，例如，旋转电机可以通过变速箱驱动第一驱动轴21和第二驱动轴31旋转，进而驱动所述第一压轮2以及所述第二压轮3旋转。
44.在一种可能的实施方式中，所述弹性件202用于与待输送基板接触的壁面上设有防滑结构，所述防滑结构可以是防滑纹路或防滑凸起等常用防滑结构，可通过一体注塑成型或粘接的方式设置在弹性件202的壁面上，以避免弹性件202与基板4之间产生相对滑动。
45.综上所述，本技术实施例提供的基板输送用压轮组件及基板输送设备，可以在不同翘曲量和/或厚度的基板在基板输送通道中与第一压轮和第二压轮接触时，基板与对应的弹性件接触并挤压弹性件，使得对应的容纳腔的腔体被压缩；基板沿基板输送通道运动直至脱离第一压轮和第二压轮后，对应的弹性件在工作流体的压力作用下恢复原位，使得对应的容纳腔的腔体膨胀恢复。由此可见，本实用新型形成的基板输送通道具有自适应调整通道高度的功能，无需人工手动调整，节省人力和时间，能够满足生产企业连续生产的需求，能够提高生产效率。
46.以上所述，仅为本技术的各种实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。