技术特征：
1.一种基板输送用压轮组件，其特征在于，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮(2)和第二压轮(3)，所述第一压轮(2)和所述第二压轮(3)之间形成基板输送通道；所述第一压轮(2)和所述第二压轮(3)中的至少一个包括轮圈(201)以及设置在轮圈(201)外环上的弹性件(202)，弹性件(202)与轮圈(201)的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。2.根据权利要求1所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)和第二压轮(3)均包括所述轮圈(201)和所述弹性件(202)。3.根据权利要求2所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)位于所述第二压轮(3)的上方，所述第一压轮(2)的弹性件(202)上设有与所述容纳腔连通的通孔(2021)。4.根据权利要求3所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)对应的容纳腔内填充有水、显影液或剥离液中的任意一种。5.根据权利要求3所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)对应的容纳腔内填充有压缩空气或惰性气体。6.根据权利要求5所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述惰性气体为氦气。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述基板输送用压轮组件包括多个压轮组，多个所述压轮组沿基板输送通道的输送方向间隔排列。8.根据权利要求7所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，工作流体填充所述容纳腔后，所述弹性件(202)的外径为50-200mm。9.一种基板输送设备，其特征在于，包括机体(5)以及如权利要求1至8中任一权利要求所述的基板输送用压轮组件，机体(5)上设有分别与所述压轮组的第一压轮(2)以及第二压轮(3)连接的第一驱动轴(21)和第二驱动轴(31)，所述第一驱动轴(21)和第二驱动轴(31)分别与驱动装置连接，用以在所述驱动装置的驱动下带动所述第一压轮(2)以及所述第二压轮(3)旋转。10.根据权利要求9所述的基板输送设备，其特征在于，所述弹性件(202)用于与待输送基板接触的壁面上设有防滑结构。
技术总结
本实用新型提供的一种基板输送用压轮组件及基板输送设备，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮和第二压轮，所述第一压轮和所述第二压轮之间形成基板输送通道；所述第一压轮和所述第二压轮中的至少一个包括轮圈以及设置在轮圈外环上的弹性件，弹性件与轮圈的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。当不同翘曲量和/或厚度的基板在基板输送通道中与第一压轮和第二压轮接触和脱离时，对应的容纳腔可压缩或膨胀，使得基板输送通道具有自适应调整通道高度的功能。送通道具有自适应调整通道高度的功能。送通道具有自适应调整通道高度的功能。
技术研发人员：张康 吴政达
受保护的技术使用者：成都奕斯伟系统集成电路有限公司
技术研发日：2022.06.14
技术公布日：2022/9/20