1.一种半导体器件(10),其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的半导体器件(10),其特征在于,
3.根据权利要求1或2所述的半导体器件(10),其特征在于,
4.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
5.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
6.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
7.根据权利要求1至5中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
8.根据权利要求5和7所述的半导体器件(10),其特征在于,
9.根据权利要求8所述的半导体器件(10),其特征在于,
10.根据权利要求1所述的半导体器件(10),其特征在于,
11.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
12.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
13.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
14.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
15.根据权利要求5至14中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
16.根据权利要求5至15中任一项所述的半导体器件(10),其特征在于,
17.根据权利要求1至16中任一项所述的器件,其特征在于,
18.一种用于制造半导体器件(10)的方法(20),其特征在于,所述方法包括: