专利名称：耐腐蚀电容器的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种耐腐蚀电容器，主要用于准分子激光器和氟分子激光器中的峰化电容，是上述激光器的重要部件之一。
准分子激光器需要极快的激发速率。为此，需要把峰化电容尽可能的靠近电极，以减小连接线的电感，提高放电速率。所以，通常把峰化电容放入激光器的谐振腔内。与电极紧密相连。而激光器谐振腔内充入的工作介质(例如HCl,F2等气体)具有强腐蚀性能，已有技术中的电容器由外壳1和置于外壳1内的含有带电极引出线的接线柱201和205的两电极202、204，以及两电极之间夹有绝缘层203的芯体2构成。如图1所示。这种激光器的外壳1常常会与这些腐蚀性气体发生化学反应，不但会损坏电容器本身。而且，由于化学反应生成的杂质会大大影响激光器的使用寿命。
本实用新型的目的为了克服上述电容器的缺陷，提供一种耐腐蚀电容器，置入上述含有腐蚀性气体的激光器谐振腔内，不被腐蚀性气体腐蚀，既不损坏电容器本身，又不会污染激光器的腔体，将提高激光器的使用寿命。
本实用新型的电容器结构包括外壳1和置于外壳1内的芯体2。芯体2含有两端分别带有电极引出线的接线柱201和205的两电极202和204，以及两电极202与204之间夹有绝缘层203。外壳1是由外层耐腐蚀层101和内层为填充层102所构成。芯体2置于外壳1内，两端接线柱201和205露出外壳1，以便将电容器方便地接入所用线路中。
外壳1的最外层的耐腐蚀层101与芯体2之间充满有填充层102，也就是说耐腐蚀层102与芯体2之间由填充层密质相连。两者之间不能含有气隙。如图2所示。
所说的外壳1的外层耐腐蚀层101是对有腐蚀性介质，如F2、HCl、HBr等气体，有防腐蚀作用的三氧化二铝(Al2O3)陶瓷层。
所说的填充层102是质密的不含气隙的环氧树脂层，或者是绝缘胶层。
所说的芯体2中两电极202与204之间的绝缘层是陶瓷层。所以，本实用新型也是无感电容器。
本实用新型的优点是本实用新型的电容器可以应用到任何有腐蚀性的介质中。电容器本身不会被腐蚀。因此，也就不会污染环境。当使用在上述激光器谐振腔内，即不会破坏电容器本身，又不会造成激光器谐振腔内的有害杂质出现，延长了电容器本身的使用寿命，同时也延长的激光器的使用寿命。给经济上带来很大的效益。
图1已有技术中电容器结构示意图。
图2本实用新型的耐腐蚀电容器结构示意图。
实施例如图2所示的耐腐蚀电容器装入氟化氩(ArF)准分子激光器以及氟(F2)分子激光器的谐振腔内，ArF准分子激光器已运转了三年以上，尚未发现电容器损坏，一次充气寿命从已有技术中的电容器的104次脉冲，提高到本实用新型耐腐蚀电容器的105次脉冲，提高了一个量级的使用寿命。从而激光器的寿命也提高了10倍以上，效果是显著的。在F2分子激光器中使用，激光器也已运转了近二年，电容器完好无损。若用已有技术的电容器，激光器的谐振腔内不但要经常清洗，而且电容器要经常更换，这也说明本实用新型是有显著进步的。
权利要求1．一种耐腐蚀电容器，包括外壳(1)和置于外壳(1)内的芯体(2)，芯体(2)含有两端分别带有电极引出线的接线柱(201)和(205)的两电极(202)和(204)，以及两电极(202)与(204)之间夹有的绝缘层(203)，其特征在于外壳(1)是由外层为耐腐蚀层(101)和内层为填充层(102)所构成，也就是说置于外壳(1)内的芯体(2)与外壳(1)的外层耐腐蚀层(101)之间有由质密的不含气隙的填充层(102)密质相连。
2．根据权利要求1的耐腐蚀电容器，其特征在于外壳(1)的外层耐腐蚀层是三氧化二铝陶瓷层。
3．根据权利要求1的耐腐蚀电容器，其特征在于外壳(1)的内层(102)是质密的不含气隙的环氧树脂层，或者是绝缘胶层。
专利摘要一种耐腐蚀电容器，主要适用于准分子激光器和氟分子激光器。它含有外壳和置于外壳内的芯体。芯体含有带接线柱的两电极以及两电极之间的绝缘层。外壳由外层为耐腐蚀层和内层质密不含气隙的填充层构成。本实用新型的耐腐蚀电容器可以应用到任何有腐蚀性的介质中，电容器本身不会受到腐蚀，也不会污染环境，电容器的使用寿命比已有技术提高了一个数量级。
文档编号H01G2/00GK2353026SQ9822567
公开日1999年12月8日 申请日期1998年11月19日 优先权日1998年11月19日
发明者袁才来, 蒋宝财, 庞加满 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所