根据附图来对本发明实施方式的基板盒清洗装置详细地进行说明。
[0053]图1至图19所示的本发明实施方式的基板盒清洗装置S处理基板盒C，所述基板盒C收纳作为如图20A和图20B所示那样的基板D的EUV掩模。近年来，例如，在硅片上描绘集成电路图案的光刻技术中，随着LSI (大规模集成电路)的高集成化而采用了作为在真空中被照射EUV(extreme ultrav1let:远紫外线)光的基板的EUV掩模。上述基板盒C收纳保管该EUV掩模，成为双层结构。该双层结构的基板盒C具备内部容器N和外部容器。内部容器N由内部底座Nb和覆盖该内部底座Nb的内部壳Ns构成，并且在内部容纳作为基板D的掩模。外部容器M由对内部容器N的内部底座Nb进行支承的外部底座Mb和覆盖外部底座Mb的外部壳Ms构成，并且在内部容纳内部容器N。这样使基板盒C成为双层结构是为了彻底地防御基板D被外部空气污染。外部容器M暴露于外部空气中，但只要不刻意地将外部容器M打开，内部容器N就不会暴露在外部空气中。本基板盒清洗装置S在未设置基板D的状态下对基板盒C进行清洗。
[0054]如图21所示，在外部容器M的外部底座Mb的中央设置有插销型的锁定部1，所述锁定部I能够将外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns各部件锁定成彼此不能脱离，并能够将这些部件解锁成能够脱离。锁定部I具有在外部底座Mb的外侧面形成的插入孔2，在该插入孔2的内部设置有机构部(未图不)。设置于后述的支承台20的插销驱动部21的插销21a从该插入孔2被插入，通过插销驱动部21的转动动作而使锁定部I能够锁定和解除锁定。此外，供设置在后述的载置台13的定位销15插入的定位凹部3按等角度关系设置在三处。并且，供后述的支承台20的卡合凸部23、和设置于第一清洗装置40的盖43的背面的定位用的卡合凸部91卡合的卡合凹部4与定位凹部3的外侧相邻地按等角度关系设置在三处。
[0055]如图1至图4所示，本发明实施方式的基板盒清洗装置S具备室10，所述室10形成洁净的空间。在室10设置有开口 11，所述开口 11能够供基板盒C通过并且能够利用闸板12进行开闭。闸板12借助于致动器12a进行开闭动作。在室10的开口 11的外部设置有载置台13，基板盒C能够以规定的朝向被定位并载置在该载置台13的规定位置处。载置台13以使基板盒C的外部底座Mb处于下方的方式支承基板盒C，如图5所示那样地形成为具有开放部14的叉状，所述开放部14朝向室10侧敞开并使基板盒C的外部底座Mb的卡合凹部4露出。在载置台13的上表面设置有三个定位销15，所述三个定位销15被插入定位于设置在外部底座Mb的背面的三个定位凹部3中。此外，在载置台13的上表面设置有定位用的四个定位块16，所述四个定位块16对外部底座Mb的角部进行保持。
[0056]此外，如图1、图2、图6A至图8E所示，基板盒清洗装置S具备支承台20，所述支承台20在室10内在使外部底座Mb处于下方地装配成能够在垂直方向上分离的状态下支承基板盒C。支承台20设置在移载机构30上。具体而言，如图6A所示，在支承台20的中央设置有插销驱动部21，所述插销驱动部21从支承的基板盒C的外部底座Mb的插入孔2被插入来进行锁定部I的锁定和解除锁定。插销驱动部21是在能够旋转的圆盘上竖立设置多个插销21a而形成的。设置有使插销驱动部21的圆盘旋转的致动器22。并且，在支承台20的外周部设置有三个卡合凸部23，所述三个卡合凸部23与支承的基板盒C的外部底座Mb的三个卡合凹部4卡合。并且，在支承台20上设置有四个空气抽吸型的吸附盘24，所述吸附盘24吸附所支承的基板盒C的外部底座Mb。
[0057]此外，如图1、图2、图7至图8E所示，设置有支承台20的移载机构30构成为，在基板盒C清洗前，使闸板12打开而将载置于载置台13的基板盒C移载至支承台20，并在基板盒C清洗后使闸板12打开而将被支承于支承台20的基板盒C移载至载置台13。该移载机构30具备安装支承台20的机台31。机台31能够在前进位置Rl和后退位置R2这两个位置之间进行移动，所述前进位置Rl是机台31前进到载置台13侧而在载置台13与支承台20之间进行基板盒C的接收和交付的位置，所述后退位置R2是机台31后退到室10内而在与后述的搬送机构之间进行基板盒C的交付和接收的位置。此外，机台31还能够位于比后退位置R2更后退的初始位置R3。移载机构30具备:导轨32，其将该移动的机台31支承成能够移动；和进退驱动部33，其具备使机台31移动至前进位置Rl和后退位置R2这两个位置、以及初始位置R3的例如滚珠丝杠机构。
[0058]如图8B和图8C所示，支承台20设置成能够相对于移载机构30的机台31上下移动，在机台31设置有上下驱动部34，所述上下驱动部34由使支承台20上下移动的气缸装置构成。移载机构30通过在前进位置Rl处使支承台20上升而使支承台20的卡合凸部23与基板盒C的卡合凹部4卡合，并且利用吸附盘24吸附基板盒C而抬起基板盒C。然后，移载机构30能够使支承台20在抬起基板盒C的状态下通过载置台13的开放口 14而进行移动。此外，当在机台31的前进位置Rl处使支承台20上升而使支承台20的卡合凸部23与基板盒C的卡合凹部4卡合时，设置于支承台20的插销驱动部21进行锁定部I的锁定和解除锁定。
[0059]并且，如图1至图3、图9至图15B所示，在室10内设置有:第一清洗槽40，其在将外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件；和第二清洗槽50，其在将内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件。上述的支承台20、第一清洗槽40和第二清洗槽50沿着一个水平方向(Y轴方向)而串联地排列。
[0060]此外，在室10内具备搬送机构60，所述搬送机构60在支承台20与所对应的第一清洗槽40和第二清洗槽50之间对基板盒C的外部容器M和内部容器N的各部件进行搬送。
[0061]具体而言，第一清洗槽40具备:槽主体42，其具有向上方敞开的开口 41 ;和能够开闭的盖43，在搬送基板盒C的外部容器M的各部件时，所述盖43使槽主体42的开口 41打开，在清洗各部件时使所述开口 41关闭。
[0062]此外，如图9所示，第一清洗槽40具备:第一旋转板44，其在槽主体42的底部设置成能够以垂直方向的轴线为中心进行旋转；第一旋转驱动部45，其驱动第一旋转板44旋转；多个(四个)外部底座支承杆46，其竖立设置于第一旋转板44并在规定的高度位置处对外部底座Mb的外缘的一部分(在实施方式中是四个角部)进行支承；和多个(四个)外部壳支承杆47，其竖立设置于第一旋转板44并在与外部底座支承杆46不同的规定的高度位置处对外部壳Ms的外缘的一部分(在实施方式中是四个角部)进行支承。
[0063]外部底座支承杆46设定得高于外部壳支承杆47，在高于外部壳Ms的位置处对外部底座Mb进行支承。如图9所示，在外部底座支承杆46和外部壳支承杆47各自的末端部具备:支承体48，其对各部件的角部进行支承；和引导销49，其设置在支承体48的左右并对各部件的角的两侧进行引导。
[0064]此外，第一清洗槽40的多个外部底座支承杆46和多个外部壳支承杆47彼此竖立设置在旋转方向的不同位置。在实施方式中，如图9至图15B所示，多个外部底座支承杆46和多个外部壳支承杆47以在旋转方向上相位错开45°的方式竖立设置。
[0065]另一方面，第二清洗槽50具备:槽主体52，其具有向上方敞开的开口 51 ;和能够开闭的盖53，在搬送基板盒C的内部容器N的各部件时，所述盖53使槽主体52的开口 51打开，在清洗各部件时，所述盖53使所述开口 51关闭。
[0066]在图9中，示出了第一清洗槽40的内部，但由于在第二清洗槽50中也与第一清洗槽40结构相同，因此对对应的部位带括号地标注第二清洗槽50的标号。如该图9所示，第二清洗槽50具备:第二旋转板54，其在槽主体52的底部设置成能够以垂直方向的轴线为中心进行旋转；第二旋转驱动部55，其驱动第二旋转板54旋转；多个(四个)内部底座支承杆56，其竖立设置于第二旋转板54并在规定的高度位置处对内部底座Nb的外缘的一部分(在实施方式中是四个角部)进行支承；和多个(四个)内部壳支承杆57，其竖立地设置于第二旋转板54并在与内部底座支承杆56不同的规定的高度位置处对内部壳Ns的外缘的一部分(在实施方式中是四个角部)进行支承。
[0067]内部底座支承杆56设定得高于内部壳支承杆57，在高于内部壳Ns的位置处对内部底座Nb进行支承。如图9所示，在内部底座支承杆56和内部壳支承杆57各自的末端部具备:支承体58，其对各部件的角部进行支承；和引导销59，其设置在支承体58的左右并对各部件的角的两侧进行引导。
[0068]此外，第二清洗槽50的多个内部底座支承杆56和多个内部壳支承杆57彼此竖立设置在旋转方向的不同位