置。在实施方式中，如图9至图15B所示，多个内部底座支承杆56和多个内部壳支承杆以在旋转方向上相位错开45°的方式竖立地设置。
[0069]另外，在第一清洗槽40和第二清洗槽50内设置有:清洗液喷嘴组，其喷射已知的清洗液；和空气喷嘴，其喷出干燥空气来干燥。
[0070]此外，如图4所示，本装置具备后述的控制部100。控制部100对第一旋转驱动部45进行控制，具备如下功能:将对外部底座Mb的支承和解除支承时的外部底座支承杆46的停止位置与对外部壳Ms的支承和解除支承时的外部壳支承杆47的停止位置设定成相位不同。在实施方式中，如图1OA和图1lA所示那样地在旋转方向上相位错开45°。
[0071]该控制部100同样地对第二旋转驱动部55进行控制，具备如下功能:将对内部底座Nb的支承和解除支承时的内部底座Nb的支承杆的停止位置和对内部壳Ns的支承和解除支承时的内部壳支承杆57的停止位置设定成相位不同。在实施方式中，如图12A和图13A所示那样地在旋转方向上相位错开45°。
[0072]并且，由于基板盒C以使其外部底座Mb处于下方的方式被支承于支承台20，因此，在基板盒C清洗前，搬送机构60按外部壳Ms、内部壳Ns、内部底座Nb、外部底座Mb的顺序将这些部件从支承台20搬送到各自对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内。此外，在基板盒C清洗后，搬送机构60按外部底座Mb、内部底座Nb、内部壳Ns、外部壳Ms的顺序将这些部件从对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内搬送到支承台20而进行装配。
[0073]具体而言，如图2、图3、图7、图1OA至图18B所示，搬送机构60具备:把持机构61，其能够分别把持外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns ;升降机构62，其使把持机构61在垂直方向(Z轴方向)上升降移动；和行进移动机构63，其使把持机构61在一个水平方向(Y轴方向)上行进移动。上述的控制部100对把持机构61、升降机构62和行进移动机构63进行驱动控制。由此，支承台20、第一清洗槽40和第二清洗槽50沿着一个水平方向(Y轴方向)串联地设置，只要通过控制部100的控制使把持机构61在垂直方向(Z轴方向)和一个水平方向(Y轴方向)这两个轴方向上移动，搬送机构60就能够搬送各部件，因此，搬送机构60与以往的手臂机器人相比，能够使结构简易，能够使各部件的分离搬送容易。此外，也可以不较宽地占用空间，能够实现节省空间。
[0074]如图16A和图16B所不，把持机构61具备底座板64。升降机构62具备升降导轨65，所述升降导轨65将底座板64支承成能够升降移动，利用图示外的驱动部使底座板64升降移动并定位在垂直方向(Z轴方向)的所需位置。此外，行进移动机构63具备水平导轨67，所述水平导轨67固定于支架66，将升降导轨65支承成能够在一个水平方向(Y轴方向)上移动。行进移动机构63利用图示外的驱动部使升降导轨65移动并在一个水平方向(Y轴方向)的所需位置处定位。
[0075]如图3、图7、图16A至图18B所示，把持机构61具备:把持柄70，其具备能够在与一个水平方向(Y轴方向)垂直的另一水平方向(X轴方向)上彼此接近和分离的一对柄单体71、71 ;和驱动部72，其使把持柄70的一对柄单体71、71接近和分离。驱动部72例如由气缸装置构成，其安装于上述底座板64。通过控制部100的控制而使把持柄70的一对柄单体71、71个别地把持外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns。只要通过控制部100的控制使把持机构61在一个水平方向(Y轴方向)和垂直方向(Z轴方向)这两个轴方向上移动并定位、并且使把持柄70在另一水平方向(X轴方向)上移动，就能够实现把持机构61对部件的把持。而且，由于利用一对把持单体71、71就能够把持所有的部件，因此能够使结构简单。
[0076]如图16B、图17A、图17B、图18A和图18B所示，在把持柄70的一对把持单体71、71上形成有卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76与外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns的各把持部的形状分别相应地对它们进行卡定。
[0077]此外，在基板盒清洗装置S中，通过控制部100的控制而在清洗基板盒C时使把持柄70在待机位置Q (图2)待机。在实施方式中，待机位置Q设定在室10的闸板12侧端部。此外，如图1、图2、图16A和图16B所示，设置有对把持柄70进行清洗的清洗单元80。该清洗单元80具备:喷射嘴81，其在把持柄70的待机位置Q的附近对把持柄70喷射气体；和排气扇82，其将从喷射嘴81喷射出的气体从室10内排出。作为气体，可以采用例如空气、氮气等。
[0078]并且，在基板盒清洗装置S中，如图1和图19所示，在第一清洗槽40内设置有保持部90，在无需对外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms中的至少任一方的部件(在实施方式中是外部底座Mb)的外侧面清洗时，所述保持部90能够以覆盖无需清洗的部件的外侧面的方式对该无需清洗的部件进行保持。保持部90设置在第一清洗槽40的盖43的背面，利用盖43的背面来覆盖作为无需清洗的部件的外部底座Mb的外侧面。在盖43的背面，保持部90具备与所保持的外部底座Mb的三个卡合凹部4卡合的三个卡合凸部91。此外，在盖43的背面，保持部90具备对外部底座Mb的外侧面进行吸附的四个吸附盘92。由于利用盖43的背面，因此能够使保持部90的结构简易。
[0079]并且，控制部100具备如下的功能:当在是否无需对外部容器M的外部底座Mb的外侧面清洗的判定中判定为不需要时，通过搬送机构60使该外部底座Mb搬送到保持部90。预先通过在清洗基板盒C前进行的与清洗有关的程序设计、或者利用传感器来检测基板盒C的型式及形状等而进行控制部100的是否无需清洗的判定。在实施方式中，通过在清洗基板盒C前进行的与清洗有关的程序设计来进行。
[0080]另外，控制部100进行上述的闸板12的开闭控制、移载机构30的驱动控制、搬送机构60的驱动控制、第一清洗槽40和第二清洗槽50的盖43、53的开闭控制、旋转板44、54的旋转控制、清洗、干燥控制等各种控制。
[0081]在本实施方式的基板盒清洗装置S中，如下地进行基板盒C的清洗。
[0082]对于是否无需对外部容器M的外部底座Mb的外侧面清洗，预先在控制部100中设计在清洗基板盒C前进行的程序。这里，首先对需要清洗外部底座Mb的外侧面的情况进行说明。
[0083]首先，如图8A所示，采用其它搬送机等而将涉及清洗的基板盒C设置到载置台13上。在清洗基板盒C前，如图SB所示，室10的闸板12被打开，移载机构30的进退驱动部33使机台31与支承台20 —同从初始位置R3前进到前进位置R1，并且将载置于载置台13上的基板盒C接收到支承台20上。此时，如图8C和图6B所示，在机台31的前进位置Rl处，上下驱动部34使支承台20上升并使支承台20的卡合凸部23与基板盒C的外部底座Mb的卡合凹部4卡合而抬起基板盒C。此外，利用吸附盘24来吸附外部底座Mb。因此，能够防止基板盒C向左右前后活动的情况，基板盒C能够可靠地定位在支承台20上。并且，支承台20的插销驱动部21的插销21a从外部底座Mb的插入孔2被插入。
[0084]接着，如图8D所示，移载机构30的进退驱动部33使机台31与支承台20 —同从前进位置Rl后退到后退位置R2。在该情况下，由于载置台13形成为具有开放部14的叉状，因此支承台20在抬起基板盒C的状态下通过载置台13的开放口 14而移动，并定位在后退位置R2。在该情况下，由于使支承台20本身直接移动而利用支承台20进行基板盒C的接收，因此，与以往那样地通过手臂机器人来移动的情况相比，变得无需把持整个基板盒，基板盒C从载置台13向支承台20的移载不会变得复杂而变得简易。而且，基板盒C相对于支承台20的定位也变得能够容易进行。特别是，通过卡合凹部4与卡合凸部23的卡合而能够将定位载置于载置台13的规定位置处的基板盒C定位支承在支承台20上的规定位置，能够提高定位精度。在该后退位置R2处，如图SE所示，插销驱动部21被驱动而被解除锁定，被支承于支承台20的外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns各部件变得能够脱离。此外，闸板12被关闭。
[0085]在该状态下，如图1所示，第一清洗槽40和第二清洗槽50的盖43、53被打开，搬送机构60被驱动，支承台20将基板盒C的各部件交付于搬送机构60。搬送机构60按外部壳Ms、内部壳Ns、内部底座Nb、外部底座Mb的顺序将这些部件从支承台20搬送到各自对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内。通过控制部100的控制使把持机构61在一个水平方向(Y轴方向)和垂直方向(Z轴方向)这两个轴方向上移动而定位，并使把持柄70在另一水平方向(X轴方向)上移动，由此进行