把持机构61对部件的把持。在该情况下，能够利用把持柄70的一对柄单体71、71来把持所有的部件。即，把持柄70的一对柄单体71具备卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76与外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns的各把持部的形状分别相应地对它们进行卡定，因此对各部件的把持变得可靠。在图7、图1OB和图17A中示出了外部壳Ms的把持状态，在图1lB和图17B中示出了外部底座Mb的把持状态，在图12B和图18A中示出了内部壳Ns的保持状态，在图13B和图18B中示出了内部底座Nb的把持状态。
[0086]在该情况下，如下地进行第一清洗槽40对外部壳Ms和外部底座Mb的接收。如图1OA和图1OB所示，控制部100首先驱动第一旋转板44旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用外部壳支承杆47来支承外部壳Ms的角部。在该状态下，把持外部壳Ms的把持柄70下降到第一清洗槽40内而使外部壳Ms支承于外部壳支承杆47，然后上升。在该情况下，外部壳Ms由于被支承于高度较低的外部壳支承杆47，因此变成与把持柄70 —同地位于比高度较高的外部底座支承杆46靠下的位置，但由于外部底座支承杆46和外部壳支承杆47彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此能够避免与该高度较高的外部底座支承杆46发生干扰，能够可靠地搬送并支承保持外部壳Ms。
[0087]接着，如图1lA所示，控制部100驱动第一旋转板44旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用外部底座支承杆46来支承外部底座Mb的角部。即，多个外部底座支承杆46和多个外部壳支承杆47彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此在旋转方向上相位错开45°。搬送机构60只能够使把持机构61在一个水平方向(Y轴方向)和垂直方向(Z轴方向)这两个轴方向上移动，无法改变外部底座Mb的方向及把持柄70的方向。但是，通过将外部底座支承杆46的停止位置和外部壳Ms的支承杆的停止位置设定成相位不同，能够进行各支承杆相对于搬送机构60的位置调整，因此能够使外部底座Mb可靠地支承于外部底座支承杆46。
[0088]另一方面，如下地进行第二清洗槽50对内部壳Ns和内部底座Nb的接收。如图12A和图12B所示，控制部100首先驱动第二旋转板54旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用内部壳支承杆57来支承内部壳Ns的角部。在该状态下，把持内部壳Ns的把持柄70下降到第二清洗槽50内而使内部壳Ns支承于内部壳支承杆57，然后上升。在该情况下，由于内部壳Ns被支承于高度较低的内部壳支承杆57，因此变成与把持柄70 —同地位于比高度较高的内部底座支承杆56靠下的位置，但由于内部底座支承杆56和内部壳支承杆57彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此能够避免与该高度较高的内部底座支承杆56发生干扰，能够可靠地搬送并支承保持内部壳Ns。
[0089]接着，如图13A所示，控制部100驱动第二旋转板54旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用内部底座支承杆56来支承内部底座Nb的角部。即，多个内部底座支承杆56和多个内部壳支承杆57彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此在旋转方向上相位错开45°。搬送机构60只能够使把持机构61在一个水平方向(Y轴方向)和垂直方向(Z轴方向)这两个轴方向上移动，无法改变内部底座Nb的方向及把持柄70的方向。但是，通过将内部底座支承杆56的停止位置和内部壳Ns的支承杆的停止位置设定成相位不同，能够进行各支承杆相对于搬送机构60的位置调整，因此能够使内部底座Nb可靠地支承于内部底座支承杆56。
[0090]如图14A、图14B、图15A和图15B所示，若搬送机构60按外部壳Ms、内部壳Ns、内部底座Nb、外部底座Mb的顺序将这些部件从支承台20向各自对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内搬送完毕，如图2所示，把持柄70待机于待机位置Q。并且，如图1所示，在第一清洗槽40和第二清洗槽50中，盖43、53被关闭，外部容器M和内部容器N的各部件被清洗。在该情况下，由于外部容器M和内部容器N分别在各自的清洗槽40、50中被清洗，因此，能够防止附着于暴露在外部空气中的外部容器M上的污染物质对内部容器N造成二次污染的情况，相应地能够提高清洗精度。
[0091]此外，如图15A和图15B所示，在第一清洗槽40中，由于外部底座支承杆46和外部壳支承杆47在不同的规定的高度位置处对各部件进行支承，因此，在槽主体42内，外部底座Mb和外部壳Ms分别使它们的外表面和内表面露出，并且被保持成彼此分离。因此，在进行清洗时，由于清洗液均匀地遍布于外部底座Mb和外部壳Ms，因此能够可靠地进行清洗。
[0092]另一方面，如图14A和图14B所示，由于在第二清洗槽50中内部底座支承杆56和内部壳支承杆57也在不同的规定的高度位置处对各部件进行支承，因此，在槽主体52内，内部底座Nb和内部壳Ns分别使它们的外表面和内表面露出，并且被保持成彼此分离。因此，在进行清洗时，由于清洗液均匀地遍布于内部底座Nb和内部壳Ns，因此能够可靠地进行清洗。
[0093]S卩，在如以往那样地将一个部件安装于盖43、53而进行清洗的情况下，清洗液不容易充分地遍布于安装于盖43、53上的部件的特别是靠盖43、53侧的表面，但根据本发明的结构，由于能够使各部件在槽主体42、52内分离地进行清洗，因此，能够使清洗液均匀地遍布而可靠地进行清洗。
[0094]在该外部容器M和内部容器N的各部件的清洗过程中，从清洗单元80的喷射嘴81向处于待机位置Q的把持柄70喷射气体，进行把持柄70的清洗。有时由于把持各部件而使附着于各部件的污染物质转移而附着并污染把持柄70，但能够通过该喷射嘴81的气体喷射来净化。因此，能够防止把持柄70在把持并搬送清洗后的各部件时将被净化了的各部件再次污染的情况。此外，由于在清洗各部件时进行把持柄70的清洗，因此能够在每次清洗各部件时进行清洗，能够可靠地防止清洗后的各部件被污染。此外，由于从喷射嘴81喷射气体而使附着于把持柄70的污染物质脱落，因此能够可靠地去除污染物质。并且，由于被去除的污染物质借助排气扇82被排出到室10外，因此能够始终使室10内保持洁净。
[0095]若外部容器M和内部容器N的各部件的清洗完毕，则根据与上述相反的工序，首先，第一清洗槽40和第二清洗槽50的盖43、53被打开，通过搬送机构60而这次按外部底座Mb、内部底座Nb、内部壳Ns、外部壳Ms的顺序从这些部件所对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内搬送到支承台20并装配起来。如上述那样，通过控制部100的控制而使把持机构61在一个水平方向(Y轴方向)和垂直方向(Z轴方向)这两个轴方向上移动而定位，并使把持柄70在另一水平方向(X轴方向)移动，从而进行把持机构61对部件的把持。在该情况下，能够利用把持柄70的一对柄单体71、71来把持所有的部件。此外，把持柄70的一对柄单体71具备卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76与外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns的各把持部的形状分别相应地对它们进行卡定，因此各部件的把持变得可靠。
[0096]在该情况下，如下地进行第一清洗槽40中的外部底座Mb和外部壳Ms的取出。首先，如图1lA所示，控制部100驱动第一旋转板44旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用把持柄70来把持外部底座Mb。在该状态下，把持柄70下降并把持外部底座Mb，然后上升。接着，如图1OA所示，控制部100驱动第一旋转板44旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用把持柄70来把持外部壳Ms。即，多个外部底座支承杆46和多个外部壳支承杆47彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此在旋转方向上相位错开45°。在该状态下，把持柄70下降并把持外部壳Ms，然后上升。在该情况下，由于外部壳Ms被支承于高度较低的外部壳支承杆47，因此与把持柄70 —同地从比高度较高的外部底座支承杆46靠下的位置起上升，但由于外部底座支承杆46和外部壳支承杆47彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此能够避免与该高度较高的外部底座支承杆46发生干扰，能够可靠地取出外部壳Ms。
[0097]另一方面，如下地进行第二清洗槽50中的内部底座Nb和内部壳Ns的取出。首先，如图13A所示，控制部100驱动第二旋转板54旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用把持柄70来把持内部底座Nb。在该状态下，把持柄70下降并把持内部底座Nb，然后上升。接着，如图12A所示，控制部100驱动第二旋转板54旋转并使其停止在规定的旋转位置，使得能够利用把持柄70来把持内部壳Ns。即，多个内部底座支承杆56和多个内部壳支承杆57彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此在旋转方向上相位错开45°。在该状态下，把持柄70下降并把持内部壳Ns，然后上升。在该情况下，由于内部壳Ns被支承于高度较低的内部壳支承杆57，因此与把持柄70 —同地从比高度较