高的内部底座支承杆56靠下的位置上升，但由于内部底座支承杆56和内部壳支承杆57彼此竖立地设置在旋转方向的不同位置，因此能够避免与该高度较高的内部底座支承杆56发生干扰，能够可靠地取出内部壳Ns。
[0098]这样，从各清洗槽40、50中顺次取出的外部底座Mb、内部底座Nb、内部壳Ns、外部壳Ms经与上述相反的工序而在支承台20上被装配起来，并且作为基板盒C被支承于支承台20 (参照图SE)。在该状态下，插销驱动部21被驱动而使基板盒C被锁定，外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns各部件变得不能脱离。并且，室10的闸板12被打开，移载机构30的进退驱动部33使机台31与支承台20 —同地从后退位置R2前进到前进位置R1，并且将支承台20上的基板盒C交付于载置台13 (参照图8D、图SC)。在该情况下，使机台31与支承台20 —同地前进到前进位置R1，但由于载置台13形成为具有开放部14的叉状，因此支承台20在抬起基板盒C的状态下通过载置台13的开放口而移动，并被定位在前进位置Rl。在该前进位置Rl，上下驱动部34使支承台20下降，并将支承台20的卡合凸部23从基板盒C的卡合凹部4卸下而将基板盒C载置于载置台13 (参照图SB)。在该情况下，由于使支承台20本身直接移动而利用支承台20来进行基板盒C的接收、交付，因此，与以往那样地利用手臂机器人来移动相比，变得无需把持整个基板盒，从载置台13向支承台20的载置不会变得复杂而变得简易，而且，相对于载置台13的定位也能够容易进行。然后，支承台20后退到初始位置R3，在该状态下，基板盒C从载置台13被搬送到别处。
[0099]下面，对无需清洗外部底座Mb的外侧面的情况进行说明。在该情况下，预先对控制部100设计无需清洗外部容器M的外部底座Mb的外侧面的程序。
[0100]与上述同样地，利用搬送机构60来搬送被支承于支承台20的外部容器M的外部底座Mb和外部壳Ms、内部容器N的内部底座Nb和内部壳Ns各部件。此时，如图1和图19所示，最后的外部底座Mb被保持在保持部90，所述保持部90设置于第一清洗槽40的盖43的背面。在该情况下，使保持部90的卡合凸部91与外部底座Mb的卡合凹部4卡合，并且利用吸附盘92来吸附外部底座Mb。因此，能够防止外部底座Mb向左右前后活动的情况，能够可靠地被保持在保持部90。
[0101]在该状态下，将盖43关闭而进行清洗。在该情况下，由于外部底座Mb的外侧面被覆盖，因此清洗液能够到达内侧面而进行清洗，但清洗液被阻止浸入到外侧面，最终不进行清洗。因此，在外部底座Mb的外侧面具有锁定部I等，所述锁定部I将定位用的孔及各部件的装配锁定，存在这样的情况:当清洗时清洗液浸入到这些部件，干燥要花费很多时间，若在未干燥的状态下放置，则存在内部会生锈等不良影响，但由于避免进行清洗，因此能够避免这些不良影响。
[0102]另外，在上述实施方式中，示出了以使基板盒C的外部底座Mb处于下方地支承于支承台20的情况，但不必限定于此，也可以为如下的结构:使基板盒C的外部壳Ms处于下方地支承于支承台20，在清洗基板盒C前，按外部底座Mb、内部底座Nb、内部壳Ns、外部壳Ms的顺序将这些部件从支承台20搬送到各自对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内，在清洗基板盒C后，按外部壳Ms、内部壳Ns、内部底座Nb、外部底座Mb的顺序将这些部件从对应的第一清洗槽40内和第二清洗槽50内搬送到支承台20而进行装配，也可以适当地变更。
[0103]此外，在上述实施方式中，将本发明应用于基板盒C具备由内部底座Nb和内部壳Ns构成的内部容器N、和由外部底座Mb和外部壳Ms构成的外部容器M的双层结构的情况，但不一定限定于此，也可以应用于如以往那样地由基板和壳构成的单层结构的情况，也可以适当地变更。
[0104]标号说明
[0105]S基板盒清洗装置
[0106]C基板盒
[0107]N内部容器
[0108]Nb内部底座
[0109]Ns内部壳
[0110]M外部容器
[0111]Mb外部底座
[0112]Ms外部壳
[0113]D 基板
[0114]I锁定部
[0115]2插入孔
[0116]3定位凹部
[0117]4卡合凹部
[0118]10室
[0119]11开口
[0120]12闸板
[0121]13载置台
[0122]14开放部
[0123]15定位销
[0124]16定位块
[0125]20支承台
[0126]21插销驱动部
[0127]23卡合凸部
[0128]24吸附盘
[0129]30移载机构
[0130]31机台
[0131]Rl前进位置
[0132]R2后退位置
[0133]R3初始位置
[0134]32导轨
[0135]33进退驱动部
[0136]34上下驱动部
[0137]40第一清洗槽
[0138]41开口
[0139]42槽主体
[0140]43盖
[0141]44第一旋转板
[0142]45第一旋转驱动部
[0143]46外部底座支承杆
[0144]47外部壳支承杆
[0145]48支承体
[0146]49引导销
[0147]50第二清洗槽
[0148]51开口
[0149]52槽主体
[0150]53盖
[0151]54第二旋转板
[0152]55第二旋转驱动部
[0153]56内部底座支承杆
[0154]57内部壳支承杆
[0155]58支承体
[0156]59引导销
[0157]60搬送机构
[0158]61把持机构
[0159]62升降机构
[0160]63行进移动机构
[0161]64底座板
[0162]65升降导轨
[0163]66 支架
[0164]67水平导轨
[0165]70把持柄
[0166]71柄单体
[0167]72驱动部
[0168]73、74、75、76 卡定部
[0169]80清洗单元
[0170]Q待机位置
[0171]81喷射嘴
[0172]82排气扇
[0173]90保持部
[0174]91卡合凸部
[0175]92吸附盘
[0176]100控制部
【主权项】
1.一种基板盒清洗装置，其在未设置基板的状态下对基板盒进行清洗，该基板盒具备底座和覆盖该底座的壳，并且在内部容纳上述基板，其中， 该基板盒清洗装置具备: 室，其形成洁净的空间； 清洗槽，其设置在该室内，在将上述基板盒的底座和壳各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件； 搬送机构，其利用把持柄把持上述基板盒的各部件而将这些部件相对于清洗槽进行搬送；以及 清洗单元，在清洗上述基板盒时使上述把持柄在室内的待机位置处待机，在清洗上述各部件时该清洗单元对上述把持柄进行清洗。
2.根据权利要求1所述的基板盒清洗装置，其中， 上述清洗单元具备:喷射嘴，其对上述把持柄喷射气体；和排气扇，其将从该喷射嘴喷射出的气体从上述室内排出。
【专利摘要】能够防止在基板盒被清洗后污染物质从把持柄转移而污染基板盒的情况。在未设置基板的状态下对容纳基板的基板盒(C)进行清洗，具备室(10)，所述室(10)形成洁净的空间，在室(10)内具备清洗槽(40、50)，所述清洗槽(40、50)在将基板盒(C)的各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件，具备搬送机构(60)，所述搬送机构(60)利用把持柄(70)把持基板盒(C)的各部件而将这些部件相对于清洗槽(40、50)进行搬送，在清洗基板盒(C)时使把持柄(70)在室(10)内的待机位置(Q)处待机，设置有清洗单元(80)，在清洗各部件时所述清洗单元(80)对把持柄(70)进行清洗。清洗单元(80)构成为具备：喷射嘴(81)，其对把持柄(70)喷射气体；和排气扇(82)，其将气体从室(10)内排出。
【IPC分类】H01L21-304
【公开号】CN104620360
【申请号】CN201380047112
【发明人】坂下俊也
【申请人】修谷鲁电子机器股份有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2013年9月13日
【公告号】US20150209843, WO2014046042A1