放射线检测元件以及放射线图像检测装置的制造方法_2

文档序号:8367594阅读:来源:国知局
馈通电荷Qft以下式表示。
[0034]Qft = Qftl+Qft2 = [ Δ Cgdt+Δ Cgst] *Vpp...(3)
[0035]而且,如上所述在制造薄膜晶体管开关4时光掩模的位置在X方向偏移的情形时,ACgdt以及ACgst的值在第2N+1段像素与第2N+2段像素中的一者向增加方向变动,且在另一者向减少方向变动。由此,馈通电荷在每一段像素列规则性地变化,故而例如相对于第2N+1段像素列而在第2N+2段像素列偏移值变高,从而产生图像伪影。
[0036]本发明提供一种可抑制图像的伪影的放射线检测元件以及放射线图像检测装置。
[0037][解决问题的技术手段]
[0038]本发明的放射线检测元件包括:多个多边形的像素,排列为蜂窝状,且包括通过照射放射线而产生电荷并存储该电荷的电荷产生存储部、以及与电荷产生存储部连接并且用以将存储于电荷产生存储部的电荷读出的开关元件;多个扫描线,沿第I方向并列配置,且输出对开关元件进行开关控制的开关信号;以及多个数据线,沿与第I方向交叉的第2方向并列配置,且输出由开关元件读出的电荷,多个开关元件的各个在上述第I方向上,夹着所对应的数据线而彼此自不同侧连接于数据线,且开关元件的源极电极以及漏极电极的配置以在第I方向成为相同的方式配置。
[0039]另外,本发明还可为如下构成,即以开关元件的沟道(channel)宽度方向与扫描线并行的方式配置有开关元件。
[0040]另外,本发明还可为如下构成,即数据线沿多边形的像素的周缘的一部分弯曲配置,且开关元件配置于扫描线上。
[0041]另外,本发明还可为如下构成,即开关元件的源极电极直线状地连接于数据线。
[0042]另外,本发明还可为如下构成,即电荷产生存储部以及开关元件在由多个扫描线划分的每一像素列交替地配置于数据线的一侧或另一侧。
[0043]另外,本发明还可为如下构成,即放射线检测元件包括多个公用线,在多个数据线之间直线状地延伸设置,且将电荷产生存储部固定为规定电位。
[0044]另外,本发明还可为如下构成,即多边形的像素为六边形的像素。
[0045]另外,本发明还可为如下构成,即多边形的像素为菱形形状的像素。
[0046]另外,本发明还可为如下构成,即多边形的像素为矩形状的像素。
[0047]本发明的放射线图像检测装置包括:本发明的放射线检测元件;扫描信号控制部,对多个扫描线输出对开关元件进行开关控制的信号;以及信号处理部,检测与经由多个数据线而传输的电荷对应的电信号,且对检测出的电信号实施预先规定的处理而生成数字图像数据。
[0048][发明的效果]
[0049]根据本发明,具有可抑制图像的伪影的效果。
【附图说明】
[0050]图1是表示放射线图像检测装置的整体构成的图。
[0051]图2是示意性地表示放射线检测元件中的像素单位的构造的俯视图。
[0052]图3是沿图2的A-A线的剖面图。
[0053]图4是示意性地表示各像素中的薄膜晶体管开关的配置位置的图。
[0054]图5是像素的构造的局部放大图。
[0055]图6是示意性地表示放射线检测元件的变形例中的像素的构造的俯视图。
[0056]图7是变形例中的像素的构造的局部放大图。
[0057]图8是表示变形例中的放射线检测元件的整体构成的图。
[0058]图9是表示变形例中的放射线检测元件的整体构成的图。
[0059]图10是表示变形例中的放射线检测元件的整体构成的图。
[0060]图11是示意性地表示放射线检测元件的变形例中的像素的构造的俯视图。
[0061]图12是示意性地表示放射线检测元件的变形例中的像素的构造的俯视图。
[0062]图13是放射线检测元件的变形例中的像素的构造的剖面图。
[0063]图14是表示现有的放射线检测元件的信号线的俯视图。
【具体实施方式】
[0064]以下,一面参照图式,一面对本发明的实施形态进行说明。图1表示本发明的实施形态的放射线图像检测装置的整体构成。另外,图2是示意性地表示本实施形态的放射线图像检测装置100的放射线检测元件10的像素单位的构造的俯视图。进一步地,图3是沿图2的A-A线的剖面图。
[0065]图1所示的放射线图像检测装置100的放射线检测元件10中,多个六边形的像素20相互邻接并且二维状地排列有多个,排列为蜂窝状的像素20构成像素区域。各像素20包含传感器(sensor)部103、电荷存储电容5、以及薄膜晶体管开关4而构成。各像素20的传感器部103 (参照图3)接收所照射的放射线(X射线)而产生电荷。电荷存储电容5存储利用传感器部103产生的电荷。薄膜晶体管开关4读出存储于电荷存储电容5的电荷。
[0066]再者,此处的像素形状的“六边形”并不限定于正六边形,也包含将角去除的大致六边形。另外,例如还包含在图1的纸面上下方向压扁的扁平六边形等、以平面状观察成为大致六边形者。
[0067]另外,所谓将各像素20配置为蜂窝状,是指如图2以及图4所示的像素列20a?像素列20d般,将第I像素列与第2像素列沿第I方向(列方向)交替地排列,并且上述第2像素列的像素20对应于上述第I像素列的邻接的像素间而配置,且以仅偏移有上述第I像素列的各像素20的排列间距(pitch)的l/n(n为自然数,图2、图4中作为一例而设为η=2)的方式配置。
[0068]在第I像素列,相同大小的六边形状的像素20沿第2方向排列有多个。在第2像素列,与第I像素列的像素20为相同大小的六边形状的像素20,沿与第I方向正交的第2方向(行方向)排列有多个。
[0069]另外,在放射线图像检测装置100的放射线检测元件10,多个数据线3以沿第I方向延伸的方式设置,并且多个扫描线101以沿第2方向延伸的方式设置。
[0070]数据线3是用以读出存储于电荷存储电容5的电荷的信号路径。另外,在电荷存储电容5的一电极连接有沿第I方向延伸设置的公用接地线30 (也称为存储电容线或者公用线)。
[0071]扫描线101是用以使各个像素的薄膜晶体管开关4接通/断开的信号路径。再者,图1所示的放射线检测元件10中,为了方便说明与图示,而例示配置有4根扫描线Gl?扫描线G4、3根数据线Dl?数据线D3、以及4根公用接地线30的构成。另外,放射线检测元件10如下所述采用使用非晶砸等放射线-电荷转换材料而将放射线直接转换为电荷的构成。
[0072]在放射线图像检测装置100的放射线检测元件10中,扫描线Gl?扫描线G4与公用接地线30以相互正交的方式而分别直线状地配置。另外,数据线Dl?数据线D3沿六边形的像素20的周缘而锯齿状地(或以蜿蜒的方式)配置。再者,如下所述,以覆盖电荷存储电容5以及薄膜晶体管开关4的方式而设置有光电转换层6。光电转换层6使用例如半导体层。
[0073]信号处理部25具有将流出至各数据线Dl?数据线D3的电荷作为电信号来检测的信号检测器(未图示),且对检测出的电信号实施预先规定的处理。另外,信号处理部25对各信号检测器以及扫描信号控制部35输出表示信号检测的时序(timing)的控制信号或表示扫描信号的输出的时序的控制信号。其结果,扫描信号控制部35接收来自信号处理部25的控制信号,而对扫描线Gl?扫描线G4输出用以使薄膜晶体管开关4接通/断开的信号。
[0074]更具体而言,在信号处理部25中,自各个数据线Dl?数据线D3传输的电荷信号由放大器(未图示)放大,并保持于取样保持电路(sample hold circuit)(未图示)。保持于各个取样保持电路的电荷信号依序输入至多路复用器(multiplexer)(未图示)之后,由模拟/数字(Analog/Digital,A/D)转换器(未图示)转换为数字图像数据。另外,如图1所示,在信号处理部25连接有图像存储器90。自上述模拟/数字转换器输出的数字图像数据被依序记忆于该图像存储器90。图像存储器90例如将拍摄的放射线图像记忆为多个帧(frame)的数字图像数据。
[0075]在使用上述放射线检测元件10的放射线图像检测装置100拍摄放射线图像的情形时,在照射放射线(X射线)的期间,对各扫描线Gl?扫描线G4输出断开(OFF)信号而使各薄膜晶体管开关4断开,从而将在下述的半导体层产生的电荷存储于各电荷存储电容5。然后,在读出图像的情形
当前第2页1 2 3 4 5 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1