放射线检测元件以及放射线图像检测装置的制造方法_5

文档序号:8367594阅读:来源:国知局
14]然而,在像素密度转换中,在转换前的图像数据包含多种高频成分的情形时,存在转换后的图像数据产生模糊(shaggy)或不均匀等伪影的情形。为了抑制该伪影,从前在自蜂窝排列向正方格子排列的像素密度转换时,必须进行将高频成分去除的滤波(filter)处理。
[0115]另一方面,如本变形例的放射线检测元件10般,在将下部电极11形成为将角去除的大致六边形的形状、或使角带有弧度的大致六边形的形状(根据情况有时为圆形)的情形时,施加于像素20与下部电极11之间的区域的电场强度减弱,对自像素20的中心离开的部分的高频成分的感度降低。因此,本变形例的放射线检测元件10通过降低高频成分的输入本身,可抑制在像素密度转换时因高频成分而产生的伪影。
[0116]另外,本变形例的放射线检测元件10通过自放射线检测时起抑制固定的高频成分,可简化其后的滤波处理。因此,本变形例的放射线检测元件10可防止因过度的滤波处理而导致画质降低、以及因滤波处理的复杂化所引起的处理速度降低。进而,本变形例的放射线检测元件10通过去除下部电极11的角,可防止下部电极11的角部分与其他线等(例如数据线3)在剖面方向(S卩,以基板I为底部而层叠有各层的层叠方向)重叠。由此,本变形例的放射线检测元件10可降低由下部电极11与其他线等重叠所引起的附加电容。
[0117]再者,本实施形态中,对放射线图像检测装置的放射线检测元件进行了说明,但放射线检测元件的应用范围并不限定于此。例如,也可将该放射线检测元件应用于放射线图像检测面板(例如为平板检测器等,但并不限定于这些),进而,也可应用为将具有该放射线检测元件的放射线图像检测面板用于摄像的放射线图像检测装置(例如乳房摄影(mammography)装置、立位型X射线摄影装置、卧位型X射线摄影装置、计算机断层扫瞄(computerized tomography,CT)摄影装置、电子胶片盒(electronic cassette)等,但并不限定于这些)。
[0118]另外,本实施形态中,将公用接地线30配置于绝缘性的基板I上。然而,本发明并不限定于此。例如,公用接地线30可配置于收集在光电转换层6产生的电荷的下部电极11之下的任一层。如此一来,公用接地线30可避免向传感器部103照射的放射线的照射效率的降低。
[0119]另外,如图13所示,下部电极11与公用接地线30也可以在剖面方向(S卩,以基板I为底部而层叠有各层的层叠方向)重叠的方式配置。即便在设为该配置的情形时,与数据线3不同,在公用接地线30也不会流过构成图像数据的信号,因此对图像的信噪比带来影响的情况少。另一方面,在设为上述配置的情形时,可扩大下部电极11,因此当在上部电极7与下部电极11之间产生电场,且收集在光电转换层6产生的电荷时,可将在光电转换层6产生的电荷有效率地输送至下部电极11。
[0120]另外,如图13所示,下部电极11与电荷存储电容5 (尤其,存储电容上部电极16与存储电容下部电极14)也可以在剖面方向重叠的方式配置。即便在设为该配置的情形时,也可扩大下部电极11,因此当在上部电极7与下部电极11之间产生电场,并收集在光电转换层6产生的电荷时,可将在光电转换层6产生的电荷有效率地输送至下部电极11。
[0121]另外,也可不配置电荷存储电容5,而使光电转换层同时实现产生电荷与存储电荷。
[0122]另外,虽未图示,但为了在Se传感器抑制残像,因此也存在自图13的薄膜晶体管基板I的下方照射背光(backlight)的情形。背光通过使像素间的电子的迀移活化而改善残像特性,另一方面,构成薄膜晶体管的a-Si也通过背光而增加驱动电流。进入薄膜晶体管沟道部的光量依存于金属图案(metal pattern)的位置、形状,因此在照射背光的情形时,本发明的课题的影响变大,从而本发明的必要性进一步增加。
[0123]另外,上述例示性的实施形态中,本发明的放射线并无特别限定,可应用X射线或α射线、γ射线等。
[0124][符号的说明]
[0125]2:栅极电极
[0126]3:数据线
[0127]4:薄膜晶体管开关(开关元件)
[0128]5:电荷存储电容(电荷产生存储部)
[0129]6:光电转换层
[0130]9:源极电极
[0131]10:放射线检测元件
[0132]13:漏极电极
[0133]20、40:像素
[0134]20a、20b、20c、20d:像素列
[0135]25:信号处理部
[0136]30:公用接地线
[0137]35:扫描信号控制部
[0138]100:放射线图像检测装置
[0139]101:扫描线
[0140]103:传感器部(电荷产生存储部)
[0141]105:栅极线
【主权项】
1.一种放射线检测元件,包括: 多个多边形的像素,排列为蜂窝状,且包括通过照射放射线而产生电荷并将电荷加以存储的电荷产生存储部、以及与所述电荷产生存储部连接并且用以将存储于所述电荷产生存储部的电荷读出的开关元件; 多个扫描线,沿第I方向并列配置,且输出对所述开关元件进行开关控制的开关信号;以及 多个数据线,沿与所述第I方向交叉的第2方向并列配置,且输出由所述开关元件读出的所述电荷, 多个所述开关元件的各个在所述第I方向上,夹着所对应的所述数据线而彼此自不同侧连接于所述数据线,且所述开关元件的源极电极以及漏极电极的配置以在所述第I方向成为相同的方式配置。
2.根据权利要求1所述的放射线检测元件,其中 以所述开关元件的沟道宽度方向与所述扫描线并行的方式配置所述开关元件。
3.根据权利要求1所述的放射线检测元件,其中 所述数据线沿所述多边形的像素的周缘的一部分而弯曲配置,且所述开关元件配置于所述扫描线上。
4.根据权利要求3所述的放射线检测元件,其中 所述开关元件的所述源极电极直线状地连接于所述数据线。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的放射线检测元件,其中 所述电荷产生存储部以及所述开关元件在由所述多个扫描线划分的每个像素列交替地配置于所述数据线的一侧或另一侧。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的放射线检测元件,其中 所述放射线检测元件包括多个公用线,所述多个公用线在所述多个数据线之间直线状地延伸设置,且将所述电荷产生存储部固定为规定电位。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的放射线检测元件,其中所述多边形的像素为六边形的像素。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的放射线检测元件,其中所述多边形的像素为菱形形状的像素。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的放射线检测元件,其中所述多边形的像素为矩形状的像素。
10.一种放射线图像检测装置,包括: 根据权利要求1至9中任一项所述的放射线检测元件; 扫描信号控制部,对所述多个扫描线输出对所述开关元件进行开关控制的信号;以及 信号处理部,检测与经由所述多个数据线而传输的所述电荷对应的电信号,且对检测出的所述电信号实施预先规定的处理而生成数字图像数据。
【专利摘要】本发明提供一种抑制图像伪影的放射线检测元件及放射线图像检测装置。放射线检测元件(10)包括:多个六边形的像素(20),排列为蜂窝状,包括通过照射放射线而产生电荷的传感器部(103)、存储所产生的电荷的电荷存储电容(5)、以及用以将存储于电荷存储电容(5)的电荷读出的TFT开关(4);多个扫描线(101),沿第1方向并列配置,且输出对TFT开关(4)进行开关控制的开关信号;以及多个数据线3,沿与第1方向交叉的第2方向并列配置,且输出由TFT开关(4)读出的电荷,TFT开关(4)在第1方向上,夹着数据线(3)而彼此自不同的侧连接于数据线(3),且TFT开关(4)的源极电极(9)以及漏极电极(13)的配置以在第1方向成为相同的方式配置。
【IPC分类】G01T1-24, H01L27-144, G01T1-20, H01L31-09, H01L27-146, G01T7-00
【公开号】CN104685629
【申请号】CN201380049999
【发明人】冈田美广
【申请人】富士胶片株式会社
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2013年9月27日
【公告号】EP2903026A1, WO2014051118A1
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