触控面板及其制备方法、触控显示装置的制造方法

文档序号:8923940阅读:310来源:国知局
触控面板及其制备方法、触控显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于液晶显示技术领域,具体涉及一种触控面板及其制备方法、触控显示
目.0
【背景技术】
[0002]内置触摸显示面板是未来显示产品发展的一个必然趋势。目前,通常包括自容内置触摸显示面板和互容内置触摸显示面板,其中,自容内置触摸显示面板凭借较高的信噪比和工艺相对简单容易量产等优点被广泛使用。
[0003]目前,通常将TFT的公共电极Vcom与触控电极复用,如图1所示,公共电极Vcom被切割为一定图案的触控电极Sensor ΙΤ0?图2为普通的自容内置触摸面板的局部纵截面图,图3为普通的自容内置触摸面板的局部横向截面图,请一并参阅图2和图3,制备该自容内置触摸面板通常需要以下步骤:1,形成栅极10和栅线图形;2,形成栅极绝缘层11 ;3,形成有源区域12 ;4,形成源漏极和数据线图形,其中,源极13,漏极14 ;5,形成像素电极15图形,像素电极15与漏极14电连接;6,形成绝缘层16,绝缘层16用于电隔离公共电极20和触控线17 ;7,形成触控线17图形,触控线17用于作为触控电极18的驱动和接收信号线,与集成芯片或处理电路电连接,触控电极18属于公共电极20的一部分;8,形成绝缘层19,绝缘层19用于电隔离公共电极和触控线17,其上设置有一个或多个过孔;9,形成触控电极18图形,并填充过孔,实现触控电极18通过过孔与触控线17电连接。
[0004]由上可知,为实现制备现有的自容内置触摸面板至少需要9次薄膜沉积、掩膜和刻蚀工艺,这使得工艺过程复杂,从而造成产能低,经济效益低。

【发明内容】

[0005]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种触控面板及其制备方法、触控显示装置,可以减少触控面板的制备工艺步骤,使得工艺过程简单,从而可以提尚广能,提尚经济效益。
[0006]为解决上述问题之一,本发明提供了一种触控面板的制备方法,至少包括以下步骤:触控线形成步骤:同层形成栅线和第一触控线,所述第一触控线沿数据线方向且未与所述栅线电连接而断续设置,同层形成与栅线和触控电极不同层的电极和第一连接线,所述第一连接线用于串接所述第一触控线;或者,同层形成数据线和第二触控线,所述第二触控线沿栅线方向且未与数据线电连接而断续设置,同层形成与数据线和触控电极不同层的电极和第二连接线,所述第二连接线用于串接所述第二触控线;或者,同层形成与数据线和栅线不同层的像素电极和第三触控线,所述第三触控线为连续设置的触控线;触控电极形成步骤:形成与所述第一触控线、第二触控线或第三触控线电连接的触控电极。
[0007]具体地,至少包括以下步骤:同层形成栅极、所述栅线和所述第一触控线,形成位于所述栅极和有源区之间的栅极绝缘层,所述栅极绝缘层上形成有第一过孔;同层形成源漏极、所述数据线、像素电极和第一连接线;形成位于所述像素电极和所述触控电极之间的第一绝缘层,所述第一绝缘层上形成有第二过孔;形成所述触控电极,所述触控电极通过所述第二过孔与所述第一触控线电连接。
[0008]具体地,至少包括以下步骤:同层形成栅极、所述栅线和所述第一触控线,形成位于所述栅极和有源区之间的栅极绝缘层,所述栅极绝缘层上形成有第一过孔;形成位于源漏极和所述像素电极之间的第二绝缘层,所述第二绝缘层上形成有第三过孔和第四过孔;所述像素电极和漏极通过所述第三过孔电连接;形成位于所述像素电极和所述触控电极之间的第一绝缘层,所述第一绝缘层上形成有第二过孔;形成所述触控电极;若同层形成所述第一连接线、所述源漏极和所述数据线,所述第一连接线通过所述第一过孔串接所述第一触控线,所述触控电极通过所述第二过孔、所述第四过孔与所述第一触控线电连接;若同层形成所述第一连接线和所述像素电极,所述第四过孔与所述第一过孔一一对应设置,所述第一连接线通过所述第一过孔和所述第四过孔串接所述第一触控线,所述触控电极通过所述第二过孔与所述第一触控线电连接。
[0009]具体地,至少包括以下步骤:同层形成所述源漏极、所述数据线和所述第二触控线;形成位于所述源漏极和所述像素电极之间的第二绝缘层,所述第二绝缘层上形成有第三过孔和第四过孔;同层形成所述像素电极和所述第二连接线,所述第二连接线经由所述第四过孔串接所述第二触控线;形成位于所述像素电极和所述触控电极之间的第一绝缘层,所述第一绝缘层上形成有第二过孔;形成所述触控电极,所述触控电极经由所述第二过孔与所述第二触控线电连接。
[0010]具体地,至少包括以下步骤:同层形成源漏极和所述数据线;形成位于所述源漏极和所述像素电极之间的第二绝缘层,所述第二绝缘层上形成有第三过孔,所述像素电极经由所述第三过孔与漏极电连接;同层形成所述像素电极和所述第三触控线;形成位于所述像素电极和所述触控电极之间的第一绝缘层,所述第一绝缘层上形成有第二过孔;形成所述触控电极,所述触控电极经由所述第二过孔与所述第三触控线电连接。
[0011]具体地,所述第一触控线上形成有过孔连接部,所述过孔连接部位于第一触控线的靠近所述栅线的断连位置处,且沿所述栅线方向凸出;所述第一过孔对应所述过孔连接部设置;所述第二过孔对应所述第一连接线上任一位置设置。
[0012]具体地,所述第一触控线上形成有过孔连接部,所述过孔连接部位于第一触控线的靠近所述栅线的断连位置处,且沿所述栅线方向凸出;若同层形成所述第一连接线、所述源漏极和数据线,所述第一过孔对应所述过孔连接部设置,所述第二过孔和所述第四过孔一一对应,且对应第一连接线上任意位置设置;若同层形成所述第一连接线和所述像素电极,所述第一过孔和所述第四过孔一一对应且对应所述过孔连接部设置,所述第二过孔对应所述第一连接线上任意位置设置。
[0013]优选地,所述第一触控线和所述栅线同时形成,所述第一连接线和与所述栅线和所述触控电极不同层的电极同时形成;所述第二触控线和所述数据线同时形成,所述第二连接线和与所述数据线和所述触控电极不同层的电极同时形成;所述第三触控线和所述像素电极同时形成。
[0014]作为另外一个技术方案,本发明还提供一种触控面板,包括栅极、栅线、源漏极、数据线、像素电极、触控电极和触控线,所述触控线包括沿所述数据线方向且未与所述栅线电连接而断续设置的第一触控线和用于串接所述第一触控线的第一连接线,所述第一触控线和所述栅线同层设置,所述第一连接线和与所述栅线和所述触控电极不同层的电极同层设置;或者,所述触控线包括沿所述栅线方向且未与所述数据线电连接而断续设置的第二触控线和用于串接所述第二触控线的第二连接线,所述第二触控线与所述数据线同层设置,所述第二连接线和与所述数据线和所述触控电极不同层的电极同层设置;或者,所述触控线为连续设置的第三触控线,所述第三触控线和与所述数据线和所述栅线不同层的所述像素电极同层设置。
[0015]具体地,还包括栅极绝缘层和第一绝缘层,其中,所述栅极绝缘层,设置在所述栅极与所述源漏极之间,其上设置有第一过孔;所述第一连接线与所述源漏极、所述数据线和所述像素电极同层设置,所述第一连接线通过所述第一过孔串接所述第一触控线;所述第一绝缘层,设置在所述像素电极和所述触控电极之间,其上设置有第二过孔;所述触控电极,通过所述第二过孔与所述第一触控线电连接。
[0016]具体地,还包括栅极绝缘层、第一绝缘层和第二绝缘层,其中,所述栅极绝缘层,设置在所述栅极与所述源漏极之间,其上设置有第一过孔;所述第二绝缘层,设置在所述源漏极和所述像素电极之间,其上设置有第三过孔和第四过孔,所述像素电极通过所述第三过孔与漏极电连接;所述第一绝缘层,设置在所述像素电极和所述触控电极之间,其上设置有第二过孔;若所述第一连接线与所述源漏极和所述数据线同层设置,所述第一连接线通过所述第一过孔串接所述第一触控线,所述触控电极通过所述第二过孔、所述第四过孔与所述第一触控线电连接;若所述第一连接线与所述像素电极同层设置,所述第四过孔与所述第一过孔一一对应设置,所述第一连接线经过所述第一过孔和第四过孔串接所述第一触控线,所述触控电极通过所述第二过孔与所述第一触控线电连接。
[0017]具体地,还包括第一绝缘层和第二绝缘层;所述第二绝缘层,设置在所述源漏极和所述像素电极之间,其上设置有第三过孔和第四过孔,所述像素电极通过所述第三过孔与所述漏极电连接;所述第二连接线与所述像素电极同层设置,所述第二连接线通过所述第四过孔串接所述第二触控线;所述第一绝缘层,设置在所述像素电极和所述触控电极之间,其上设置第二过孔,所述触控电极通过所述第二过孔与所述第二触控线电连接。
[0018]具体地,还包括第一绝缘层和第二绝缘层,其中,所述第二绝缘层,设置在所述源漏极和所述像素电极之间,其上设置有第三过孔,所述像素电极通过所述第三过孔与漏极电连接;所述第一绝缘层,设置在所述像素电极和所述触控电极之间,其上设置有第二过孔,所述触控电极通过所述第二过孔与所述第三触控线电连接。
[0019]优选地,所述第一触控线上形成有过孔连接部,所述过孔连接部位于第一触控线的靠近所述栅线的断连位置处,且沿所述栅线方向凸出;所述第一过孔对应所述过孔连接部设置;所述第二过孔对应所述第一连接线上任一位置设置。
[0020]优选地,所述第一触控线上形成有过孔连接部,所述过孔连接部位于第一触控线的靠近所述栅线的断连位置处,且沿所述栅线方向凸出;若第一连接线与所述源漏极和数据线同层设置,所述第一过孔对应所述过孔连接部设置,所述第二过孔和所述第四过孔一一对应,且对应第一连接线上任意位置设置;若第一连接线与所述像素电极同层设置,所述第一过孔和所述第四过孔一一对应且对应所述过孔连接部设置,所述第二过孔对应所述第一连接线上任意位置设置。
[0021]优选地,所述第一连接线和与所述栅线和所述触控电极不同层的电极的材料相同,所述第一触控线
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