1、源极22、漏极23和有源层24 ;
[0125]第一绝缘层3，设置在基底上，有源层设置在第一绝缘层3中；
[0126]第二绝缘层4，设置在栅极21和有源层24之间；
[0127]第三绝缘层5，设置在薄膜晶体管之上；
[0128]像素电极6，设置在第三绝缘层5之上；
[0129]第四绝缘层7，设置在像素电极6之上，
[0130]其中，基底1、第一绝缘层3、第二绝缘层4、第三绝缘层5和第四绝缘层7中的至少一层的材料包括有机材料，至少一层的材料包括无机材料。
[0131]优选地，在基底I上表面设置有与源极22和漏极23图形对应的第一凹槽11，在第一凹槽11中设置有源极22和漏极23。
[0132]优选地，在第一绝缘层3中设置有与有源层24的图形对应的通孔32，在通孔32中设置有有源层，
[0133]其中，第一绝缘层3的材料包括聚二甲基硅烷，在第一绝缘层3的上表面形成有第一二氧化娃层31。
[0134]优选地，在第二绝缘层4上表面设置有与栅极21图形对应的第二凹槽41，在第二凹槽41中设置有栅极21。
[0135]优选地，第三绝缘层5的材料包括聚二甲基硅烷，在第三绝缘层上表面形成有第二二氧化硅层51。
[0136]优选地，第四绝缘层7的材料包括聚二甲基硅烷、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯和聚乙烯吡咯烷酮中的至少一种。
[0137]本发明还提出了一种显示装置，包括上述显示基板。
[0138]需要说明的是，本实施例中的显示装置可以为:电子纸、手机、平板电脑、电视机、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
[0139]以上结合附图详细说明了本发明的技术方案，考虑到现有技术中，只采用有机材料制作薄膜晶体管的绝缘层会使得薄膜晶体管的电学性能下降，而只采用无机材料制作薄膜晶体管的绝缘层会提高薄膜晶体管制作工艺的复杂度。本发明通过有机材料和无机材料分别形成薄膜晶体管中的各绝缘层和基底，可以使得薄膜晶体管既具备有机材料的优点，一方面简化了制作工艺，另一方面提高了薄膜晶体管的电学性能，以及薄膜晶体管所在显不基板的物理性能。
[0140]需要指出的是，在附图中，为了图示的清晰可能夸大了层和区域的尺寸。而且可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“上”时，它可以直接在其他元件上，或者可以存在中间的层。另外，可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“下”时，它可以直接在其他元件下，或者可以存在一个以上的中间的层或元件。另外，还可以理解，当层或元件被称为在两层或两个元件“之间”时，它可以为两层或两个元件之间惟一的层，或还可以存在一个以上的中间层或元件。通篇相似的参考标记指示相似的元件。
[0141]在本发明中，术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。
[0142]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种显示基板制作方法，其特征在于，包括: 形成基底； 在所述基底上形成薄膜晶体管， 其中，所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极和有源层，在所述栅极和有源层之间形成有第二绝缘层，在所述基底上形成有第一绝缘层，所述有源层形成在第一绝缘层中； 在所述薄膜晶体管之上形成第三绝缘层； 在所述第三绝缘层之上形成像素电极； 在所述像素电极之上形成第四绝缘层， 其中，所述基底、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层中的至少一层的材料为有机材料，至少一层的材料为无机材料。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成基底包括: 在衬底基板上形成与所述源极和漏极的图形对应的第一凸起； 在所述衬底基板上形成羟基功能化的第一聚二甲基硅烷层，以在所述第一聚二甲基硅烷层与所述第一凸起对应的面形成与所述源极和漏极的图形对应的第一凹槽； 将所述第一聚二甲基硅烷层从所述衬底基板上脱离，以作为所述基底。3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，形成所述源极和漏极包括: 在玻璃基板上涂覆十八烷基三氯硅烷； 将所述玻璃基板涂覆十八烷基三氯硅烷的面与所述基底形成有第一凹槽的面相接触； 移除所述玻璃基板，在所述基底上涂覆包含导电材料的亲水性溶液，以在所述第一凹槽中形成所述源极和漏极。4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成第一绝缘层包括: 在所述基底上形成第二聚二甲基硅烷层，以作为所述第一绝缘层； 对所述第一绝缘层的上表面进行光照或氧化处理，以在所述第一绝缘层的上表面形成第一二氧化娃层； 对所述第一绝缘层进行蚀刻，以形成与所述有源层的图形对应的通孔； 在所述第一绝缘层进上涂覆包含半导体材料的亲水性溶液，以在所述通孔中形成所述有源层。5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成第二绝缘层包括: 在所述第一绝缘层上形成第三聚二甲基硅烷层，以作为所述第二绝缘层； 对所述第二绝缘层进行蚀刻，以形成与所述栅极图形对应的第二凹槽； 在玻璃基板上涂覆十八烷基三氯硅烷； 将所述玻璃基板涂覆十八烷基三氯硅烷的面与所述第二绝缘层形成有第二凹槽的面相接触； 移除所述玻璃基板，在所述第二绝缘层上涂覆包含导电材料的亲水性溶液，以在所述第二凹槽中形成所述栅极。6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成第三绝缘层包括: 在所述第二绝缘层上形成第四聚二甲基硅烷层，以作为所述第三绝缘层； 对所述第三绝缘层的上表面进行光照或氧化处理，以在所述第三绝缘层的上表面形成第二二氧化硅层。7.根据权利要求1至6中任一项所述的制作方法，其特征在于，形成第四绝缘层包括: 采用聚二甲基硅烷、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯和聚乙烯吡咯烷酮中的至少一种材料在所述像素电极上形成所述第四绝缘层。8.一种根据权利要求1至7中任一项所述制作方法制作的显示基板，其特征在于，包括: 基底； 薄膜晶体管，设置在所述基底之上， 其中，所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极和有源层； 第一绝缘层，设置在所述基底上，所述有源层设置在所述第一绝缘层中； 第二绝缘层，设置在所述栅极和有源层之间； 第三绝缘层，设置在所述薄膜晶体管之上； 像素电极，设置在所述第三绝缘层之上； 第四绝缘层，设置在所述像素电极之上， 其中，所述基底、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层中的至少一层的材料包括有机材料，至少一层的材料包括无机材料。9.根据权利要求8所述的显示基板，其特征在于，在所述基底上表面设置有与所述源极和漏极图形对应的第一凹槽，在所述第一凹槽中设置有所述源极和漏极。10.根据权利要求8所述的显示基板，其特征在于，在所述第一绝缘层中设置有与所述有源层的图形对应的通孔，在所述通孔中设置有所述有源层， 其中，所述第一绝缘层的材料包括聚二甲基硅烷，在所述第一绝缘层的上表面形成有第一二氧化娃层。11.根据权利要求8所述的显示基板，其特征在于，在所述第二绝缘层上表面设置有与所述栅极图形对应的第二凹槽，在所述第二凹槽中设置有所述栅极。12.根据权利要求8所述的显示基板，其特征在于，所述第三绝缘层的材料包括聚二甲基硅烷，在所述第三绝缘层上表面形成有第二二氧化硅层。13.根据权利要求8至12中任一项所述的显示基板，其特征在于，所述第四绝缘层的材料包括聚二甲基硅烷、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯和聚乙烯吡咯烷酮中的至少一种。14.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求8至13中任一项所述的显示基板。
【专利摘要】本发明涉及一种显示基板及其制作方法和显示装置，上述制作方法包括：形成基底；在基底上形成薄膜晶体管，在栅极和有源层之间形成有第二绝缘层，在基底上形成有第一绝缘层，有源层形成在第一绝缘层中；在薄膜晶体管之上形成第三绝缘层；在第三绝缘层之上形成像素电极；在像素电极之上形成第四绝缘层，其中，基底、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层中的至少一层的材料为有机材料，至少一层的材料为无机材料。通过有机材料和无机材料分别形成薄膜晶体管中的各绝缘层和基底，可以使得薄膜晶体管既具备有机材料的优点，既简化了制作工艺，又提高了薄膜晶体管的电学性能，以及薄膜晶体管所在显示基板的物理性能。
【IPC分类】H01L27/12, H01L21/77
【公开号】CN105047677
【申请号】CN201510571922
【发明人】程磊磊, 彭锐, 王东方
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年9月9日