个球401B。锁栓可沿箭头410的方向在通路402P内部移动，而球104B则可沿箭头411的方向在通路402B (与通路402P相交)内部移动。锁栓401P包括球接触区域401PB和凹陷区域401PR，并且可按任何适当的方式(诸如通过弹性部件)沿箭头410B的方向偏压。在偏压位置或锁定位置上时，例如图4B中显示的，锁栓401P利用球接触区域401PB接触球401B，以沿箭头411U的方向推动球，使得至少一个球定位在侧部凹陷210LR中，侧部凹陷210LR设置在壳体210H中，以将门210D锁定到壳体210H。在缩回位置或未锁定位置上时，例如图4A中显示的那样，允许球移动到锁栓401P的凹陷区域401PR中，并且移出凹陷210LR，以使门210D从壳体210H解锁。在一方面，传感器可设置在门闩上，以查明载体是否恰当地置于接口模块上，门是否恰当地安装在前面的站处，或者在重新加载吊舱的期间，是否恰当地更换了门。例如，球锁栓的升高程度可用来获得此信息。
[0034] 密封件351、352可为门210D和壳体210H之间的真空密封件，密封件351、352可具有冗余布置。还可提供气体贮存器密封件353。在一方面，密封件352可为在密封件的一侧具有内部气氛350的内部密封件。气体贮存器密封件353可为外部密封件，其在密封件353的一侧具有外部气氛(例如在衬底吊舱210外部的气氛)，并且在密封件353的相反侧具有流体阻隔气氛。密封件351可为在密封件351的一侧具有流体阻隔密封件的气氛的中间密封件。形成于密封件351和352之间的区域可形成空隙，空隙具有可与内部350的气氛或流体阻隔密封件的气氛中的一个或多个相同或不同的任何适当的气氛。中间密封件351可隔开流体阻隔密封件与内部密封件352，而密封件351、352中的一个或多个可隔开流体阻隔密封件与内部350。要注意的是，虽然密封件351-353被显示为凹陷到门210D中，但在其它方面，密封件可凹陷或者以别的方式固定到门210D和壳体210H中的一个或多个上。还要注意的是，密封件351-353可具有圆形形状(例如圆形密封几何构造)，但在其它方面，密封件可具有任何适当的密封几何构造。密封件351、352的冗余可提供保护，免受受损密封件和/或密封件区域内的颗粒的影响，密封区域可防止门210D的匹配表面和壳体210H之间有正面接触。密封件351、352可置于两个不同平面P1、P2上，并且密封件表面可凹陷，例如为了保护密封件表面不受损。虽然平面P1、P2被显示为基本包围衬底吊舱210的周边的不同的水平平面，但在其它方面，密封件中的一个或多个可置于竖向平面上。要注意的是，密封件351、352置于单独的平面上可保护密封件351、352中的一个或多个不受其它物体或晶片机器人的影响，其它物体或晶片机器人可撕破或以别的方式损害内部密封件352。气体贮存器密封件353可相对于吊舱210、密封件351、352中的一个或多个的中心线CL定位在外侧。在密封件351、352两者失效的情况下，气体贮存器密封件353可在内部空间350内提供清洁环境，因为气体从气体贮存器390释放到内部空间350中。在一些方面，密封件353可比密封件351和352更顺从，并且以适当的方式定位，诸如为了在门匹配到壳体上时，对壳体上的匹配密封件表面提供初始接触。在这样的方面，密封件353可提供适当的顺从性，以启用真空密封件，以及容许吊舱门上的真空力对密封件351、352提供压缩力，以及容许对密封件351和352使用不那么顺从的密封件材料，这对于真空应用可为合乎需要的。如可认识到的那样，任何适当的传感器都可在吊舱210上位于任何适当的位置上，以监测内部空间350和/或气体贮存器390内的压力，以及在检测到泄漏或损耗或压力的情况下，对操作者提供警告或其它警报(例如通过例如控制器1091-图1A)。如果检测到泄漏，则控制器1091或操作者可将吊舱210引导到预定位置进行诊断，以及/或者将吊舱210引导到站，以补充腔室390中的气体/流体。
[0035]要注意，各个密封件351-353的匹配表面可凹陷。在其中密封件351-353位于门210D上的一方面，壳体210H可包括凹陷区域351R-353R(图3D)，密封件351-353与壳体210H在其中交接。在其中一个或多个密封件位于壳体210H中的其它方面，门210H可包括凹陷区域。在另外的其它方面，一个或多个密封件351-353和凹陷区域351R-353R可适当地位于门210D和壳体210H中的任何一个上。
[0036]现在参照图4A、4B、7、9A_9F和10，将描述吊舱210对接口模块201的示例性对接或加载。吊舱210移动到接口模块201且以任何适当的方式与运动学销510-512配合(图10，方框5000 ；图9A-9B)。吊舱存在性传感器580 (图5B)可例如利用控制器1091 (图1A)记录存在的吊舱。如上面所提到，运动学销510-512可以可动地安装到升降机接口 209DE上，使得在升降机730下降时，运动学销510-512相对于例如吊舱接口 209DP缩回(图10，方框5001 ;图90，使得壳体210H接触端口密封件590(图5A)。吊舱壳体210H可以任何适当的方式夹到端口板209上，诸如例如利用夹具吊舱夹具500(图10，方框5002)。至少吊舱门210D和吊舱接口 209DP (例如接口模块门)之间的空间(例如端口门间隙)可被排空或栗吸(图10，方框5003)。在一方面，清洁干燥空气的低压力流可通过端口门间隙分散且冲洗穿过密封件590A和590B ;诸如在衬底吊舱不完全对接在接口模块201上时。清洁干燥空气的这个低压力流可防止颗粒从周围生产环境沉积在密封件上且产生泄漏。另外，正压力基本阻止颗粒沉积到端口门间隙中且然后沉积到接口模块201和/或衬底吊舱210的内部清洁真空空间中。清洁干燥空气流速度能低到避免进入周围生产环境的紊流。在衬底吊舱存在于运动学销上时，形成在端口门和衬底吊舱底部表面之间的水平间隙能将清洁干燥空气流水平地引导穿过密封件，并且在衬底吊舱下降时，间隙减小，这可增加清洁干燥空气速度，以使任何颗粒移位。在其它方面，壳体201H(图5A)的内部腔室可被栗吸。吊舱门210D可移除(图10，方框5004 ;图9D-9F)，其中，升降机730 (图7)可进一步下降，使得升降机接口 209DE的移动导致指530L夹住吊舱门210D的柱310。升降机接口 209DE的移动还可使门闩销(一个或多个)520接合锁401的锁栓401P，使得锁栓401P移动到缩回位置(图4A)，以释放锁401，如上面所描述。衬底固持器(如上面所描述)还可脱开，以使衬底从壳体210H释放。在这个工艺期间，气体贮存器390可以任何适当的方式密封，以将气体/流体固持在其中，或者贮存器390中的气体可排出，例如，进入接口模块201的内部或衬底吊舱的内部，并且贮存器390之后重新装填气体/流体，例如，在衬底吊舱门的后来的封闭期间。注意到，吊舱接口 209DP和升降机接口 209DE之间的相对移动可由预先确定的量限制，使得一旦锁401解开且柱310由门闩机构530钳住，吊舱接口 209DP和升降机接口209DE就一致地移动，以使吊舱门210D从壳体210H移除。吊舱门210D可随着升降机730移动任何适当的量，使得在支架210R上的期望衬底990沿着期望的衬底转移平面STP布置，使得衬底可例如，通过衬底运送器202T从支架210R移除，以运送到连接到接口模块201上的任何适当的处理模块。
[0037]要注意，可在衬底吊舱210的内部空间350和接口模块201的内部之间存在压力差。衬底吊舱210和接口模块201之间的接口可构造成以任何适当的方式适应这个压力差，诸如通过动态压力平衡。例如，升降机730可例如由任何适当的控制器控制，诸如控制器1091，使得升降机730形成电子减压阀。例如，在接口模块201的内部被栗吸成真空时，在某些点上的压力将穿越衬底吊舱210内部的真空压力，而且端口门209D和吊舱门210D将在例如来自正压差的力下被推开。一旦吊舱门210D打开，衬底吊舱210的空间变得与接口模块201的空间处于流体连通，从而允许衬底吊舱210内部的压力和接口模块201内部的压力相等，基本消除两个空间(例如衬底吊舱的内部和接口模块的内部)之间的任何压差。可在事先对衬底吊舱210内的压力和/或接口模块201内的压力没有任何了解的情况下执行这个压力平衡，使得在衬底吊舱210中可不需要压力传感器。
[0038]可按与上面描述的将吊舱210加载在接口模块201上的基本相反的方式执行从接口模块201卸下吊舱210。在一方面，可存在衬底突起传感器，以查明一个或多个衬底是否在例如支架210R插入到壳体210H中之前从支架突起。
[0039]要注意的是，在升降机下降时，可用任何适当的衬底映射装置(例如光学传感器/摄像机、电容传感器等)来映射(例如可确定各个衬底的位置和/或其定向)衬底。在一方面，支架210R中的整个成堆叠的衬底可提供给衬底运送器202T，以成批地转移，而在其它方面，一个或多个衬底可同时提供给衬底运送器202T。升降机703还可包括旋转驱动器，以使保持在其上的端口板209的至少一部分和衬底旋转例如任何适当的量。在一方面，可在吊舱210对接到接口模块201时的任何适当的时候，诸如例如，在衬底运送到支架210R，以及从支架210R运送出时，对气体贮存器390进行补充。还可在门210D打开之前，通过接口模块201以任何适当的方式读取吊舱210的内部压力。
[0040]在一些方面，接口模块可具有位于端口门下方的一个或多个端口门衬底支持件或搁架。接口模块可构造有一个或多个侧部端口 201S，例如包括槽阀(诸如图5C中显示的那些)的侧部端口。在一些方面，在端口门处于使端口门支持件中的一个或多个与侧部端口中的一个或多个对准的位置时，衬底可经由衬底运送器通过侧部端口放置到端口门支持件上。在一些方面，升降机可换位，以在适合衬底运送器将衬底置于支持件上或者从支持件移除衬底的水平将一个或多个特定的端口门支持件209SS提供给一个或多个侧部端口。在一方面，衬底吊舱210不在接口模块201上，并且端口门处于完全上部位置。在这方面，端口门支持件209SS可用来通过接口模块将衬底从侧部端口传送到侧部端口。在其它方面，在存在衬底吊舱210时，接口模块201还可用作通路，其中，端口门支持件209SS和衬底保持支持件210RS中的任一个或两者中的一个或多个用来保持一个或多个衬底。在其中衬底吊舱210不存在的一些方面，第一侧部端口连接到一类气氛(例如处于第一压力(诸如大气压力)或第一真空水平的气体)，并且第二侧部端口连接到另一类气氛(例如处于第二压力(诸如真空)或第二真空水平的气体)，并且接口模块201的下部腔室用作加载锁，其中，衬底通过侧部端口 201S置于端口门支持件209SS上，调节下部腔室中的气氛，并且通过侧部端口 201S移除衬底。在其它方面，在衬底吊舱210存在时，接口模块201也可用作加载锁，其中，端口门支持件209SS和衬底保持支持件210RS中的任一个或两者中的一个或多个用来保持通过侧部端口 201S传送到接口模块中的一个或多个衬底，同时调节下部腔室中的气氛。这些方面可容许衬底通过典型地被传统加载锁占用的空间来离开或进入装备，从而减小总的装备覆盖面积，同时还允许衬底运送器从衬底吊舱210直接到真空过程。如可认识到的那样，在衬底吊舱210在接口模块上打开时，衬底吊舱的内部可与通路气氛连通，而且可形成通路气氛的一部分。
[0041]现在参照图11-30，将描述根据公开的实施例的各方面的示例性处理工具。
[0042]图11示出处理工具11000，其具有中心转移腔室11001和可连通地联接到中心转移腔室11001的一个或多个侧部上的一个或多个处理模块11002(基本类似于上面描述的那些)。中心转移腔室11001可具有任何适当的多边形形状。在这方面，一个或多个接口模块201可与中心转移腔室成整体，或者以别的方式连接到中心转移腔室上，从而允许一个或多个衬底吊舱210联接到处理工具11000上，使得在衬底吊舱(一个或多个)210以及例如处理工具的任何适当的部分之间形成清洁隧道。一个或多个机器人运送器11003A-11003D可设置在中心转移腔室11001内，诸如在中心转移腔室的各个角部处，以在处理模块11002和接口模块201彼此之间运送衬底。如可认识到的那样，虽然显示了两个处理模块11002在中心转移腔室11001的各个侧部上，但在其它方面，任何适当数量的处理模块可按并排和/或堆叠构造联接到中心转移腔室的各个侧部上。在一方面，架空运送器(未显示)或任何其它适当的运送器可将衬底吊舱(一个或多个)210转移到处理工具11000的接口模块201。如可认识到的那样，中心转移腔室还可包括任何其它适当的处理装备，诸如衬底对准器和衬底缓冲器。
[0043]图12示出处理工具12000，其基本类似于处理工具11000。在这方面，显示了中心转移腔室11001，衬底对准器12001和衬底缓冲器12002设置在中心转移腔室11001内。这里，显示了运送器12004(诸如架空运送器或其它适当的运送器)以任何适当的方式与中心转移腔室11001的一个侧部交接。在一方面，一个或多个接口模块201可在运送器12004和中心转移腔室11001之间提供接口，而在其它方面，可提供任何适当的接口(诸如装备前端模块(包括一个或多个加载端口))作为运送器12004和中心转移腔室11001之间的接
□ ο
[0044]现在参照图13，示出了根据公开的实施例的各方面的另一个示例性处理工具13000。这里，中心转移腔室13001包括一个或多个不同转移腔室13001A-13001D，它们以任何适当的方式彼此连接，使得在转移腔室13001A-13001D之间形成清洁隧道。这里，不同转移腔室可各自包括一个或多个衬底运送机器人13003，并且通过接口模块201和或任何适当的加载锁和/或缓冲模块13005彼此连接。如可认识到的那样，虽然显示了接口模块201沿着中心转移腔室13001的中心线顺列地布置，但在其它方面，接口模块201和/或加载锁和/或缓冲模块13005可具有任何适当的布置。
[0045]图14示出基本类似于处理工具13000的处理工具14000，但在这方面，接口模块201以群集布置居中地布置在中心转移腔室14001中，使得各个不同的转移腔室13001A-13001D通过接口模块201和加载锁或缓冲模块13005两者连接到另一个不同的转移腔室13001A-13001D上。如可认识到的那样，衬底吊舱210可按诸如本文描述的那些的任何适当的方式运送到处理工具13000、14000。
[0046]图15示出处理工具15000，其具有中心接口模块，中心接口模块具有用于保持两个衬底吊舱210的两个端口板209。如上面提到的那样，中心接口模块可为多端口接口模块，其具有用于端口板209的公共内部腔室或用于各个端口板209的内部腔室。在这方面，转移腔室15001A、15001B(基本类似于本文描述的那些)连接到接口模块201的相反的侧部上。各个转移腔室15001A、15001B可具有一个或多个处理模块11002，其以任何适当的方式连接到转移腔室15001A、15001B的一个或多个侧部上，诸如本文所描述。处理工具可具有端部15000EU15000E2，清洁隧道在端部15000E1、15000E2之间延伸。接口模块可位于清洁隧道的端部之间，并且可限定通往清洁隧道的中入口或中间入口，以插入衬底或从清洁隧道移除衬底。
[0047]图16示出处理工具16000，其具有集群架构。处理工具16000包括多小面中心转移腔室16001，其具有一个或多个处理模块，处理模块连接到转移腔室16001的一个或多个小面/侧部上。在这方面，两个接口模块201连接到转移腔室16001的相应的小面上，但是在其它方面，任何适当的数量的接口模块可连接到转移腔室16001上。一个或多个适当的转移机器人16003可设置在转移腔室16001内，以在联接到接口模块201上的衬底吊舱210和处理模块11002之间转移衬底。
[0048]图17和18示出处理工具17000、18000，其基本类似于处理工具15000。但是在这些方面，接口模块包括三个端口板209，以将三个衬底吊舱210联接到处理工具17000、18000。如可认识到的那样，转移腔室17001A、17001B可为线性伸长转移腔室，其具有的长度对应于接口模块201的长度。各个转移腔室17001A、17001B可包括一个或多个运送机器人17002，其适当地构造(例如以任何适当的方式)，以延伸相应的转移腔室17001A、17001B的长度，以接近接口模块201的各个可密封开口 201S和连接到转移腔室17001A、17001B上的各个处理模块11002。注意到，至少一个处理模块11002可以并排和/或堆叠布置连接到转移腔室17001A、17001B的与接口模块相反的伸长侧部上。
[0049]图19示出处理工具19000，其基本类似于上面关于图17和18所描述的那样。但是，提供了仅一个转移腔室17001A。提供运送器12004来将衬底吊舱(一个或多个)210转移到接口模块201。如可认识到，运送器12004还可在图17和18中的腔室17001A、17001B之间传送，以将衬底吊舱210转移到接口模块201。
[0050]图20示出集群类型处理工具20000，其具有中心转移腔室20001 (其可基本类似于转移腔室16001)、连接到转移腔室20001上的一个或多个处理模块和连接到转移腔室20001上的装备前端模块20005。装备前端模块20005可基本类似于上面描述的那些(参见例如图1A-1D)并且以任何适当的方式连接到转移腔室20001，诸如通过一个或多个加载锁20003。在一些实施例中(未示出)，一个或两个加载锁20003可由接口模块替代，并且接口模块201可从转移腔室20001移除。如可认识到的那样，转移腔室20001可包括接口模块201，并且/或者一个或多个处理模块11002可由接口模块(一个或多个)201替代。如可认识到的那样，可提供一个或多个适当的运送器20010，以将衬底盒1050转移到装备前端模块20005和/或将衬底吊舱210转移到接口模块201。
[0051]现在参照图21，根据公开的实施例的一方面的另一个处理工具21000。这里，处理工具21000包括伸长接口模块201和转移腔室17001A，它们基本类似于上面关于例如