配合且形成所述导向通道的滑块41。本实施例中，滑块41的形状为I形，滑槽的形状为C形。本领域技术人员也可以将滑块41的形状设置为其他形状，如T形。
[0036]作为对滑块41和滑槽安装位置的变形，可以将滑槽固定安装在第一转轴I外壁上，将滑块41固定安装在固定座内壁上。
[0037]作为对滑槽设置方式的变形，可以将滑槽直接开设在所述安装块42上。
[0038]本实施例中，沿第一转轴I周向在其外壁上设置有2个滑块41，在固定座或安装块42上设置2个与滑块41滑动配合的滑槽。沿第一转轴I周向设置多个固定结构，能够更好的对第二转轴2的上下运动进行导向。
[0039]所述滑块41通过第一紧固结构可拆卸的安装在所述第一转轴I外侧壁上。第一紧固结构包括设在所述导向滑轨41上的第一通孔411，与所述第一通孔411相对设在所述第一转轴I外侧壁上的第一螺纹孔412，以及穿过所述第一通孔411和所述第一螺纹孔412后将所述导向滑轨41固定安装在所述第一转轴I上的第一螺栓。
[0040]由于滑块41与滑槽之间经常相对滑动，长时间使用后导向精度难免因磨损而降低，此时通过第一紧固结构直接更换滑块41后整个传动机构可再次使用，能够避免更换整套传动机构设备，从而可以节约成本。将导向结构安装在第一转轴I外侧壁上，可降低安装有导向结构的第一转轴I的高度，使设备更紧凑，而且将导向结构安装在第一转轴I外侧壁上，第一转轴I通过导向结构施力带动摆臂3转动的力臂较短，驱动更有效率。
[0041]如图5所示，固定座包括与所述摆臂3的一端固定安装的安装板31，所述安装板31上可拆卸的安装有位于所述第一转轴I两侧的两个立板32，所述安装块42分别通过第二紧固结构可拆卸的安装在两个所述立板32的朝向所述第一转轴I 一侧的侧壁上。
[0042]所述固定结构包括开设在所述第一转轴I外侧壁上并与所述安装通孔11连通的轴向缺口 12 ;设在所述安装板31朝向所述轴向缺口 12—侧的侧壁上并能从所述轴向缺口12伸入所述安装通孔11内部的安装凸台33，以及将所述安装凸台33固定在所述第一转轴I外侧壁上的固定组件。
[0043]所述固定组件包括设置在所述第二转轴2外壁上且正对所述轴向缺口 12的第一平面331，设置在所述安装凸台33上且与所述第一平面331正对的第二平面332，设置在所述第一平面331上的第三螺纹孔51，设置在第二平面332上的第三通孔52，以及第三螺钉，所述第三螺钉穿过所述第三通孔52和所述第三螺纹孔51后将所述第一平面331和所述第二平面332贴合固定。
[0044]还包括用于将所述第一转轴I可转动的固定安装在固晶机上的安装结构，所述安装结构包括套设在所述第一转轴I外侧壁上的至少一个轴承6，将所述轴承6固定安装在所述第一转轴I外侧壁上的第一安装结构，以及用于将所述轴承6固定安装在固晶机上的第二安装结构。
[0045]所述第一安装结构包括设在所述第一转轴I外侧壁上且与所述轴承6的内圈相互阻挡的第一环形凸缘13，设在所述第一转轴I外侧壁上的安装外螺纹14，以及安装在所述安装外螺纹14上的安装螺母5 ;
[0046]所述安装螺母5与所述安装外螺纹14配合连接后能够向所述第一环形凸缘13 —侧挤压所述轴承6内圈，从而将所述轴承6内圈挤压固定在所述第一环形凸缘13和所述安装螺母15之间。
[0047]所述第二安装结构包括固定安装在固晶机上的缸套7，所述缸套7内壁上设有与所述轴承6外圈相互阻挡的第二环形凸缘71，以及安装在所述缸套7 —端的固定压圈8 ;
[0048]所述固定压圈8安装在所述缸套7上后，能够向所述第二环形凸缘71 一侧挤压所述轴承6外圈，从而将所述轴承6外圈挤压固定在所述第二环形凸缘71和所述固定压圈8之间。
[0049]上述轴承6可以并排设置多个。
[0050]使用本实施例的固晶机摆臂传动机构进行固晶作业的动作过程如下:
[0051]取芯片动作:上下驱动机构驱动第二转轴2竖直向下移动，通过固定座与第二转轴2连接的摆臂3跟随第二转轴2从起始位置向下运动，直至摆臂3到达晶圆盘；摆臂3将位于晶圆盘上的芯片吸附后，上下驱动机构驱动第二转轴2竖直向上运动，将吸附有芯片的摆臂3重新拉回到起始高度。
[0052]安装芯片动作:转动驱动机构驱动第一转轴I转动，并通过导向结构带动摆臂3转动，直至摆臂3移至固晶区点的正上方，然后上下驱动机构驱动第二转轴2向下运动，直至吸附在摆臂3上的芯片与位于固晶区点上的胶水接触，摆臂3将芯片安装在固晶区点上后，上下驱动机构驱动第二转轴2向上运动，直至将摆臂3重新拉回到原高度。
[0053]复位动作:转动驱动机构驱动第一转轴I转动，进而驱动摆臂3转动至起始位置，完成复位。
[0054]显然，上述实施例仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种固晶机摆臂传动机构，其特征在于:包括具有轴向的安装通孔(11)的第一转轴(1)，以及穿设在所述安装通孔(11)内部的第二转轴(2)，所述第二转轴(2)的外壁与所述安装通孔(11)的内壁之间设置缓冲间隙(10)，所述第二转轴(2)的底部通过固定结构连接在固定座上，所述固定座的外壁上固定连接摆臂(3)，所述固定座与所述第一转轴(I)的外壁之间形成安装空间，所述安装空间内设置导向结构，所述导向结构具有为所述第二转轴(2 )在所述安装通孔(11)内的上下运动进行导向的导向通道。2.根据权利要求1所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述导向结构包括固定在所述固定座内壁上的滑槽和/或滑块(41)，以及固定在所述第一转轴(I)的外壁上与所述滑槽和/或滑块(41)配合且形成所述导向通道的滑块(41)和/或滑槽。3.根据权利要求2所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述导向结构包括固定在所述第一转轴(I)外壁上的所述滑块(41)，以及固定在所述固定座内壁上的安装块(42)，所述安装块(42)上开设有所述滑槽。4.根据权利要求1-3中任一项所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述导向通道为两条，两条所述导向通道对称设置在所述第一转轴(I)的径向两侧。5.根据权利要求3所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述固定座包括与所述摆臂(3)的一端固定的安装板(31)，所述安装板(31)上可拆卸的安装有位于所述第一转轴(I)两侧的两个立板(32)，所述安装块(42)分别通过第二紧固结构可拆卸的安装在两个所述立板(32)的朝向所述第一转轴(I) 一侧的侧壁上。6.根据权利要求5所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述固定结构包括开设在所述第一转轴(I)外侧壁上并与所述安装通孔(11)连通的轴向缺口( 12 );设在所述安装板(31)朝向所述轴向缺口( 12 ) —侧的侧壁上并能从所述轴向缺口( 12 )伸入所述安装通孔(II)内部的安装凸台(33)，以及将所述安装凸台(33)固定在所述第一转轴(I)外侧壁上的固定组件。7.根据权利要求6所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述固定组件包括设置在所述第二转轴(2)外壁上且正对所述轴向缺口(12)的第一平面(331)，设置在所述安装凸台(33)上且与所述第一平面(331)正对的第二平面(332)，设置在所述第一平面(331)上的第三螺纹孔(51)，设置在第二平面(332)上的第三通孔(52)，以及第三螺钉，所述第三螺钉穿过所述第三通孔(52)和所述第三螺纹孔(51)后将所述第一平面(331)和所述第二平面(332)贴合固定。8.根据权利要求1-3中任一项所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:还包括用于将所述第一转轴(I)可转动的固定安装在固晶机上的安装结构，所述安装结构包括套设在所述第一转轴(I)外侧壁上的至少一个轴承(6)，将所述轴承(6)固定安装在所述第一转轴(I)外侧壁上的第一安装结构，以及用于将所述轴承(6)固定安装在固晶机上的第二安装结构。9.根据权利要求8所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述第一安装结构包括设在所述第一转轴(I)外侧壁上且与所述轴承(6)的内圈相互阻挡的第一环形凸缘(13)，设在所述第一转轴(I)外侧壁上的安装外螺纹(14)，以及安装在所述安装外螺纹(14)上的安装螺母(5);所述安装螺母(5)与所述安装外螺纹(14)配合连接后能够向所述第一环形凸缘(13)一侧挤压所述轴承(6)内圈，从而将所述轴承(6)内圈挤压固定在所述第一环形凸缘(13)和所述安装螺母(15)之间。10.根据权利要求8所述的固晶机摆臂传动机构，其特征在于:所述第二安装结构包括固定安装在固晶机上的缸套(7)，所述缸套(7)内壁上设有与所述轴承(6)外圈相互阻挡的第二环形凸缘(71)，以及安装在所述缸套(7) —端的固定压圈(8); 所述固定压圈(8)安装在所述缸套(7)上后，能够向所述第二环形凸缘(71) —侧挤压所述轴承(6)外圈，从而将所述轴承(6)外圈挤压固定在所述第二环形凸缘(71)和所述固定压圈(8)之间。
【专利摘要】本实用新型提供一种固晶机摆臂传动机构，包括具有轴向的安装通孔的第一转轴，穿设在安装通孔内部的第二转轴，第二转轴的外壁与安装通孔的内壁之间设置缓冲间隙，第二转轴的底部通过固定结构连接在固定座上，固定座的外壁上固定连接摆臂，固定座与第一转轴的外壁之间形成安装空间，安装空间内设置导向结构，导向结构具有为第二转轴在安装通孔内的上下运动进行导向的导向通道。导向结构为第二转轴在安装通孔内的上下运动进行导向，并在第一转轴转动时带动摆臂转动。当第一转轴通过导向结构带动摆臂转动时，第二转轴外壁与安装通孔内壁之间不存在偏磨现象，因而第一转轴通过导向结构驱动摆臂转动的灵敏度很高。
【IPC分类】F16H21/44, H01L21/67
【公开号】CN204696082
【申请号】CN201520245626
【发明人】徐大林, 杨华
【申请人】徐大林
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年4月22日