过所述冷凝柱204的顶部，然后再沿着与所述侧壁相对的一侧设置，使得所述冷凝管206呈倒U状套于所述冷凝柱204上。或者，所述冷凝管206还可以呈螺旋状沿着所述冷凝柱204的侧壁设置。在本实用新型的其他实施例中，所述冷凝管206还可以以其他形式沿着所述冷凝柱204的外壁设置，只要能过对所述冷凝柱204进行降温即可。
[0029]在使用过程中，使冷凝液体或者气体从所述进水端207进入到所述冷凝管206中，在冷凝液或者气体经过所述冷凝管206的过程中，实现对所述冷凝柱204的降温，同时，使进入到所述主体结构201中的高温废气冷凝，并使得所述高温废气中的制程副产物沉积在所述冷凝柱204上，从而降低所述废气中制程副产物的浓度。
[0030]所述过滤装置102还包括一过滤网205，所述过滤网205位于所述冷凝柱204和所述主体结构201的内壁之间，且所述过滤网205的一端与所述主体结构的出气口 203连接。具体的，所述冷凝柱204的一端与所述主体结构的进气口 202正对，另一端与所述主体结构的出气口 203正对，所述过滤网205的另一端位于所述冷凝柱204的一端和所述主体结构的进气口 202之间，所述过滤网205为网状，且所述过滤网的网状孔径在0.3mm到0.5mm之间，即，0.3mm< 孔径〈0.5mm，例如为 0.35mm、0.4mm 或者 0.45mm 等。
[0031]所述过滤网呈柱状，例如，所述过滤网可以为圆柱体状。更优的，如图2所示，所述过滤网的纵剖面的边缘呈锯齿状，这样可以加大废气中固态制程副产物与所述过滤网的接触面积，提高所述过滤网过滤掉固态制程副产物的效率。
[0032]当所述反应腔101中的废气进入到所述主体结构201中时，所述过滤网205正对着所述主体结构201的进气口，提高了废气中粉尘制程副产物被阻隔的效率。
[0033]更优的，在本实用新型实施例中，所述主体结构的进气口 202位于所述主体结构201 一端的中心，而所述主体结构的出气口 203位于所述主体结构201另一端的中心。
[0034]本实用新型实施例还提供一种半导体机台，所述半导体机台包括如上所述的过滤系统。
[0035]对于安装了所述过滤装置的过滤系统或者半导体机台，只要定期的对所述过滤装置进行清洗，即可延长泵的使用寿命，减少因所述泵的卡死而造成的损失，降低了成本。
[0036]综上，在本实用新型实施例提供的过滤装置、过滤系统以及半导体机台中，反应腔中的废气从主体结构的进气口进入到主体结构中，废气中的粉尘被过滤网过滤掉，而废气中液态副产物经过冷凝柱的冷凝沉积在所述冷凝柱上，降低了废气中液态以及固态制程副产物的浓度，从而使得进入泵中的气体更加清洁，降低了所述泵因液态或者固态制程副产物卡死而失效的风险，提高了效率和产品良率，降低了成本。
[0037]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括: 主体结构，所述主体结构的一端设置有进气口，另一端设置有出气口 ； 冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主体结构内； 过滤网，所述过滤网位于所述冷凝柱和所述主体结构的内壁之间，所述过滤网的一端与所述出气口连接。2.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括一冷凝管，所述冷凝管沿着所述冷凝柱的外壁设置。3.如权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述冷凝管设置有一进水端和一出水端，所述进水端和所述出水端均位于所述主体结构的外部。4.如权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述冷凝管呈U形状套于所述冷凝柱的外壁上。5.如权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述冷凝管呈螺旋状沿着所述冷凝柱的侧壁设置。6.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述进气口位于所述主体结构一端的中心，所述出气口位于所述主体结构的另一端的中心。7.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述主体结构呈柱体形。8.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述冷凝柱的一端与所述进气口正对，另一端与所述出气口正对。9.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述进气口的横截面呈圆形，所述出气口的横截面呈圆形。10.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述进气口的横截面呈多边形，所述出气口的横截面呈多边形。11.一种过滤系统，其特征在于，包括如权利要求1-10中任意一项所述的过滤装置，反应腔以及一泵，所述反应腔的出气口与所述过滤装置的进气口连接，所述过滤装置的出气口与所述泵的进气口连接。12.—种半导体机台，其特征在于，包括如权利要求11所述的过滤系统。
【专利摘要】本实用新型提供了一种过滤装置、过滤系统以及半导体机台，其中，过滤装置包括：主体结构，所述主体结构的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主体结构内；过滤网，所述过滤网位于所述冷凝柱和所述主体结构的内壁之间，所述过滤网的一端与所述出气口连接。反应腔中的废气从主体结构的进气口进入到主体结构中，废气中的粉尘被过滤网过滤掉，而废气中液态副产物经过冷凝柱的冷凝沉积在所述冷凝柱上，降低了废气中液态以及固态制程副产物的浓度，从而使得进入泵中的气体更加清洁，降低了所述泵因液态或者固态制程副产物卡死而失效的风险，提高了效率和产品的良率，降低了成本。
【IPC分类】B01D46/10, B01D5/00, H01L21/67
【公开号】CN204696089
【申请号】CN201520463417
【发明人】吴良辉
【申请人】武汉新芯集成电路制造有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年7月1日