一种扫描电镜试样微区快速定位装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种快速定位装置，特别是涉及一种扫描电镜试样微区快速定位
目.ο
【背景技术】
[0002]扫描电镜主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，便于进行微区形貌分析。但对于某些较大断口试样或金相试样，当断口面起伏较大或金相试样衬度较小时，微区定位很困难，给微区形貌分析带来不便。为此，需要制备扫描电镜断口试样微区快速定位装置来保证微区的快速定位。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种能够准确确定较大断口试样或金相试样微区形貌部位的一种扫描电镜试样微区快速定位装置。
[0004]技术解决方案
[0005]本实用新型包括:固定架，所述固定架上安装有支撑块，支撑块底部设有与扫描电镜试样台与对应的同心固定杆，顶部设有夹具，支撑块上还设有水平仪;所述支撑块上方固定安装有成像管，成像管一端固定安装有目镜，另一端安装有物镜，所述物镜置于支撑块端处。
[0006]所述夹具为两个对称设置的夹板，夹板固定安装在轴的两端，夹板之间的轴上安装有弹簧，夹板且能够在轴上移动。
[0007]所述成像管固定安装在横梁上，横梁两端通过立柱与固定架固定连接，横梁能够在立柱上上下移动。
[0008]所述横梁通过粗调电机在立柱上上下移动，对横梁进行粗调。
[0009]所述横梁上还设有微调电机，微调电机带动横梁在立柱上上下移动，对横梁进行微调。
[0010]本实用新型成像管、夹板对扫描电镜分析试样进行微区进行快速观察、定位，直接操作扫描电镜对微区进行观察、分析，提高了分析速度。对试样进行微区观察。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]本实用新型所述固定架2上安装有支撑块4，支撑块4底部设有与扫描电镜试样台与对应的同心固定杆3，支撑块4顶部设有夹具6，支撑块4上还设有水平仪5;所述支撑块4上方固定安装有成像管12，成像管12固定安装在横梁14上，横梁14两端通过立柱15与固定架2固定连接，横梁14能够在立柱15上上下移动，横梁14通过粗调电机9完成对横梁14在立柱15上的粗调，通过微调电机10完成在立柱15上的微调。所述成像管12—端固定安装有目镜13，另一端安装有物镜11，所述物镜11置于支撑块4端处。
[0013]所述夹具为两个对称设置的夹板6，夹板固定安装在轴7的两端，夹板6能够在轴7上移动。
[0014]使用本实用新型时，将试样8置于夹板6上，通过目镜13(可以是光学目镜、电子成像屏)定位试样8微区，保证了微区的快速定位。
[0015]其工作原理是:将试样8放在夹板6上，通过粗调电机9和微调10调整横梁14，通过目镜13得到清晰的试样8微区形貌，同时保证水平显示装置5处于水平，然后将同心固定杆3插入扫描电镜样品座，即可快速对定位试样8的微区形貌进行观察。
【主权项】
1.一种扫描电镜试样微区快速定位装置，包括:固定架(2)，其特征在于，所述固定架(2)上安装有支撑块(4)，支撑块(4)底部设有与扫描电镜试样台对应的同心固定杆(3)，顶部设有夹具，支撑块(4)上还设有水平仪(5);所述支撑块(4)上方固定安装有成像管(12)，成像管(12)—端固定安装有目镜(13)，另一端安装有物镜(11)，所述物镜(11)置于支撑块(4)端处。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜试样微区快速定位装置，其特征在于，所述夹具为两个对称设置的夹板(6)，夹板(6 )固定安装在轴(7 )的两端，夹板(6)之间的轴(7)上安装有弹簧，夹板(6)且能够在轴(7)上移动。3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜试样微区快速定位装置，其特征在于，成像管(12)固定安装在横梁(14)上，横梁(14)两端通过立柱(15)与固定架(2)固定连接，横梁(14)能够在立柱(15)上上下移动。4.根据权利要求3所述的一种扫描电镜试样微区快速定位装置，其特征在于，横梁(14)通过粗调电机(9)在立柱上上下移动，对横梁(14)进行粗调。5.根据权利要求4所述的一种扫描电镜试样微区快速定位装置，其特征在于，横梁(14)上还设有微调电机(10)，微调电机(10)带动横梁(14)在立柱上上下移动，对横梁(14)进行微调。
【专利摘要】本实用新型涉及一种快速定位装置，特别是涉及一种扫描电镜试样微区快速定位装置。本实用新型所述固定架上安装有支撑块，支撑块底部设有与扫描电镜试样台与对应的同心固定杆，顶部设有左右微调装置，支撑块上还设有水平仪；所述支撑块上方固定安装有成像管，成像管一端固定安装有目镜，另一端安装有物镜，所述物镜置于支撑块端处。本实用新型通过对扫描电镜分析试样进行微区进行快速观察定位，保证了在扫描电镜下试样的快速、准确定位，直接操作扫描电镜对微区进行观察、分析，提高了分析速度。
【IPC分类】H01J37/20
【公开号】CN205140924
【申请号】CN201520939005
【发明人】刘科虹, 葛东伟, 刘国军, 张建国, 李乃浩, 王莹莹, 田光荣, 高彤, 武松, 刘洋
【申请人】内蒙古北方重工业集团有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年11月23日