一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器的制造方法
【专利摘要】本实用新型提出一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器包括进气口、反应腔、出气口以及底部支架，所述进气口与硅片喷淋组件下方的抽风装置的出气口连接，所述出气口与抽风机连接，所述进气口与反应腔、反应腔与出气口之间采用法兰连接，所述反应腔的上部与进气口之间设有滤网，所述反应腔的下部与出气口之间也设有滤网。本实用新型的破除器采用法兰连接，便于拆卸维护；通过滤网设置避免杂质进入反应腔以及避免反应腔内的金属氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用寿命。
【专利说明】
一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器
技术领域
[0001]本发明涉及光伏太阳能电池制造技术领域，特别涉及一种光伏电池硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器。
【背景技术】
[0002]为了应对传统的石化燃料的大规模使用造成的日益严峻的环境问题，大力发展清洁能源如太阳能光伏发电越来越受到重视，而不断降低光伏发电的成本，提高发电效率是其能够得以不断推广的重要的因素。
[0003]目前在光伏领域使用最多的是硅基板太阳电池，为了提高其发电效率，需要对硅基板表面进行制绒处理再进行表面钝化，目前采用比较多的工艺是采用臭氧气体进行硅片表面钝化，在钝化过程中，一边要通过气体喷淋组件不断地向硅片表面均匀吹送一定浓度的臭氧气体，同时，为了避免臭氧气体泄露对环境造成污染，还需要将硅片表面反应后的反应气体通过抽风装置吸走，将反应气体内的有害气体如臭氧分解后再排放，因此需要设计一种配合抽风装置使用的臭氧破除器来解决这个问题，同时要兼顾臭氧破除器的使用寿命以及维修便利等问题。
【实用新型内容】
[0004]针对现有工艺中的使用需求，本实用新型的目的是提供一种配合硅片表面气体钝化处理设备使用的臭氧破除器，以此避免有害气体对大气造成污染。
[0005]为达到本实用新型的目的，本实用新型的一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器包括进气口、反应腔、出气口以及底部支架，所述进气口与硅片喷淋组件下方的抽风装置的出气口连接，所述出气口与抽风机连接，所述进气口与反应腔、反应腔与出气口之间采用法兰连接，所述反应腔的上部与进气口之间设有滤网，所述反应腔的下部与出气口之间也设有滤网。
[0006]优选的，所述反应腔的上部与进气口之间的滤网设有两个。
[0007]再优选的，所述两层滤网上面的滤网孔径比下面的滤网孔径大。
[0008]本实用新型的有益效果是，所述硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器采用法兰连接，便于拆卸维护;通过滤网设置避免杂质进入反应腔以及避免反应腔内的金属氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用寿命。
【附图说明】
[0009]通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。其中:
[0010]图1所示为本实用新型的一实施例的硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器的结构示意图；
[0011]图2所示为图1的A-A向剖面视图；
[0012]图3所示为图1的第二层滤网的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]结合附图本实用新型的结构及特点详述如下。
[0014]参见图1所示的本实用新型的硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器的结构示意图，所述的处理后气体破除器包括进气口 10、反应腔20、出气口 30以及底部支架40，所述进气口 10与硅片喷淋组件下方的抽风装置的出气孔连接，所述出气口 20与抽风机(未图示)连接，所述进气口 10与反应腔20、反应腔20与出气口 30之间采用法兰12连接，如此，可以便于破除器的装卸和维护，而不是像现有的很多反应腔通过焊接或其他方式密闭的臭氧破除器，不能进行拆卸和维修;所述反应腔20的上部与进气口 10之间设有滤网，所述反应腔的下部与出气口之间也设有滤网26;所述底部支架40与下面的法兰12固定。
[0015]在一优选的实施方式中，所述反应腔的上部与进气口之间的滤网设有两层，即如图1所示的滤网22和24，一并参见图2及图3，滤网22的孔径比滤网24大，用以过滤到尺寸较大的杂质，如较大的硅片碎片等;孔径较小的滤网24再进行第二级过滤，避免硅片碎片等杂质进入反应腔20中。
[0016]反应腔20中为金属氧化物反应媒介，用以将处理后气体中的臭氧分解成氧气，然后经抽风机抽出直接排放。
[0017]在反应腔20的下部设置滤网26，其用以阻止反应腔20的金属氧化物反应媒介被抽风机抽走，保证臭氧分解的效果，延长破除器的使用寿命，在一优选的实施方式中，考虑到加工成本，滤网24和滤网26可以采用同样规格的滤网。
[0018]综上所述，本实用新型的硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器采用法兰连接，便于拆卸维护;通过滤网设置避免杂质进入反应腔以及避免反应腔内的金属氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用寿命。
[0019]本实用新型并不局限于所述的实施例，本领域的技术人员在不脱离本实用新型的精神即公开范围内，仍可作一些修正或改变，故本实用新型的权利保护范围以权利要求书限定的范围为准。
【主权项】
1.一种硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器，其特征在于，所述破除器包括进气口、反应腔、出气口以及底部支架，所述进气口与硅片喷淋组件下方的抽风装置的出气口连接，所述出气口与抽风机连接，所述进气口与反应腔、反应腔与出气口之间采用法兰连接，所述反应腔的上部与进气口之间设有滤网，所述反应腔的下部与出气口之间也设有滤网。2.如权利要求1所述的硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器，其特征在于，所述反应腔的上部与进气口之间的滤网设有两个。3.如权利要求2所述的硅片表面气体钝化处理的处理后气体破除器，其特征在于，所述两层滤网上面的滤网孔径比下面的滤网孔径大。
【文档编号】H01L31/18GK205621758SQ201620467550
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年5月20日
【发明人】王振交, 艾凡凡, 韩培育
【申请人】苏州中世太新能源科技有限公司