技术总结
一种压电致动器，适用于一微型流体控制装置，包含：一悬浮板、一外框、数个支架以及一压电陶瓷板，该悬浮板为正方形型态具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该第二表面上具有一凸部，该外框环绕设置于该悬浮板的外侧具有一第一表面及相对应的一第二表面，且外框的第二表面与悬浮板的第二表面整面除了凸部的外区域为共平面，该支架连接于该悬浮板与该外框之间，具有长度介于1.11㎜至1.21㎜、宽度介于0.2㎜至0.6㎜，该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的该第一表面上。
技术研发人员：韩永隆;黄启峰;陈世昌;廖家淯;廖鸿信;黄哲威;陈寿宏
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
文档号码：201621037074
技术研发日：2016.09.05
技术公布日：2017.05.31