具有贯通孔的绝缘基板的制作方法

文档序号:16838857发布日期:2019-02-12 21:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有贯通孔的绝缘基板,是排列有导体用贯通孔的绝缘基板,

其特征在于,所述绝缘基板的厚度为25~100μm,所述贯通孔的直径为20μm~100μm,所述绝缘基板具有主体部分和面向所述贯通孔露出的露出区域,所述绝缘基板由氧化铝烧结体构成,所述氧化铝烧结体的相对密度在99.5%以上,所述氧化铝烧结体的纯度在99.9%以上,所述主体部分中的所述氧化铝烧结体的平均粒径为3~6μm,构成所述露出区域中的所述氧化铝烧结体的氧化铝粒子呈板状,板状的所述氧化铝粒子的平均长度为8~25μm。

2.根据权利要求1所述的绝缘基板,其特征在于,所述贯通孔由激光加工形成。

3.根据权利要求1所述的绝缘基板,其特征在于,在所述绝缘基板的所述氧化铝烧结体成形时,所述贯通孔成形。

4.根据权利要求1~3任意一项所述的绝缘基板,其特征在于,所述主体部分的所述氧化铝烧结体中添加有作为烧结助剂的氧化锆200~800质量ppm、氧化镁150~300质量ppm以及氧化钇10~30质量ppm。

5.根据权利要求1~3任意一项所述的绝缘基板,其特征在于,所述绝缘基板的所述氧化铝烧结体的绝缘击穿电压在50kV/mm以上。

6.根据权利要求4所述的绝缘基板,其特征在于,所述绝缘基板的所述氧化铝烧结体的绝缘击穿电压在50kV/mm以上。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1