元件安装机、吸嘴拍摄方法与流程

本发明涉及一种对安装头保持元件所使用的吸嘴进行拍摄的吸嘴拍摄技术。

背景技术：

目前使用有通过吸嘴吸附供料器所供给的元件并安装在基板上的元件安装机。在这种元件安装机中，有时吸嘴从供料器吸附元件、对基板安装元件会失败。因此，在专利文献1、2中，为了确认是否发生这样的失败，对执行了元件吸附后、执行了元件安装后的吸嘴进行拍摄。具体而言，从照射体对被定位在预定的工位的吸嘴照射光并通过相机对吸嘴进行拍摄。

专利文献

专利文献1：日本特开2012-212947号公报

专利文献2：日本特开2008-311476号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

然而，在这样从照明对位于拍摄位置的吸嘴照射光并通过拍摄部对吸嘴进行拍摄的情况下，有时与照明用的光不同的光例如自然光等会影响吸嘴的拍摄，不能良好地进行吸嘴的拍摄。

本发明是鉴于上述课题而完成的，目的在于提供一种技术，在对安装头保持元件所使用的吸嘴进行拍摄时，能够抑制与照明用的光不同的光对吸嘴的拍摄产生的影响，良好地进行吸嘴的拍摄。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的元件安装机包括第一拍摄系统及能够通过吸嘴保持元件并能够将吸嘴定位于第一拍摄位置的安装头，所述第一拍摄系统具有：第一照明，向第一拍摄位置照射第一波长的光；第一滤波器，允许第一波长的光透过而限制波长不同于第一波长的光透过；及第一拍摄部，与第一拍摄位置相向并通过第一拍摄元件接收从第一拍摄位置入射的光，第一拍摄系统通过第一拍摄部的第一拍摄元件接收在从第一照明照射到第一拍摄位置之后透过了第一滤波器的光，从而对位于第一拍摄位置的吸嘴进行拍摄。

为了实现上述目的，本发明的吸嘴拍摄方法包括如下工序：使安装头保持元件所使用的吸嘴位于拍摄位置；向拍摄位置照射预定波长的光；及通过拍摄元件接收在照射到拍摄位置后透过了滤波器的光，从而对位于拍摄位置的吸嘴进行拍摄，滤波器允许预定波长的光透过而限制波长不同于预定波长的光透过。

在这样构成的本发明(元件安装机、吸嘴拍摄方法)中，向第一拍摄位置(拍摄位置)照射第一波长(预定波长)的光，该光作为对第一拍摄位置进行照明的照明用光发挥功能。而且，通过第一拍摄部(拍摄部)的第一拍摄元件(拍摄元件)接收在照射到第一拍摄位置后透过了第一滤波器(滤波器)的光，从而对位于第一拍摄位置的吸嘴进行拍摄。此处，第一滤波器允许第一波长的光透过而限制波长不同于第一波长的光透过。这样，抑制了与第一波长的照明用光不同的光透过第一滤波器而到达第一拍摄元件。其结果是，能够抑制与照明用的光不同的光对吸嘴的拍摄产生的影响，良好地进行吸嘴的拍摄。

发明效果

根据本发明，在对安装头保持元件所使用的吸嘴进行拍摄时，能够抑制与照明用的光不同的光对吸嘴的拍摄产生的影响，良好地进行吸嘴的拍摄。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的元件安装机的局部俯视图。

图2是表示图1的元件安装机所具备的电气构成的框图。

图3是示意性地表示安装头的一个例子的下端部附近的局部主视图。

图4是示意性地表示图3的安装头的底部的局部俯视图。

图5是示意性地表示拍摄单元5的外观的局部立体图。

图6是等效地表示图5的拍摄单元所具备的光学构成的示意图。

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的元件安装机的局部俯视图。图2是表示图1的元件安装机所具备的电气构成的框图。在两图及下面的图中，适当表示将Z方向设为铅垂方向的XYZ正交坐标。如图2所示，元件安装机1包括集中控制装置整体的控制器100。控制器100具有由CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)构成的计算机即运算处理部110和由HDD(Hard Disk Drive)构成的存储部120。进而，控制器100还具有控制元件安装机1的驱动系统的驱动控制部130和控制后面详细叙述的吸嘴的拍摄的拍摄控制部140。

而且，运算处理部110按照存储于存储部120的程序控制驱动控制部130，从而执行程序所规定的元件安装。此时，运算处理部110的拍摄控制部140基于由相机60拍摄到的图像，控制元件安装。另外，在元件安装机1上设置有显示/操作单元150，运算处理部110将元件安装机1的状况显示在显示/操作单元150上，或者接受输入到显示/操作单元150的来自操作者的指示。

如图1所示，元件安装机1包括设置在基台11上的一对输送机12、12。而且，元件安装机1对通过输送机12从X方向(基板搬运方向)的上游侧搬入到安装处理位置(图1的基板S的位置)的基板S安装元件，将完成了元件安装的基板S通过输送机12从安装处理位置向X方向的下游侧搬出。

在元件安装机1中，设置有沿Y方向延伸的一对Y轴轨道21、21、沿Y方向延伸的Y轴滚珠丝杠22及旋转驱动Y轴滚珠丝杠22的Y轴马达My，头支承部件23以能够沿Y方向移动地支承在一对Y轴轨道21、21上的状态固定在Y轴滚珠丝杠22的螺母上。在头支承部件23上安装有沿X方向延伸的X轴滚珠丝杠24和旋转驱动X轴滚珠丝杠24的X轴马达Mx，头单元3以能够沿X方向移动地支承在头支承部件23上的状态固定在X轴滚珠丝杠24的螺母上。因此，驱动控制部130能够通过Y轴马达My使Y轴滚珠丝杠22旋转而使头单元3沿Y方向移动，或者通过X轴马达Mx使X轴滚珠丝杠24旋转而使头单元3沿X方向移动。

在一对输送机12、12的Y方向的两侧分别沿X方向排列有两个元件供给部28。对于各元件供给部28，在X方向上以排列间距La排列并以能够拆装的方式安装有多个带式供料器281，在各带式供料器281上配置有带盘，该带盘卷绕有以预定间隔收容有集成电路、晶体管、电容器等小片状元件(芯片电子元件)的带。而且，带式供料器281通过间歇性地将带向头单元3侧送出，来供给带内的元件。

头单元3具有在X方向上直线形排列的多个(4个)安装头4。各安装头4通过安装在下端的吸嘴40(图3)进行元件的吸附和安装。即，安装头4向带式供料器281的上方移动，吸附由带式供料器281供给的元件。具体而言，安装头4在使吸嘴40下降至与元件抵接之后在吸嘴40内产生负压同时使吸嘴40上升，从而吸附元件。接着，安装头4向安装处理位置的基板S的上方移动而对基板S安装元件。具体而言，安装头4使吸嘴40下降至元件与基板S抵接之后在吸嘴40内产生大气压或正压，从而安装元件。

图3是示意性地表示安装头的一个例子的下端部附近的局部主视图。图4是示意性地表示图3的安装头的底部的局部俯视图。如图3和图4所示，各安装头4是以圆周形排列有多个吸嘴40的旋转头。接着，同时使用图3和图4对安装头4的构成进行说明。此外，4个安装头4的构成通用，因此，此处对1个安装头4进行说明。

安装头4具有沿Z方向(铅垂方向)延伸的主轴41和支承在主轴41的下端的吸嘴支架42。吸嘴支架42以能够旋转的方式支承在以与Z方向平行的旋转轴C(假想轴)为中心的旋转方向R上，受到设置在安装头4的上端部的R轴马达Mr(图2)的驱动力而旋转。另外，吸嘴支架42支承呈以旋转轴C为中心的圆周形地隔开等角度排列的多个(8个)升降轴43。

各升降轴43以能够升降的方式支承，通过省略图示的施力部件向上方施力。在各升降轴43的下端以能够拆装的方式安装有吸嘴40。由此，吸嘴支架42支承呈以旋转轴C为中心的圆周形地隔开等角度排列的多个(8个)吸嘴40。因此，如果驱动控制部130向R轴马达Mr输出旋转指令，则伴随受到来自R轴马达Mr的驱动力而旋转的吸嘴支架42，多个吸嘴40一体地沿以旋转轴C为中心的圆周轨道O旋转。

另外，主轴41在多个升降轴43的上方支承吸嘴升降机构44。吸嘴升降机构44具有以旋转轴C为中心隔开180度的角度配置的2个按压部件441。各按压部件441受到内置在吸嘴升降机构44的Z轴马达Mz(图2)的驱动力，彼此独立地升降。因此，如果驱动控制部130对Z轴马达Mz输出下降指令，则按压部件441受到来自Z轴马达Mz的驱动力而下降。由此，按压部件441使多个升降轴43中位于正下方的一个升降轴43抵抗作用在该升降轴43上的作用力而下降，使吸嘴40下降至进行元件的吸附或安装的下降位置Zd。另一方面，如果驱动控制部130向Z轴马达Mz输出上升指令，则按压部件441受到来自Z轴马达Mz的驱动力而上升。由此，按压部件441所按下的一个升降轴43伴随吸嘴40的同时随着作用力上升，吸嘴40上升至上升位置Zu。此外，在图3中，对于吸嘴40的下端分别示出了下降位置Zd和上升位置Zu。

在这种安装头4中，按压部件441的正下方成为由吸嘴40进行元件的吸附和安装的作业位置PA、PB。即，对应于上述的两个按压部件441的配置，在安装头4中设置有以旋转轴C为中心隔开180度的角度的两个作业位置PA、PB。另一方面，如图4所示，在吸嘴支架42中，设置有四对以旋转轴C为中心隔开180度的间隔而配置的两个吸嘴40(隔着旋转轴C互相位于相反侧的两个吸嘴40)的对(吸嘴对)，2×4(＝8)个吸嘴40沿圆周轨道O排列。这样，成对的两个吸嘴40满足如果一个吸嘴40位于作业位置PA则同时另一个吸嘴40能够位于作业位置PB的配置关系。

因此，驱动控制部130通过R轴马达Mr调整多个吸嘴40的旋转角度，使四个吸嘴对中形成任意的一个吸嘴对的两个吸嘴40、40分别位于作业位置PA、PB，能够用于元件的吸附和安装。

例如，当在作业位置PA吸附元件的情况下，使安装头4向元件供给部28的上方移动而将作业位置PA定位在带式供料器281的正上方。在该状态下，使没有吸附元件的吸嘴40在旋转方向R上停止在作业位置PA并在Z方向上从上升位置Zu向下降位置Zd下降。而且，在吸嘴40与由带式供料器281供给的元件相接的时刻对吸嘴40施加负压，从带式供料器281向吸嘴40吸附元件。接着，使吸附了元件的吸嘴40在Z方向上从下降位置Zd上升至上升位置Zu。在作业位置PB吸附元件的情况也相同。特别地，两个作业位置PA、PB沿X方向呈直线形并排设置，成对的两个吸嘴40、40的中心距离Lb等于带式供料器281在X方向上的排列间距La(图1)。因此，位于作业位置PA、PB的两个吸嘴40、40能够同时执行来自带式供料器281、281的元件的吸附。

或者，当在作业位置PA安装元件的情况下，使安装头4向基板S上方移动而将作业位置PA定位在基板S的安装对象部位的正上方。在该状态下，使吸附元件的吸嘴40在旋转方向R上停止在作业位置PA，同时在Z方向上从上升位置Zu向下降位置Zd下降。而且，在元件与基板S相接的时刻对吸嘴40施加大气压力或者正压，从吸嘴40向基板S安装元件。接着，使元件脱离的吸嘴40在Z方向上从下降位置Zd上升至上升位置Zu。在作业位置PB安装元件的情况也相同。

另外，在安装头4的主轴41的下端安装有圆柱形状的光扩散部件5，多个吸嘴40以包围光扩散部件5的方式排列。该光扩散部件5具备与例如日本特开2012-238726号公报中记载的扩散部件相同的构成，用于后面详细叙述的拍摄单元6(图5、图6)对吸嘴40的侧视图拍摄。

即，在元件安装机1中，通过拍摄单元6的相机60对在旋转方向R上位于作业位置PA、PB同时在Z方向上位于上升位置Zu的吸嘴40的侧视图(从X方向看到的吸嘴40的侧面)进行拍摄。而且，运算处理部110根据吸嘴40的侧视图图像，例如以如下方式控制吸嘴40对元件的吸附和安装。

在吸附元件的情况下，在吸附元件前后的各时刻对位于上升位置Zu的吸嘴40的侧视图进行拍摄。而且，在元件吸附前的侧视图图像中吸嘴40上附着有异物的情况下，中止元件吸附。另外，在为了进行元件吸附而使吸嘴40下降至下降位置Zd后的侧视图图像中如果在吸嘴40的下端没有元件，则判断为元件吸附失败，重新执行元件吸附。进而，吸附在吸嘴40上的元件的厚度、姿势也根据吸嘴40的侧视图图像适当判断。

在安装元件的情况下，在安装元件前后的各时刻对位于上升位置Zu的吸嘴40的侧视图进行拍摄。而且，在元件安装前的侧视图图像中如果在吸嘴40的下端没有元件，则判断为元件从吸嘴40脱落，中止元件安装。另外，如果在为了元件安装而使吸嘴40下降至下降位置Zd后的侧视图图像中在吸嘴40的下端残留元件，则判断为元件安装失败，再次执行元件安装。

接着，同时使用图5和图6对拍摄单元6的构成进行说明。图5是示意性地表示拍摄单元6的外观的局部立体图。图6是等效表示图5的拍摄单元所具备的光学构成的模式图。此外，在图5和图6中，为了表示拍摄单元6与安装头4的关系，局部地表示安装头4的构成。该拍摄单元6包括相机60，相机60对位于作业位置PA、PB的吸嘴40进行拍摄。

拍摄单元6所具备的壳体61具有在从Y方向看到的侧视图中具有倒T字形且在上部安装有相机60的主体部611和从主体部611的X方向两端向Y方向突出的两个吸嘴相向部612、612。而且，拍摄单元6配置为由两个吸嘴相向部612、612从X方向夹着多个吸嘴40，并固定在安装头4的主轴41上。这样，拍摄单元6与安装头4一体构成，能够伴随安装头4移动。

在X方向的一侧的吸嘴相向部612的内侧壁上设置有与X方向的一侧的作业位置PA相向的第一窗62A，在一侧的吸嘴相向部612及主体部611的内部设置有由棱镜、反射镜及透镜这样的光学元件631构成的第一光学系统63A。而且，从作业位置PA向第一窗62A入射的光通过第一光学系统63A被导向相机60。由此，相机60内置的固体拍摄元件601中的第一范围601A接收来自作业位置PA的光。即，由第一窗62A、第一光学系统63A及固体拍摄元件601的第一范围601A构成的第一拍摄部64A配置在安装头4的一侧。而且，该第一拍摄部64A与相对于安装头4的一侧的侧面所设置的作业位置PA相向地对作业位置PA进行拍摄。

此外，如上所述，伴随按压部件441的升降，吸嘴40在上升位置Zu和下降位置Zd之间升降。与此相对，第一窗62A配置为与在作业位置PA中位于上升位置Zu的吸嘴40的前端相向，第一拍摄部64A从X方向(水平方向)对在作业位置PA中位于上升位置Zu的吸嘴40的前端进行拍摄而获得吸嘴40的侧视图图像。

另外，在X方向的另一侧的吸嘴相向部612的内侧壁上配置有照射用于第一拍摄部64A的拍摄的照明用光的第一照明65A。该第一照明65A由分别以矩阵状排列在第二窗62B的两侧的多个LED(Light Emitting Diode)构成，从X方向的另一侧向作业位置PA照射第一波长(蓝色的波长)的光。这样，从配置在安装头4的X方向的另一侧的第一照明65A射出的光在光扩散部件5扩散后照射到作业位置PA上。

这样，第一拍摄部64A配置在安装头4的一侧，与安装头4的一侧的侧面的作业位置PA相向。与此相对，第一照明65A从安装头4的另一侧向作业位置PA照射光。因此，第一拍摄部64A对第一照明65A从作业位置PA的吸嘴40的背面照射的光进行拍摄，获得吸嘴40的轮廓图像。该轮廓图像被从固体拍摄元件601转送至拍摄控制部140，用于判定吸嘴40对元件的吸附、安装是否成功。

进而，在构成第一光学系统63A的各光学元件631中的与第一窗62A相向配置的光学元件631的入射面(与第一窗62A相向的表面)上设置有第一光学滤波器66A。该第一光学滤波器66A允许第一波长(蓝色的波长)的光透过而限制比第一波长长的第二波长(红色的波长)的光透过。因此，第一拍摄部64A通过第一波长的光，对位于作业位置PA的吸嘴40的轮廓图像进行拍摄。

此时，作为第一光学滤波器66A，也可以使用吸收型和反射型的任意一种。此外，由于与第一窗62A相向地配置第一光学滤波器66A，因此，即使在使用了反射型光学滤波器的情况下，第一光学滤波器66A处的反射光也能够从第一窗62A向壳体61外散逸。因此，能够抑制第一光学滤波器66A处的反射光成为光斑或重影的原因。

这样，由第一照明65A、第一光学滤波器66A及第一拍摄部64A构成第一拍摄系统67A。而且，第一拍摄系统67A通过第一拍摄部64A的固体拍摄元件601(第一范围601A)接收在从第一照明65A照射到作业位置PA后透过了第一光学滤波器66A的光，从而对位于作业位置PA的吸嘴40进行拍摄。

在X方向的另一侧(一侧的相反侧)的吸嘴相向部612的内侧壁上设置有与X方向的另一侧的作业位置PB相向的第二窗62B，在另一侧的吸嘴相向部612和主体部611的内部设置有由光学元件631构成的第二光学系统63B。而且，从作业位置PB向第二窗62B入射的光通过第二光学系统63B被导向相机60。由此，相机60内置的固体拍摄元件601中与第一范围601A不同的第二范围601B接收来自作业位置PB的光。即，由第二窗62B、第二光学系统63B及固体拍摄元件601的第二范围601B构成的第二拍摄部64B配置在安装头4的另一侧。而且，该第二拍摄部64B与相对于安装头4的另一侧的侧面所设置的作业位置PB相向地对作业位置PB进行拍摄。

此外，如上所述，伴随按压部件441的升降，吸嘴40在上升位置Zu和下降位置Zd之间升降。与此相对，第二窗62B配置为与在作业位置PB中位于上升位置Zu的吸嘴40的前端相向，第二拍摄部64B从X方向(水平方向)对在作业位置PB中位于上升位置Zu的吸嘴40的前端进行拍摄而获得吸嘴40的侧视图图像。

另外，在X方向的一侧的吸嘴相向部612的内侧壁配置有照射用于第二拍摄部64B的拍摄的照明用光的第二照明65B。该第二照明65B由分别以矩阵状排列在第一窗62A的两侧的多个LED构成，从X方向的一侧向作业位置PB照射第二波长(红色的波长)的光。这样，从配置在安装头4的X方向的一侧的第二照明65B射出的光在光扩散部件5扩散后向作业位置PB照射。

这样，第二拍摄部64B配置在安装头4的另一侧，与安装头4的另一侧的侧面的作业位置PB相向。与此相对，第二照明65B从安装头4的一侧向作业位置PB照射光。因此，第二拍摄部64B对第二照明65B从作业位置PB的吸嘴40的背面照射的光进行拍摄，获得吸嘴40的轮廓图像。该轮廓图像被从固体拍摄元件601转送至拍摄控制部140，用于判定吸嘴40对元件的吸附、安装是否成功。

进而，在构成第二光学系统63B的各光学元件631中的与第二窗62B相向配置的光学元件631的入射面(与第二窗62B相向的表面)设置有第二光学滤波器66B。该第二光学滤波器66B允许第二波长(红色的波长)的光透过而限制比第二波长短的第一波长(蓝色的波长)的光透过。因此，第二拍摄部64B通过第二波长的光对位于作业位置PB的吸嘴40的轮廓图像进行拍摄。

此时，作为第二光学滤波器66B，可使用吸收型和反射型的任意一种。此外，由于与第二窗62B相向地配置第二光学滤波器66B，因此，即使在使用了反射型光学滤波器的情况下，第二光学滤波器66B处的反射光也能够从第二窗62B向壳体61外散逸。因此，能够抑制第二光学滤波器66B处的反射光成为光斑或重影的原因。

这样，由第二照明65B、第二光学滤波器66B及第二拍摄部64B构成第二拍摄系统67B。而且，第二拍摄系统67B通过第二拍摄部64B的固体拍摄元件601(第二范围601B)接收在从第二照明65B照射到作业位置PB后透过了第二光学滤波器66B的光，从而对位于作业位置PB的吸嘴40进行拍摄。

如以上说明所述，在本实施方式的第一拍摄系统67A中，向作业位置PA照射第一波长的光，该光作为对作业位置PA进行照明的照明用光发挥功能。而且，通过第一光学系统63A的固体拍摄元件601接收在照射到作业位置PA后透过了第一光学滤波器66A的光，从而对位于作业位置PA的吸嘴40进行拍摄。此处，第一光学滤波器66A允许第一波长的光透过而限制波长不同于第一波长的光透过。这样，能够抑制与第一波长的照明用光不同的光透过第一光学滤波器66A而到达固体拍摄元件601。其结果是，能够抑制与照明用光不同的光对吸嘴40的拍摄产生的影响，良好地进行吸嘴40的拍摄。进而，在第二拍摄系统67B中也同样构成，能够良好地进行吸嘴40的拍摄。

顺便提一下，如上所述，在同时具备第一拍摄系统67A和第二拍摄系统67B的情况下，各拍摄系统67A、67B使用的照明用光(第一波长的光、第二波长的光)有可能对彼此的吸嘴40的拍摄产生影响。因此，与第一拍摄系统67A相同地构成第二拍摄系统67B，从而抑制在第二拍摄系统67B中与第二波长的照明用光不同的光透过第二光学滤波器66B而到达固体拍摄元件601。而且，第一拍摄系统67A的第一光学滤波器66A限制在第二拍摄系统67B中用于照明的第二波长的光透过，第二拍摄系统67B的第二光学滤波器66B限制在第一拍摄系统67A中用于照明的第一波长的光透过。因此，能够抑制第一及第二拍摄系统67A、67B分别使用的照明用光对彼此的吸嘴40的拍摄产生的影响，在第一及第二拍摄系统67A、67B中分别良好地进行吸嘴40的拍摄。

另外，如上所述，在配置第一及第二拍摄系统67A、67B对吸嘴40的轮廓图像进行拍摄的情况下，第二拍摄系统67B的第二照明65B从配置有第一拍摄系统67A的第一拍摄部64A的安装头4的一侧向安装头4照射光。因此，从第二拍摄系统67B的第二照明65B照射并在安装头4反射的光射入到第一拍摄系统67A的第一拍摄部64A，有可能对第一拍摄系统67A的吸嘴40的拍摄产生影响。同样，从第一拍摄系统67A的第一照明65A照射并在安装头4反射的光射入到第二拍摄系统67B的第二拍摄部64B，有可能会对第二拍摄系统67B的吸嘴40的拍摄产生影响。与此相对，由于抑制了第一及第二拍摄系统67A、67B分别使用的照明用光对彼此的吸嘴40的拍摄产生的影响，因此，能够在第一及第二拍摄系统67A、67B中分别良好地对吸嘴40的轮廓图像进行拍摄。

另外，也可以按照如下方式实现抑制各拍摄系统67A、67B所使用的照明用光对彼此的吸嘴40的拍摄产生的影响的优点。即，拍摄控制部140也可以同时执行第一拍摄系统67A对位于作业位置PA的吸嘴40的拍摄和第二拍摄系统67B对位于作业位置PB的吸嘴40的拍摄。因此，能够高效地执行吸嘴40的拍摄。而且，由于抑制了各拍摄系统67A、67B使用的照明用光对彼此的吸嘴40的拍摄产生的影响，因此，即使同时进行各拍摄系统67A、67B的拍摄，也能够良好地进行吸嘴40的拍摄。

特别地，上述的安装头4是旋转头，成对的两个吸嘴40满足预定的配置关系，能够分别同时位于作业位置PA和作业位置PB。由此，能够高效地对旋转头4保持的多个吸嘴40进行拍摄。

此时，拍摄控制部140也可以通过各拍摄系统67A、67B同时对分别在作业位置PA、PB执行了元件的吸附后的吸嘴40、40进行拍摄。在这种构成中，能够高效地对两个吸嘴40的元件的吸附状态进行拍摄。

另外，第一拍摄系统67A用于照明的光是蓝色的波长，第二拍摄系统67B用于照明的光是红色的波长。在这种构成中，各拍摄系统67A、67B用于照明的光的波长差(蓝色和红色的波长差)较大，因此，第一光学滤波器66A能够有效地限制在第二拍摄系统67B中所使用的光透过，同时，第二光学滤波器66B能够有效地限制在第一拍摄系统67A中所使用的光透过。因此，能够更可靠地抑制各拍摄系统67A、67B使用的照明用光对彼此的吸嘴40的拍摄产生的影响。

这样，在本实施方式中，元件安装机1相当于本发明的“元件安装机”的一个例子，安装头4相当于本发明的“安装头”的一个例子，拍摄控制部140相当于本发明的“控制部”的一个例子，元件供给部28相当于本发明的“元件供给部”的一个例子。

另外，第一拍摄系统67A相当于本发明的“第一拍摄系统”的一个例子，作业位置PA相当于本发明的“第一拍摄位置”的一个例子，第一照明65A相当于本发明的“第一照明”的一个例子，第一光学滤波器66A相当于本发明的“第一滤波器”的一个例子，第一拍摄部64A相当于本发明的“第一拍摄部”的一个例子，固体拍摄元件601的第一范围601A相当于本发明的“第一拍摄元件”的一个例子。

另外，第二拍摄系统67B相当于本发明的“第二拍摄系统”的一个例子，作业位置PB相当于本发明的“第二拍摄位置”的一个例子，第二照明65B相当于本发明的“第二照明”的一个例子，第二光学滤波器66B相当于本发明的“第二滤波器”的一个例子，第二拍摄部64B相当于本发明的“第二拍摄部”的一个例子，固体拍摄元件601的第二范围601B相当于本发明的“第二拍摄元件”的一个例子。

此外，本发明不限定于上述实施方式，只要不脱离其主旨就能够对上述的内容进行各种变更。因此，例如也可以将本发明中的“第一波长”和“第二波长”分别从上述的蓝色的波长和红色的波长进行变更。即，能够适当变更第一和第二照明65A、65B照射的光的波长及第一和第二光学滤波器66A、66B透过的光的波长。

另外，除上述的例子之外，还可以适当设定各拍摄系统67A、67B对吸嘴40的拍摄定时。特别在本实施方式中，抑制了第一和第二拍摄系统67A、67B分别使用的照明用光对彼此的吸嘴40的拍摄产生的影响。因此，无需特别考虑在第二拍摄系统67B照明用光进行照明的定时，只要第一拍摄系统67A在与拍摄对象的吸嘴40的状态相应的适当的定时对吸嘴40进行拍摄即可。具体而言，无需等待第二拍摄系统67B的拍摄，只要作业位置PA的吸嘴40上升至上升位置Zu时第一拍摄系统67A立即进行吸嘴40的拍摄即可。另外，在第二拍摄系统67B中也同样可以在适当的定时对吸嘴40进行拍摄即可。这样，在本实施方式中，能够实现第一和第二拍摄系统67A、67B各自的拍摄定时的控制的简单化。

另外，设置第一和第二光学滤波器66A、66B的位置也不限定于上述的位置，可以适当变更。因此，例如也可以以将第一和第二光学滤波器66A、66B分别嵌入到第一和第二窗62A、62B的方式设置。

另外，设置第一和第二照明65A、65B的位置也不限定于上述的位置。进而，不一定必须设置光扩散部件5，也可以将第一和第二照明65A、65B直接向作业位置PA、PB的吸嘴40照射。

另外，吸嘴40吸附及安装元件的位置和进行吸嘴40的拍摄的位置一致。然而，它们的位置也可以不一致。

另外，上述实施方式的元件安装机1具备两个拍摄系统67A、67B。然而，元件安装机1也可以具备单一的第一拍摄系统67A。

以上，如列举具体的实施方式进行了说明那样，在本发明中，例如也可以以如下方式构成元件安装机：还具备第二拍摄系统，具有：第二照明，向不同于第一拍摄位置的第二拍摄位置照射不同于第一波长的第二波长的光；第二滤波器，允许第二波长的光透过而限制波长不同于第二波长的光透过；及第二拍摄部，与第二拍摄位置相向并通过第二拍摄元件接收从第二拍摄位置入射的光，安装头能够将吸嘴定位于第二拍摄位置，第二拍摄系统通过第二拍摄部的第二拍摄元件接收在从第二照明照射到第二拍摄位置后透过了第二滤波器的光，从而对位于第二拍摄位置的吸嘴进行拍摄，第一滤波器限制第二波长的光透过，第二滤波器限制第一波长的光透过。

这样，在同时具备第一拍摄系统和第二拍摄系统的情况下，各拍摄系统使用的照明用光(第一波长的光、第二波长的光)有可能会对彼此的吸嘴的拍摄产生影响。因此，与上述的第一拍摄系统相同地构成第二拍摄系统，从而抑制在第二拍摄系统中与第二波长的照明用光不同的光透过第二滤波器而到达第二拍摄元件。而且，第一拍摄系统的第一滤波器限制在第二拍摄系统中用于照明的第二波长的光透过，第二拍摄系统的第二滤波器限制在第一拍摄系统中用于照明的第一波长的光透过。因此，能够抑制第一及第二拍摄系统分别使用的照明用光对彼此的吸嘴的拍摄产生的影响，在各第一及第二拍摄系统中良好地进行吸嘴的拍摄。

另外，也可以以如下方式构成元件安装机：第一拍摄部配置于安装头的一侧并与相对于安装头的一侧的侧面所设置的第一拍摄位置相向，第二拍摄部配置于安装头的与一侧相反的另一侧并与相对于安装头的另一侧的侧面所设置的第二拍摄位置相向，第一照明从安装头的另一侧向第一拍摄位置照射光，第二照明从安装头的一侧向第二拍摄位置照射光。

在这种构成中，第一拍摄部配置于安装头的一侧并与相对于安装头的一侧的侧面所设置的第一拍摄位置相向。另外，第一照明从安装头的另一侧向第一拍摄位置照射光。因此，第一拍摄系统通过第一拍摄部对第一照明从第一拍摄位置的吸嘴的背面照射的光进行拍摄，来获得吸嘴的轮廓图像。同样，第二拍摄系统通过第二拍摄部对第二照明从第二拍摄位置的吸嘴的背面照射的光进行拍摄，获得吸嘴的轮廓图像。

这样，在配置有第一及第二拍摄系统的情况下，第二拍摄系统的第二照明从配置有第一拍摄系统的第一拍摄部的安装头的一侧向安装头照射光。因此，从第二拍摄系统的第二照明照射并在安装头反射的光射入到第一拍摄系统的第一拍摄部，有可能对第一拍摄系统的吸嘴的拍摄产生影响。同样，从第一拍摄系统的第一照明照射并在安装头反射的光射入到第二拍摄系统的第二拍摄部，有可能对第二拍摄系统的吸嘴的拍摄产生影响。与此相对，抑制了第一及第二拍摄系统分别使用的照明用光对彼此的吸嘴的拍摄产生的影响，因此能够在第一及第二拍摄系统中分别良好地对吸嘴的轮廓图像进行拍摄。

另外，也可以按照如下方式实现抑制第一和第二拍摄系统分别使用的照明用光对彼此的吸嘴的拍摄产生的影响的优点。即，也可以以如下方式构成元件安装机：还具备控制第一拍摄系统和第二拍摄系统的控制部，在安装头中，以满足一个位于第一拍摄位置同时另一个能够位于第二拍摄位置的配置关系的方式配置两个吸嘴，控制部同时执行第一拍摄系统对位于第一拍摄位置的吸嘴的拍摄和第二拍摄系统对位于第二拍摄位置的吸嘴的拍摄。在这种构成中，同时执行第一拍摄系统对位于第一拍摄位置的吸嘴的拍摄和第二拍摄系统对位于第二拍摄位置的吸嘴的拍摄，因此，能够高效地执行吸嘴的拍摄。而且，抑制了各拍摄系统所使用的照明用光对彼此的吸嘴的拍摄产生的影响，因此，即使同时进行各拍摄系统的拍摄，也能够良好地对吸嘴进行拍摄。

进而，也可以以如下方式构成元件安装机：安装头是能够使吸嘴沿以预定的旋转轴为中心的圆周轨道旋转的旋转头，通过设置N对(N是1以上的整数)以旋转轴为中心隔开180度的角度而配置在圆周轨道上的两个吸嘴对，将2×N个吸嘴沿圆周轨道排列，第一拍摄位置和第二拍摄位置以旋转轴为中心隔开180度的间隔而设于圆周轨道，成对的两个吸嘴满足上述配置关系，能够同时位于各第一拍摄位置和第二拍摄位置。因此，能够高效地进行旋转头保持的多个吸嘴的拍摄。

另外，还可以以如下方式构成元件安装机：还具备供给元件的元件供给部，安装头通过满足上述配置关系的两个吸嘴来执行由元件供给部供给的元件的吸附，控制部对执行元件的吸附并分别位于第一拍摄位置和第二拍摄位置的两个吸嘴同时进行拍摄。在这种构成中，能够高效地对两个吸嘴的元件的吸附状态进行拍摄。

另外，也可以以如下方式构成元件安装机：第一波长是蓝色的波长，第二波长是红色的波长。在这种构成中，第一波长和第二波长的差(蓝色和红色的波长差)较大，因此，第一滤波器能够有效地限制第二波长的透过，同时，第二滤波器能够有效地限制第一波长的透过。因此，能够更可靠地抑制第一和第二拍摄系统分别使用的照明用光对彼此的吸嘴的拍摄产生的影响。

附图标记说明

1…元件安装机

28…元件供给部

4…安装头

6…拍摄单元

60…相机

601…固体拍摄元件

601A…(固体拍摄元件的)第一范围

601B…(固体拍摄元件的)第二范围

64A…第一拍摄部

64B…第二拍摄部

65A…第一照明

65B…第二照明

66A…第一光学滤波器

66B…第二光学滤波器

67A…第一拍摄系统

67B…第二拍摄系统

PA…作业位置

PB…作业位置

140…拍摄控制部