压电部件的制作方法

文档序号:13940389阅读:来源:国知局
压电部件的制作方法

技术特征:

1.一种压电部件,其特征在于,具备:

支撑基板;和

压电元件,两端部固定在该支撑基板的第1主面上,且被搭载成能够进行振动,

在所述支撑基板的第1主面具有一对端子电极和一对电容形成用电极,其中,所述一对端子电极被设置成位于所述压电元件的两端部之下,所述一对电容形成用电极被设置成从该一对端子电极朝向所述压电元件的中央延伸且宽度比所述压电元件的宽度宽,

在所述压电元件的第1主面和第2主面具有激励电极,该激励电极具有彼此对置且俯视透视下重叠的对置区域,

在俯视下,所述一对电容形成用电极之中从所述对置区域在宽度方向上突出的区域的至少一部分被绝缘膜覆盖。

2.根据权利要求1所述的压电部件,其特征在于,

所述绝缘膜从所述电容形成用电极的前端突出,并且在宽度方向上也突出,覆盖所述电容形成用电极的侧面。

3.根据权利要求1所述的压电部件,其特征在于,

跨越一对所述电容形成用电极来设置所述绝缘膜。

4.根据权利要求1所述的压电部件,其特征在于,

所述绝缘膜设置在所述电容形成用电极的宽度方向的整个方向上且朝向宽度方向的两侧突出。

5.根据权利要求4所述的压电部件,其特征在于,

所述绝缘膜被设置成在俯视下宽度为所述电容形成用电极的宽度的1.7倍以下。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的压电部件,其特征在于,

所述绝缘膜以树脂为主体。

7.根据权利要求6所述的压电部件,其特征在于,

所述树脂由环氧树脂构成。

8.根据权利要求6所述的压电部件,其特征在于,

所述绝缘膜包含由无机材料构成的填料。

9.根据权利要求6所述的压电部件,其特征在于,

所述绝缘膜具有空隙。

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