柔性电路板曝光装置的制作方法

文档序号:12740226阅读:436来源:国知局

本实用新型涉及一种曝光装置,具体涉及一种柔性电路板曝光装置。



背景技术:

直写式曝光技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式曝光技术的影像直接转移技术,在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位。利用该技术可以缩短工艺流程,并降低生产成本。目前市场上主流的直写式曝光机大多以单工件台方式进行扫描曝光,先将被曝光工件的A面曝光完成后,再进行翻版,然后对B面进行曝光。在单工件台系统中,用于曝光的基板的上板、对准、曝光、下板是依次进行的。依据目前的结构系统,各操作流程均已经达到耗时的上限,很难再缩短某个操作步骤的操作时间,即单工件台的直写式曝光机由于各操作流程的串行性质,已很难再提高产能,柔性电路板受其特性限制,曝光效率低。



技术实现要素:

针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种柔性电路板曝光装置,曝光简便、高效,大大提高曝光速度和曝光质量。

为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种柔性电路板曝光装置,包括曝光平台和曝光光路,曝光平台为roll to roll平台,曝光光路设置在曝光平台的上方,曝光光路由沿着柔性电路板传动方向排成一列的子光路组成,子光路包括支撑板、二维震镜、激光器和f-theta镜,二维震镜、激光器和f-theta镜均设置在支撑板上,两个二维震镜设置在支撑板的一侧,激光器设置在其中一个二维震镜的上方,f-theta镜设置在支撑板的一侧,位置与另一个二维震镜对应。

所述曝光平台两侧设置传动装置。

本实用新型的有益效果为:利用二维震镜将激光器发出的激光反射,反射光随着两个震镜相互配合震动,完成二维扫描;经过二维震镜的光最后由f-theta镜汇聚到曝光平台上的被曝光的柔性电路板表面,两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台上,曝光平台将柔性电路板展开并平整;只需一次曝光,就能完成曝光平台上全部面板的曝光,曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷,同时将未曝光的部分传送至曝光平台上,并以此循环。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图中:1、曝光光路,2、曝光平台,3、二维震镜,4、激光器,5、f-theta镜,6、支撑板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示,本柔性电路板曝光装置,包括曝光平台2和曝光光路1,曝光平台2为roll to roll平台,曝光光路1设置在曝光平台2的上方,曝光光路1由排成一列的子光路组成,子光路包括支撑板6、二维震镜3、激光器4和f-theta镜5,二维震镜3、激光器4和f-theta镜5均设置在支撑板6上,两个二维震镜3设置在支撑板6的一侧,激光器4设置在其中一个二维震镜3的上方,f-theta镜5设置在支撑板6的一侧,位置与另一个二维震镜3对应,曝光平台2两侧设置传动装置。

利用二维震镜3将激光器4发出的激光反射,反射光随着两个二维震镜3相互配合震动,完成二维扫描;经过二维震镜的光最后由f-theta镜5汇聚到曝光平台2上的被曝光的柔性电路板表面,两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台2上,曝光平台2将柔性电路板展开并平整;只需一次曝光,就能完成曝光平台2上全部面板的曝光,曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷,同时将未曝光的部分传送至曝光平台2上,并以此循环。

Roll-to-Roll技术是指挠性覆铜板通过成卷连续的方式进行FPC制作的工艺技术。采用Roll-to-Roll生产工艺,不仅能提高生产率,而更重要的是提高自动化程度。这种高自动化的生产明显地减少了人为操作和管理因素,受环境条件(温度、湿度洁净度等)影响变化小,因而具有更均匀一致而稳定的尺寸偏差,从而也易于进行修正和补偿,所以它具有更高的产品合格率、质量和可靠性。

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