柔性电路板曝光装置的制作方法

文档序号:12740226阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种柔性电路板曝光装置,包括曝光平台和曝光光路,曝光平台为roll to roll平台,曝光光路设置在曝光平台的上方,曝光光路由排成一列的子光路组成,子光路包括支撑板、二维震镜、激光器和f‑theta镜,二维震镜、激光器和f‑theta镜均设置在支撑板上,两个二维震镜设置在支撑板的一侧,激光器设置在其中一个二维震镜的上方,f‑theta镜设置在支撑板的一侧,位置与另一个二维震镜对应。经过二维震镜的光最后由f‑theta镜汇聚到曝光平台上的被曝光的柔性电路板表面,两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台上,曝光平台将柔性电路板展开并平整;曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷,同时将未曝光的部分传送至曝光平台上,并以此循环。

技术研发人员:茆晓华
受保护的技术使用者:江苏影速光电技术有限公司
文档号码:201620549862
技术研发日:2016.06.08
技术公布日:2017.06.20

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