一种平板针尖放电式等离子发生体的制作方法

文档序号:11932622阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及等离子体技术领域,更具体的涉及一种平板针尖放电式等离子发生体,包括壳体、气源进口、气源出口和电极板,所述壳体的一侧设置有气源进口,其相对的另一侧设置有气源出口,所述壳体的内部空腔中设置有电极板;所述电极板包括接地电极板和高压电极板,两个接地电极板相对设置,高压电极板位于接地电极板之间,中间间隔开的区域形成等离子体发生区域,本发明在高压电极板两侧的接地电极板上交错式分布针形电极,高压电极板上设置针孔,构成电晕‑介质阻挡双极放电模式,具有可降低起始放电电压、放电场分布均匀、活性气体浓度高、放电空间大、安全性高等优点。

技术研发人员:张汉杰
受保护的技术使用者:江苏升元菲尔科技发展有限公司
文档号码:201710071717
技术研发日:2017.02.09
技术公布日:2017.05.17

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