一种自动点火的微波等离子体炬装置的制作方法

文档序号:12502915阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自动点火的微波等离子体炬装置,由外管(1)、中管(2)、内管(3)、隔圈(4)、微波耦合接口(5)、外管微波开口(6)、耦合杆(7)、耦合环(8)、反射端面(9)、调节活塞(10)组成,外管(1)、中管(2)、内管(3)具有金属的三管同轴结构,中管(2)和内管(3)之间设有隔圈(4),耦合环(8)设置在中管(2)外壁,微波耦合接口(5)设在外管(1)上形成外管微波开口(6),耦合杆(7)固定在耦合环(8)上,并位于外管微波开口(6)间,在外管(1)和中管(2)之间设有反射端面(9),形成一端开放的同轴谐振腔,反射端面(9)与调节活塞(10)连接在一起,其特征在于,内管(3)的端口平面突出谐振腔的开放端平面。

2.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子体炬装置,其特征在于,内管(3)开口端平面相对中管(2)和外管(1)开口端平面突出0.5-2mm。

3.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子体炬装置在制备原子发射光谱分析用的等离子体源中的应用。

4.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子体炬装置在制备用于化学和测量技术领域的等离子体源中的应用。

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