一种自动点火的微波等离子体炬装置的制作方法

文档序号:12502915阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种自动点火的微波等离子体炬装置,由外管、中管、内管、隔圈、微波耦合接口、外管微波开口、耦合杆、耦合环、反射端面、调节活塞组成,该微波等离子体炬由三管同轴的一段开放的金属同轴谐振腔组成,利用微波能在开口端形成等离子体焰炬。本发明改变了微波等离子体炬的点火方式,通过调整炬管的内管相对位置,使得炬管可以不需要借助额外的装置实现自动点火,从而使得微波等离子体炬装置易用性大大增强,既摆脱了高压点火针对微波屏蔽结构设计的影响,又简化了装置结构,增强装置的可靠性和稳定性。本发明所述的微波等离子体炬用于原子发射光谱分析用的等离子体源,也可用于化学和测量技术领域的等离子体源。

技术研发人员:金伟;朱旦;金钦汉
受保护的技术使用者:浙江全世科技有限公司
文档号码:201710083592
技术研发日:2017.02.16
技术公布日:2017.05.31

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