通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器的制作方法

技术特征：

技术总结
一种表面声波(SAW)装置(100)包括：硅衬底(108)；由铌酸锂形成的压电衬底(102)；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110)；所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。

技术研发人员：A.萨马劳
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.09.06
技术公布日：2019.04.16