气流产生装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及通过对电极的电压施加来使气流产生的气流产生装置。
【背景技术】
[0002] 在专利文献1中示出了通过对平行排列的多根线状电极施加周期性脉冲电压来 使气流产生的装置。
[0003] 参照图13W及图14对专利文献1示出的气流产生装置的结构例进行说明。图13 的（A)是表示多根线状电极和对多根线状电极施加电压的电源的结构的图，图13的度）是 图13的（A)中的绝缘性基体的剖面图。图14是从图13的（A)所示的周期性脉冲电源40 输出的电压波形图。
[0004]如图13的（A)、做所示，多根线状电极52平行且按恒定间隔地排列形成于绝缘 性基体51的上表面。周期性脉冲电源40输出4相的脉冲电压Vl~V4。线状电极52按其 排列顺序每4根通用连接并且分别与周期性脉冲电源40连接。在绝缘性基体51的表面的 整个面形成有电介质膜54W便覆盖线状电极52。
[000引图14所示的4个波形是从图13的（A)所示的周期性脉冲电源40输出的4相的 脉冲电压波形。对于各相的驱动电压而言，夹着OV的区间反复产生+V伏特的区间。相邻 的相逐一偏移1/4周期。像运样，4相的脉冲电压的时间波形被各个作为持续恒定时间的阶 跃脉冲而依次循环地输出。
[0006] 专利文献1 :日本特开2011-26096号公报
[0007] 在图13所示的气流产生装置中，线状电极52按其排列顺序每4根通用连接并与 4组引出电极53分别连接。为了实现该结构，在线状电极52或者引出电极53的中途的多 个位置产生布线的交叉部。因此，例如使用将线状电极52和引出电极53的形成层分离并 设置有层间连接导体（通孔导体）的多层基板，或者使用用绝缘体覆盖而成的导线，且必须 使之立体交叉。目P，不能用单层的电极图案构成线状电极W及引出电极。其结果是，存在制 造成本增加的课题。
[0008] 此外，上述气流产生装置为了使气流沿一方向产生而需要相数n为3W上，但上述 课题在相数为4W外的情况下也相同地产生。
【发明内容】
[0009] 因此，本发明的目的在于提供一种能够用单层的电极图案构成线状电极W及引出 电极的气流产生装置。
[0010] 本发明的气流产生装置如W下那样构成。
[0011] (1)本发明的气流产生装置的特征在于，具备： 阳〇1引绝缘性基体；
[0013] 多根线状电极，被排列在上述绝缘性基体上，并由电介质膜覆盖；
[0014] 第1外部电极，与上述多根线状电极中的1根线状电极连接；
[001引第2外部电极化及第3外部电极，上述第2外部电极与上述多根线状电极中的、远 离连接于上述第1外部电极的线状电极的顺序下的第奇数根的线状电极连接，上述第3外 部电极与上述多根线状电极中的、远离连接于上述第1外部电极的线状电极的顺序下的第 偶数根的线状电极连接；W及
[0016] 周期性脉冲电源，对上述第1外部电极施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉 冲电压，分别对上述第2外部电极W及上述第3外部电极W每一上述规定周期多次的比例 施加2相的脉冲电压。
[0017] 根据后述所示的与动作相关的详细说明而变得清楚，根据上述结构，尽管被施加 至线状电极的电压是2相的，但仍然产生恒定方向的气流。因此，通过对多根线状电极中的 第奇数根的线状电极W及第偶数根的线状电极从相互对置的方向连接第2外部电极W及 第3外部电极，能够不立体交叉地布线线状电极W及外部电极。
[001引似连接上述第1外部电极的线状电极例如是配置在上述排列的第1端的线状电 极。由此，从第1外部电极至与第1外部电极连接的线状电极的布线也不会与其他的线状 电极W及第2及第3外部电极交叉。
[0019] (3)优选具备与上述多根线状电极中的配置在上述排列的第2端的线状电极连接 的第4外部电极，上述周期性脉冲电源具备选择性地对上述第1外部电极或者上述第4外 部电极施加上述壁电荷形成用脉冲电压的单元W及将上述2相的脉冲电压的相位反转的 单元。目P，根据该结构，能够选择使从所排列的多根线状电极的第1端向其他的线状电极的 排列方向的气流产生的状态和相反地使从第2端向其他的线状电极的排列方向的气流产 生的状态。
[0020] (4)优选上述2相的脉冲电压是占空比50%的矩形波，相互的上升与下降的时刻 一致。目P，由此，周期性脉冲电源的电路结构简化。另外，能够高效率地进行壁电荷的生成 W及转移。
[0021] (5)上述2相的脉冲电压W每一上述规定周期当2次的比例产生。旨P，由此，能够 将壁电荷的生成频率保持为较高，所W容易确保产生的气流的流量。
[0022] (6)优选上述壁电荷形成用脉冲电压的峰值比上述2相的脉冲电压的峰值高。即， 由此，壁电荷的形成效率高，并且实现低消耗电力化。
[0023] 根据本发明，能够用单层的电极图案构成线状电极化及引出电极。因此，期待制造 成本的降低、薄型化、制造上的良品率的提高、故障率的降低等。
【附图说明】
[0024] 图1的（A)、度）是表示第1实施方式所设及的气流产生装置的结构的图，图1的 (A)是表示形成有线状电极的排列电极基板2W及针对其的周期性脉冲电源1的连接结构 的图，图1的度）是排列电极基板2的剖面图。
[00巧]图2是表示周期性脉冲电源1的结构的框图。
[0026] 图3是周期性脉冲电源1产生的各脉冲电压的波形图。
[0027] 图4是图1所示的排列电极基板2的每层的分解立体图。 阳02引图5是图4所示的电极层25的俯视图。
[0029] 图6的（A)是表示对线状电极Ep施加电压Vc且将线状电极E/U保持为接地电位 状态的状态的图，图6的度）是表示在两电极间形成有正的壁电荷28和负的壁电荷29的 状况的图，图6的（C)是表示在线状电极E/"和其左右相邻的电极之间的区域30产生沿 面放电的状况的图，图6的值）是表示沿面放电停止后的壁电荷的状况的图，图6的巧）是 表示图6的做之后的时刻的沿面放电停止后的壁电荷的状况的图，图6的（巧是表示图 6的似之后的时刻的沿面放电停止后的壁电荷的状况的图，图6的似是表示图6的（F) 之后的时刻的沿面放电停止后的壁电荷的状况的图。
[0030] 图7的（A)、度）是表示第2实施方式所设及的气流产生装置的结构的图，图7的 (A)是表示形成有线状电极的排列电极基板2W及针对其的周期性脉冲电源1的连接结构 的图，图7的做是排列电极基板2的剖面图。
[003U图8的（A)、做是周期性脉冲电源1产生的各脉冲电压的波形图，图8的（A)是 正方向模式下的各脉冲电压的波形图，图8的度）是逆方向模式下的各脉冲电压的波形图。
[0032] 图9是图7所示的排列电极基板2的每层的分解立体图。
[0033] 图10是图9所示的电极层25的俯视图。
[0034] 图11的（A)是第3实施方式所设及的脉冲电压￥^、￥1、￥2、￥?的波形图。图11的 度）是第3实施方式所设及的脉冲电压Vp、VI、V2、Vk的其他的波形图。
[0035] 图12是第4实施方式所设及的周期性脉冲电源产生的各脉冲电压的波形图。
[0036] 图13的（A)是表示多根线状电极和对它们施加电压的电源的结构的图，图13的 度）是图13的（A)中的绝缘性基体的剖面图。
[0037] 图14是从图13的（A)所示的周期性脉冲电源40输出的脉冲电压的波形图。
【具体实施方式】
[0038] 此后，参照图列举几个具体的例子，来表示用于实施本发明的多个方式。在各图 中，对相同部位赋予相同附图标记。当然，各实施方式是例示，能够进行在不同的实施方式 中示出的结构的局部性的置换或者组合。
[0039] 《第1实施方式》 W40] 图1的（A)、做